TEL ALPHA 8S Patayong Pugon ng Pagsasabog
Ang Tokyo Electron TEL ALPHA 8S ay isang vertical batch thermal processing system na binuo para sa semiconductor wafer oxidation, annealing at iba pang proseso ng high-temperature furnace. Ang listahan ng mga kagamitang magagamit ay tumutukoy sa plataporma para sa parehong 150 mm at 200 mm wafers.
Ang mga sistemang ALPHA 8S ay ibinibigay sa iba't ibang konpigurasyon ng proseso. Depende sa naka-install na tubo ng pugon, sistema ng gas, quartzware at control software, ang isang indibidwal na makina ay maaaring i-configure para sa wet oxidation, dry oxidation, annealing o piling mga proseso ng LPCVD.
Pangunahing mga Espesipikasyon ng TEL ALPHA 8S
| Tagagawa | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Tatak | TEL |
| Modelo | ALPHA 8S |
| Uri ng Kagamitan | Vertical Batch Diffusion at Thermal Processing Furnace |
| Mga Sinusuportahang Sukat ng Wafer | 150 mm at 200 mm na mga wafer, ayon sa magagamit na listahan |
| Pagproseso ng Wafer | Pagproseso ng thermal nang maramihan |
| Mga Aplikasyon sa Proseso na Nailathala | Basang oksihenasyon, tuyong oksihenasyon, annealing at LPCVD na umaasa sa konpigurasyon |
| Aktwal na Pagsasaayos ng Proseso | Nakabatay sa naka-install na tubo ng pugon, gas panel, quartzware at kumpirmasyon ng recipe |
| Kundisyon | Ginamit kagamitang semiconductor |
| Kakayahang magamit | Nakabatay sa kasalukuyang stock, inspeksyon at kumpirmasyon ng configuration |
Mga Pangunahing Tampok ng Kagamitan
Arkitektura ng patayong batch furnace
Nailathalang suporta para sa 150 mm at 200 mm na mga wafer
Angkop para sa mga proseso ng oksihenasyon at annealing ng semiconductor
Ang kakayahan sa proseso ay tinutukoy ng naka-install na tubo ng pugon at sistema ng gas
Awtomatikong paglo-load ng wafer at pagkontrol ng recipe depende sa configuration
Karaniwang mga Aplikasyon
Ang TEL ALPHA 8S ay maaaring gamitin para sa basa o tuyong thermal oxidation, dopant activation, thermal annealing at iba pang mga proseso ng batch furnace. Ang mga sistemang angkop ang pagkakaayos ay maaari ring sumuporta sa mga proseso ng silicon, silicon nitride o silicon oxide LPCVD.
Ang eksaktong aplikasyon ay dapat kumpirmahin mula sa pagtatalaga ng proseso, materyal ng tubo ng pugon, gas cabinet, konpigurasyon ng MFC, paggamot ng tambutso, quartz boat at mga magagamit na talaan ng proseso.
Konpigurasyon at Inspeksyon ng Gamit na Kagamitan
Ang platapormang ALPHA 8S ay ibinigay sa iba't ibang uri ng proseso, kaya ang pangalan ng modelo lamang ay hindi tumutukoy sa naka-install na proseso. Dapat kumpirmahin ng mga customer kung ang magagamit na makina ay naka-configure para sa oxidation, annealing, diffusion o deposition.
Bago ang pagbibigay ng sipi, dapat munang siyasatin ang tubo ng pugon, kondisyon ng pampainit, mga kagamitang quartz, wafer boat, mekanismo ng pagkarga, gas panel, mga MFC, mga temperature controller, sistema ng tambutso, software at kasalukuyang katayuan ng pag-on.
Humingi ng Impormasyon tungkol sa TEL ALPHA 8S
Makipag-ugnayan sa aming koponan upang malaman ang kasalukuyang availability ng gamit nang TEL ALPHA 8S. Mangyaring ibigay ang laki ng iyong wafer, target thermal process, mga kinakailangang gas, ginustong batch configuration, bansang patutunguhan at iskedyul ng pag-install.
Makipag-ugnayan sa amin para sa mga larawan ng kagamitan, konpigurasyon ng proseso, kasama na quartzware, katayuan ng inspeksyon at sipi.
Mga Madalas Itanong
Anong mga laki ng wafer ang kayang iproseso ng TEL ALPHA 8S?
Ang magagamit na listahan ay tumutukoy sa sistema para sa 150 mm at 200 mm na mga wafer. Ang naka-install na wafer boat at loading hardware ay dapat tumugma sa kinakailangang laki ng wafer.
Pareho ba ang prosesong naka-configure para sa bawat ALPHA 8S?
Hindi. Maaaring i-configure ang mga indibidwal na sistema para sa oksihenasyon, annealing, diffusion o piling mga proseso ng deposition. Dapat kumpirmahin ang naka-install na sistema ng tubo at gas.
Kaya ba ng ALPHA 8S ang wet at dry oxidation?
Ang plataporma ay ginamit para sa basa at tuyong oksihenasyon, ngunit ang kinakailangang paghahatid ng gas, kagamitan sa pagbuo ng singaw, at hardware ng proseso ay dapat na naroroon sa magagamit na makina.
Ano ang dapat suriin bago bumili ng pugon?
Kabilang sa mahahalagang pagsusuri ang heater, tubo ng pugon, mga kagamitang quartz, mekanismo ng pagkarga, gas panel, mga MFC, kontrol sa temperatura, sistema ng tambutso at software para sa pagpapatakbo.
