เตาเผาแบบกระจายความร้อนแนวตั้ง TEL ALPHA 8S

เครื่อง Tokyo Electron TEL ALPHA 8S เป็นระบบประมวลผลความร้อนแบบชุดแนวตั้งที่พัฒนาขึ้นสำหรับกระบวนการออกซิเดชั่น การอบอ่อน และกระบวนการเตาอบอุณหภูมิสูงอื่นๆ สำหรับแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ รายการอุปกรณ์ที่มีให้เลือกนั้นระบุว่ารองรับเวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม.

ระบบ ALPHA 8S ถูกจัดจำหน่ายในรูปแบบการกำหนดค่ากระบวนการที่แตกต่างกัน ขึ้นอยู่กับท่อเตาเผา ระบบแก๊ส อุปกรณ์ควอตซ์ และซอฟต์แวร์ควบคุมที่ติดตั้ง เครื่องจักรแต่ละเครื่องอาจได้รับการกำหนดค่าสำหรับการออกซิเดชันแบบเปียก การออกซิเดชันแบบแห้ง การอบอ่อน หรือกระบวนการ LPCVD ที่เลือกไว้

ข้อมูลจำเพาะหลักของ TEL ALPHA 8S

คุณสมบัติหลักของอุปกรณ์

• สถาปัตยกรรมเตาหลอมแบบแนวตั้ง

• มีการเผยแพร่ข้อมูลสนับสนุนสำหรับเวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม.

• เหมาะสำหรับกระบวนการออกซิเดชันและการอบอ่อนของสารกึ่งตัวนำ

• ความสามารถในการดำเนินการขึ้นอยู่กับท่อเตาเผาและระบบก๊าซที่ติดตั้งไว้

• การโหลดเวเฟอร์และการควบคุมสูตรการผลิตโดยอัตโนมัติ ขึ้นอยู่กับการตั้งค่า

การใช้งานทั่วไป

เครื่อง TEL ALPHA 8S สามารถใช้สำหรับการออกซิเดชันด้วยความร้อนแบบเปียกหรือแห้ง การกระตุ้นสารเจือปน การอบด้วยความร้อน และกระบวนการอื่นๆ ในเตาอบแบบแบทช์ ระบบที่ได้รับการกำหนดค่าอย่างเหมาะสมอาจรองรับกระบวนการ LPCVD ของซิลิคอน ซิลิคอนไนไตรด์ หรือซิลิคอนออกไซด์ได้เช่นกัน

ควรตรวจสอบการใช้งานที่แน่นอนจากชื่อกระบวนการ วัสดุท่อเตาเผา ตู้แก๊ส การกำหนดค่า MFC การบำบัดไอเสีย เรือควอตซ์ และบันทึกกระบวนการที่มีอยู่

การกำหนดค่าและการตรวจสอบอุปกรณ์มือสอง

แพลตฟอร์ม ALPHA 8S มีให้เลือกใช้งานหลายแบบ ดังนั้นชื่อรุ่นเพียงอย่างเดียวจึงไม่สามารถระบุถึงกระบวนการที่ติดตั้งได้ ลูกค้าควรตรวจสอบว่าเครื่องที่มีอยู่ได้รับการกำหนดค่าสำหรับการออกซิเดชัน การอบอ่อน การแพร่ หรือการตกตะกอนหรือไม่

ก่อนเสนอราคา ควรตรวจสอบท่อเตาเผา สภาพของฮีตเตอร์ อุปกรณ์ควอตซ์ เรือใส่เวเฟอร์ กลไกการโหลด แผงควบคุมแก๊ส MFC ตัวควบคุมอุณหภูมิ ระบบระบายอากาศ ซอฟต์แวร์ และสถานะการเปิดเครื่องในปัจจุบัน

ขอข้อมูลเกี่ยวกับ TEL ALPHA 8S

โปรดติดต่อทีมงานของเราเพื่อตรวจสอบความพร้อมของเครื่อง TEL ALPHA 8S มือสองในปัจจุบัน โปรดระบุขนาดเวเฟอร์ กระบวนการทางความร้อนที่ต้องการ ก๊าซที่จำเป็น การกำหนดค่าชุดการผลิตที่ต้องการ ประเทศปลายทาง และกำหนดการติดตั้ง

ติดต่อเราเพื่อขอรูปภาพอุปกรณ์ การกำหนดค่ากระบวนการ อุปกรณ์ควอตซ์ที่รวมอยู่ สถานะการตรวจสอบ และใบเสนอราคา

คำถามที่พบบ่อย

เครื่อง TEL ALPHA 8S สามารถประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใดได้บ้าง?

รายการที่มีอยู่ระบุระบบสำหรับเวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม. ถาดใส่เวเฟอร์และอุปกรณ์โหลดที่ติดตั้งต้องตรงกับขนาดเวเฟอร์ที่ต้องการ

ALPHA 8S ทุกเครื่องถูกตั้งค่าให้ทำงานในกระบวนการเดียวกันหรือไม่?

ไม่ ระบบแต่ละระบบสามารถกำหนดค่าสำหรับการออกซิเดชัน การอบอ่อน การแพร่ หรือกระบวนการตกตะกอนที่เลือกได้ ต้องตรวจสอบท่อและระบบแก๊สที่ติดตั้งแล้ว

เครื่อง ALPHA 8S สามารถทำการออกซิเดชันแบบเปียกและแบบแห้งได้หรือไม่?

แพลตฟอร์มนี้เคยใช้สำหรับการออกซิเดชันแบบเปียกและแบบแห้ง แต่ต้องมีอุปกรณ์ส่งก๊าซ อุปกรณ์สร้างไอน้ำ และฮาร์ดแวร์ของกระบวนการที่จำเป็นอยู่ในเครื่องจักรที่มีอยู่

ควรตรวจสอบอะไรบ้างก่อนซื้อเตาเผา?

การตรวจสอบที่สำคัญ ได้แก่ ฮีตเตอร์ ท่อเตาเผา ภาชนะควอตซ์ กลไกการโหลด แผงควบคุมแก๊ส MFCs ระบบควบคุมอุณหภูมิ และซอฟต์แวร์การทำงาน