Lò khuếch tán thẳng đứng TEL ALPHA 8S
Tokyo Electron TEL ALPHA 8S là hệ thống xử lý nhiệt theo mẻ thẳng đứng được phát triển để oxy hóa, ủ và các quy trình lò nung nhiệt độ cao khác cho tấm bán dẫn. Danh sách thiết bị hiện có cho thấy hệ thống này tương thích với cả tấm bán dẫn 150 mm và 200 mm.
Hệ thống ALPHA 8S được cung cấp với nhiều cấu hình quy trình khác nhau. Tùy thuộc vào ống lò nung, hệ thống khí, dụng cụ thạch anh và phần mềm điều khiển được lắp đặt, mỗi máy có thể được cấu hình cho quá trình oxy hóa ướt, oxy hóa khô, ủ nhiệt hoặc các quy trình LPCVD được lựa chọn.
Thông số kỹ thuật chính của TEL ALPHA 8S
| Nhà sản xuất | Công ty TNHH Điện tử Tokyo |
|---|---|
| Thương hiệu | ĐIỆN THOẠI |
| Người mẫu | ALPHA 8S |
| Loại thiết bị | Lò khuếch tán và xử lý nhiệt theo phương thẳng đứng |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, các tấm wafer có kích thước 150 mm và 200 mm. |
| Xử lý tấm bán dẫn | Xử lý nhiệt theo lô |
| Ứng dụng quy trình đã xuất bản | Quá trình oxy hóa ướt, oxy hóa khô, ủ nhiệt và LPCVD phụ thuộc vào cấu hình |
| Cấu hình quy trình thực tế | Tùy thuộc vào việc lắp đặt ống lò, bảng điều khiển khí, dụng cụ thạch anh và xác nhận công thức. |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
Kiến trúc lò nung theo mẻ thẳng đứng
Đã công bố hỗ trợ cho các tấm wafer 150 mm và 200 mm.
Thích hợp cho các quy trình oxy hóa và ủ bán dẫn.
Khả năng vận hành của quy trình được xác định bởi hệ thống ống lò và khí đã lắp đặt.
Tự động nạp wafer và điều khiển công thức tùy thuộc vào cấu hình.
Ứng dụng điển hình
Thiết bị TEL ALPHA 8S có thể được sử dụng cho quá trình oxy hóa nhiệt ướt hoặc khô, kích hoạt chất pha tạp, ủ nhiệt và các quy trình lò nung theo mẻ khác. Các hệ thống được cấu hình phù hợp cũng có thể hỗ trợ các quy trình LPCVD silicon, silicon nitride hoặc silicon oxide.
Ứng dụng chính xác cần được xác nhận từ tên gọi quy trình, vật liệu ống lò nung, tủ khí, cấu hình MFC, xử lý khí thải, thuyền thạch anh và các hồ sơ quy trình hiện có.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Nền tảng ALPHA 8S được cung cấp với nhiều biến thể quy trình khác nhau, do đó chỉ tên model không thể xác định được quy trình được cài đặt. Khách hàng nên xác nhận xem máy hiện có được cấu hình cho quá trình oxy hóa, ủ nhiệt, khuếch tán hay lắng đọng.
Trước khi báo giá, cần kiểm tra ống lò nung, tình trạng bộ gia nhiệt, đồ gốm thạch anh, khay đựng wafer, cơ cấu nạp liệu, bảng điều khiển khí, MFC, bộ điều khiển nhiệt độ, hệ thống hút khí, phần mềm và trạng thái hoạt động hiện tại của máy.
Yêu cầu thông tin về TEL ALPHA 8S
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy TEL ALPHA 8S đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp kích thước wafer, quy trình xử lý nhiệt mục tiêu, các loại khí cần thiết, cấu hình lô hàng ưu tiên, quốc gia đích và lịch trình lắp đặt.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh thiết bị, cấu hình quy trình, các dụng cụ thạch anh đi kèm, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy TEL ALPHA 8S có thể xử lý các loại wafer có kích thước nào?
Thông tin trong danh sách cho thấy hệ thống này dành cho wafer có kích thước 150 mm và 200 mm. Khay đựng wafer và phần cứng nạp wafer được lắp đặt phải phù hợp với kích thước wafer yêu cầu.
Liệu tất cả các thiết bị ALPHA 8S đều được cấu hình cho cùng một quy trình?
Không. Các hệ thống riêng lẻ có thể được cấu hình cho quá trình oxy hóa, ủ nhiệt, khuếch tán hoặc các quá trình lắng đọng được lựa chọn. Hệ thống ống và khí đã lắp đặt phải được xác nhận.
Máy ALPHA 8S có thể thực hiện quá trình oxy hóa ướt và khô không?
Nền tảng này đã được sử dụng cho quá trình oxy hóa ướt và khô, nhưng thiết bị cung cấp khí, thiết bị tạo hơi nước và phần cứng xử lý cần thiết phải có sẵn trên máy móc hiện có.
Cần kiểm tra những gì trước khi mua lò sưởi?
Các hạng mục cần kiểm tra quan trọng bao gồm bộ phận gia nhiệt, ống lò nung, dụng cụ thạch anh, cơ cấu nạp liệu, bảng điều khiển khí, MFC, bộ điều khiển nhiệt độ, hệ thống hút khí và phần mềm vận hành.
