Piec dyfuzyjny pionowy TEL ALPHA 8S
Tokyo Electron TEL ALPHA 8S to pionowy system do obróbki cieplnej wsadowej, opracowany do utleniania, wyżarzania i innych procesów w piecach wysokotemperaturowych w przypadku płytek półprzewodnikowych. Lista dostępnego sprzętu zawiera platformę przeznaczoną do płytek o średnicy 150 mm i 200 mm.
Systemy ALPHA 8S zostały dostarczone w różnych konfiguracjach procesowych. W zależności od zainstalowanej rury pieca, systemu gazowego, kwarcu i oprogramowania sterującego, pojedyncza maszyna może być skonfigurowana do utleniania na mokro, utleniania na sucho, wyżarzania lub wybranych procesów LPCVD.
Główne dane techniczne TEL ALPHA 8S
| Producent | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marka | TEL |
| Model | ALPHA 8S |
| Typ sprzętu | Piec dyfuzyjny pionowy i piec do obróbki cieplnej |
| Obsługiwane rozmiary płytek | Podkładki 150 mm i 200 mm wg dostępnego asortymentu |
| Przetwarzanie płytek | Obróbka cieplna wsadowa |
| Opublikowane aplikacje procesowe | Utlenianie na mokro, utlenianie na sucho, wyżarzanie i zależne od konfiguracji LPCVD |
| Rzeczywista konfiguracja procesu | Z zastrzeżeniem zamontowanej rury pieca, panelu gazowego, naczyń kwarcowych i potwierdzenia receptury |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego, inspekcji i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Architektura pieca wsadowego pionowego
Opublikowano wsparcie dla płytek o średnicy 150 mm i 200 mm
Nadaje się do procesów utleniania i wyżarzania półprzewodników
Zdolność procesu określona przez zainstalowaną rurę pieca i system gazowy
Automatyczne ładowanie płytek i kontrola receptury w zależności od konfiguracji
Typowe zastosowania
System TEL ALPHA 8S może być używany do mokrego lub suchego utleniania termicznego, aktywacji domieszek, wyżarzania termicznego i innych procesów w piecach okresowych. Odpowiednio skonfigurowane systemy mogą również obsługiwać procesy LPCVD z krzemem, azotkiem krzemu lub tlenkiem krzemu.
Dokładne zastosowanie należy potwierdzić na podstawie oznaczenia procesu, materiału rury pieca, obudowy gazowej, konfiguracji MFC, obróbki spalin, łódki kwarcowej i dostępnych zapisów procesu.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Platforma ALPHA 8S została dostarczona w wielu wariantach procesowych, więc sama nazwa modelu nie identyfikuje zainstalowanego procesu. Klienci powinni sprawdzić, czy dostępna maszyna jest skonfigurowana do utleniania, wyżarzania, dyfuzji czy osadzania.
Przed wyceną należy sprawdzić stan rury pieca, grzejnika, kwarcu, łódki na wafle, mechanizmu załadowczego, panelu gazowego, MFC, regulatorów temperatury, układu wydechowego, oprogramowania i aktualnego stanu zasilania.
Poproś o informacje TEL ALPHA 8S
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego układu TEL ALPHA 8S. Prosimy o podanie rozmiaru wafla, docelowego procesu termicznego, wymaganych gazów, preferowanej konfiguracji partii, kraju docelowego oraz harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać zdjęcia sprzętu, konfigurację procesu, dołączone naczynia kwarcowe, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie rozmiary płytek może przetwarzać maszyna TEL ALPHA 8S?
Dostępna oferta identyfikuje system dla płytek o średnicy 150 mm i 200 mm. Zainstalowany pojemnik na płytki i osprzęt do ich załadunku muszą być zgodne z wymaganym rozmiarem płytki.
Czy każdy ALPHA 8S jest skonfigurowany do tego samego procesu?
Nie. Poszczególne systemy mogą być skonfigurowane do utleniania, wyżarzania, dyfuzji lub wybranych procesów osadzania. Zainstalowany system rur i gazów musi zostać potwierdzony.
Czy ALPHA 8S umożliwia utlenianie na mokro i na sucho?
Platformę wykorzystywano do utleniania na mokro i na sucho, ale dostępna maszyna musi być wyposażona w wymagany system dostarczania gazu, sprzęt do generowania pary i sprzęt procesowy.
Co należy sprawdzić przed zakupem pieca?
Do najważniejszych kontroli zalicza się: grzejnik, rurę pieca, elementy kwarcowe, mechanizm załadowczy, panel gazowy, płyty MFC, regulację temperatury, układ wydechowy i oprogramowanie operacyjne.
