Four à diffusion verticale TEL ALPHA 8S

Le Tokyo Electron TEL ALPHA 8S est un système de traitement thermique vertical par lots conçu pour l'oxydation, le recuit et d'autres procédés de traitement thermique à haute température des plaquettes de semi-conducteurs. La liste des équipements disponibles indique que la plateforme est compatible avec les plaquettes de 150 mm et de 200 mm.

Les systèmes ALPHA 8S étaient fournis avec différentes configurations de procédé. Selon le tube de four, le système d'alimentation en gaz, les éléments en quartz et le logiciel de contrôle installés, chaque machine pouvait être configurée pour l'oxydation humide, l'oxydation sèche, le recuit ou certains procédés LPCVD.

Caractéristiques principales du TEL ALPHA 8S

Principales caractéristiques de l'équipement

• architecture de four vertical à lots

• Support publié pour les plaquettes de 150 mm et 200 mm

• Convient aux procédés d'oxydation et de recuit des semi-conducteurs

• La capacité de traitement est déterminée par le système de tubes de four et de gaz installé.

• Chargement automatisé des plaquettes et contrôle des recettes en fonction de la configuration

Applications typiques

Le TEL ALPHA 8S peut être utilisé pour l'oxydation thermique par voie humide ou sèche, l'activation de dopants, le recuit thermique et d'autres procédés de traitement par lots. Les systèmes configurés en conséquence peuvent également prendre en charge les procédés LPCVD de silicium, de nitrure de silicium ou d'oxyde de silicium.

L'application exacte doit être confirmée à partir de la désignation du procédé, du matériau des tubes du four, de l'armoire à gaz, de la configuration du MFC, du traitement des gaz d'échappement, du creuset en quartz et des enregistrements de procédé disponibles.

Configuration et inspection du matériel d'occasion

La plateforme ALPHA 8S a été proposée avec plusieurs configurations de procédés ; par conséquent, son nom seul ne permet pas d’identifier le procédé installé. Les clients doivent vérifier si la machine disponible est configurée pour l’oxydation, le recuit, la diffusion ou le dépôt.

Avant d'établir un devis, il convient d'inspecter le tube du four, l'état du chauffage, le quartz, le porte-plaquettes, le mécanisme de chargement, le panneau de gaz, les MFC, les régulateurs de température, le système d'échappement, le logiciel et l'état de mise sous tension actuel.

Demande d'informations TEL ALPHA 8S

Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du TEL ALPHA 8S d'occasion. Veuillez indiquer la taille de vos plaquettes, le procédé thermique cible, les gaz requis, la configuration de lot souhaitée, le pays de destination et le calendrier d'installation.

Contactez-nous pour obtenir des photos de l'équipement, la configuration du processus, la verrerie en quartz incluse, l'état de l'inspection et un devis.

Foire aux questions

Quelles sont les tailles de plaquettes que le TEL ALPHA 8S peut traiter ?

Le système décrit ci-dessous est compatible avec les plaquettes de 150 mm et 200 mm. Le porte-plaquettes et le matériel de chargement installés doivent correspondre à la taille de plaquette requise.

Chaque ALPHA 8S est-elle configurée pour le même processus ?

Non. Chaque système peut être configuré pour l'oxydation, le recuit, la diffusion ou certains procédés de dépôt. Le système de tubes et de gaz installé doit être vérifié.

L'ALPHA 8S peut-elle effectuer une oxydation humide et sèche ?

La plateforme a été utilisée pour l'oxydation humide et sèche, mais l'équipement nécessaire à l'alimentation en gaz, à la génération de vapeur et aux procédés doit être présent sur la machine disponible.

Quels éléments doivent être vérifiés avant d'acheter la chaudière ?

Les vérifications importantes comprennent le chauffage, le tube du four, la verrerie en quartz, le mécanisme de chargement, le panneau de gaz, les MFC, le contrôle de la température, le système d'échappement et le logiciel d'exploitation.