Вертикальная диффузионная печь TEL ALPHA 8S
Система Tokyo Electron TEL ALPHA 8S представляет собой вертикальную систему пакетной термической обработки, разработанную для окисления, отжига и других высокотемпературных процессов в печах полупроводниковых пластин. В списке доступного оборудования указана платформа для пластин диаметром 150 мм и 200 мм.
Системы ALPHA 8S поставлялись в различных технологических конфигурациях. В зависимости от установленной печной трубы, газовой системы, кварцевого стекла и программного обеспечения управления, отдельная установка может быть сконфигурирована для влажного окисления, сухого окисления, отжига или отдельных процессов LPCVD.
Основные характеристики TEL ALPHA 8S
| Производитель | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Бренд | ТЕЛ |
| Модель | АЛЬФА 8С |
| Тип оборудования | Вертикальная печь для пакетной диффузии и термической обработки |
| Поддерживаемые размеры кремниевых пластин | Согласно имеющемуся каталогу, это пластины диаметром 150 мм и 200 мм. |
| Обработка кремниевых пластин | Пакетная термическая обработка |
| Опубликованные технологические приложения | Влажное окисление, сухое окисление, отжиг и LPCVD, зависящий от конфигурации. |
| Фактическая конфигурация процесса | При условии установки труб печи, газового блока, кварцевой посуды и подтверждения рецептуры. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, проверки и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Вертикальная печь периодического действия
Опубликована поддержка пластин диаметром 150 мм и 200 мм.
Подходит для процессов окисления и отжига полупроводников.
Технологическая производительность определяется установленной трубной системой печи и газовой системой.
Автоматизированная загрузка пластин и управление рецептурой в зависимости от конфигурации.
Типичные области применения
Установка TEL ALPHA 8S может использоваться для влажного или сухого термического окисления, активации легирующих примесей, термического отжига и других процессов в периодическом режиме. Системы с соответствующей конфигурацией также могут поддерживать процессы LPCVD для получения кремния, нитрида кремния или оксида кремния.
Точное назначение необходимо уточнить, исходя из технологического обозначения, материала труб печи, газового шкафа, конфигурации МТХ, системы обработки выхлопных газов, кварцевой лодочки и имеющейся технологической документации.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Платформа ALPHA 8S поставлялась в нескольких технологических вариантах, поэтому название модели само по себе не указывает на используемый процесс. Заказчикам следует уточнить, сконфигурирована ли имеющаяся установка для окисления, отжига, диффузии или осаждения.
Перед составлением коммерческого предложения необходимо проверить состояние печных труб, нагревателей, кварцевых элементов, лотков для пластин, механизма загрузки, газовой панели, микроэлектрохимических элементов, регуляторов температуры, вытяжной системы, программного обеспечения и текущего состояния питания.
Запросить информацию о TEL ALPHA 8S
Свяжитесь с нашей командой, чтобы узнать о наличии бывших в употреблении плат TEL ALPHA 8S. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, целевой термический процесс, необходимые газы, предпочтительную конфигурацию партии, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, информации о конфигурации процесса, входящей в комплект кварцевой посуде, статуса проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин может обрабатывать TEL ALPHA 8S?
В представленном описании указана система для пластин диаметром 150 мм и 200 мм. Установленный лоток для пластин и загрузочное оборудование должны соответствовать требуемому размеру пластин.
Все ли аппараты ALPHA 8S настроены для одного и того же процесса?
Нет. Отдельные системы могут быть сконфигурированы для процессов окисления, отжига, диффузии или отдельных процессов осаждения. Необходимо подтвердить установленную трубную и газовую систему.
Может ли ALPHA 8S выполнять влажное и сухое окисление?
Данная платформа использовалась для влажного и сухого окисления, однако для этого необходимо наличие на имеющейся установке необходимого оборудования для подачи газа, парогенерации и технологических процессов.
Что следует проверить перед покупкой печи?
Важные проверки включают в себя проверку нагревателя, труб печи, кварцевого стекла, механизма загрузки, газовой панели, микроэлектрохимических элементов, системы контроля температуры, вытяжной системы и программного обеспечения.
