TEL ALPHA 8S 垂直拡散炉

東京エレクトロンのTEL ALPHA 8Sは、半導体ウェハの酸化、アニーリング、その他の高温炉処理向けに開発された垂直型バッチ式熱処理システムです。利用可能な機器一覧には、150mmウェハと200mmウェハの両方に対応するプラットフォームが記載されています。

ALPHA 8Sシステムは、さまざまなプロセス構成で供給されました。設置された炉管、ガスシステム、石英製部品、および制御ソフトウェアに応じて、個々の装置は湿式酸化、乾式酸化、アニーリング、または特定のLPCVDプロセス用に構成できます。

TEL ALPHA 8Sの主な仕様

主な機器機能

• 垂直バッチ炉の構造

• 150mmおよび200mmウェハーのサポートを公開しました。

• 半導体の酸化およびアニーリングプロセスに適しています。

• プロセス能力は、設置された炉管とガスシステムによって決定される。

• 構成に応じた自動ウェーハローディングとレシピ制御

代表的な用途

TEL ALPHA 8Sは、湿式または乾式熱酸化、ドーパント活性化、熱アニーリング、その他のバッチ炉プロセスに使用できます。適切な構成のシステムであれば、シリコン、窒化シリコン、または酸化シリコンのLPCVDプロセスにも対応可能です。

正確な適用条件は、プロセス指定、炉管材質、ガスキャビネット、MFC構成、排気処理、石英ボート、および入手可能なプロセス記録から確認する必要があります。

中古機器の構成と検査

ALPHA 8Sプラットフォームは複数のプロセスバリエーションで提供されているため、モデル名だけでは搭載されているプロセスを特定することはできません。お客様は、利用可能な装置が酸化、アニーリング、拡散、または成膜のいずれに対応しているかを確認する必要があります。

見積もりを行う前に、炉管、ヒーターの状態、石英容器、ウェハボート、装填機構、ガスパネル、MFC（マイクロフローコントローラー）、温度コントローラー、排気システム、ソフトウェア、および現在の電源状態を点検する必要があります。

TEL ALPHA 8Sに関する情報をリクエストする

中古のTEL ALPHA 8Sの在庫状況については、弊社までお問い合わせください。ウェーハサイズ、目標とする熱処理プロセス、必要なガス、希望するバッチ構成、納入先国、設置スケジュールをお知らせください。

機器の写真、プロセス構成、付属の石英製品、検査状況、および見積もりについては、当社までお問い合わせください。

よくある質問

TEL ALPHA 8Sは、どのようなサイズのウェハーを処理できますか？

掲載されている製品リストには、150mmおよび200mmウェハーに対応したシステムが記載されています。設置されているウェハーボートとローディングハードウェアは、必要なウェハーサイズと一致している必要があります。

すべてのALPHA 8Sは同じプロセス用に設定されているのですか？

いいえ。個々のシステムは、酸化、アニーリング、拡散、または特定の成膜プロセスに合わせて構成できます。設置されているチューブとガスシステムを確認する必要があります。

ALPHA 8Sは湿式酸化と乾式酸化の両方に対応できますか？

このプラットフォームは湿式酸化と乾式酸化の両方に使用されているが、必要なガス供給装置、蒸気発生装置、およびプロセスハードウェアが使用可能な機械に備わっている必要がある。

暖房炉を購入する前に、どのような点を点検すべきでしょうか？

重要な点検項目には、ヒーター、炉管、石英製器具、装填機構、ガスパネル、MFC（マイクロファイバークロス）、温度制御、排気システム、および操作ソフトウェアが含まれます。