Ihanay at Ilantad
Inililipat ng kagamitang litograpo ang reticle o pattern ng maskara papunta sa resist-coated wafer.
Kagamitan sa Paggawa ng Wafer sa Harap
Kagamitan sa Litograpiya ng Semiconductor at mga Sistema ng Litograpiya ng Wafer
Inaayos at inilalantad ng mga semiconductor lithography machine ang mga pattern ng circuit sa mga photoresist-coated wafer. Mag-browse ng mga available na gamit nang semiconductor lithography equipment, kabilang ang mga wafer stepper, lithography scanner at mask aligner, o magpadala ng modelo, larawan ng makina, nameplate, laki ng wafer, kinakailangan sa proseso o numero ng ekstrang bahagi ng lithography para sa pagsusuri.
Mga Wafer Stepper
Mga Scanner ng Litograpiya
Mga Mask Aligner
Mga Gamit na Kagamitan at Bahagi
Kung Saan Naaangkop ang Litograpiya sa Paggawa ng Front-End Wafer
Hindi kukumpleto ng isang makinang lithography ang buong proseso ng photolithography nang mag-isa. Inihahanda at binubuo ng mga track system ang resist, tinutukoy ng exposure system ang pattern, at kinukumpirma ng metrology at inspection equipment ang resulta.
Ang patterned resist ang siyang gumagabay sa mga proseso tulad ng etching o ion implantation. Ang thin-film deposition, thermal processing at CMP ang naghahanda o nagpapanumbalik ng mga layer na gagamitin sa susunod na manufacturing cycle.
Ang eksaktong pagkakasunod-sunod ay nag-iiba ayon sa device, process layer, at fab integration. Hindi lahat ng wafer layer ay gumagamit ng bawat kategorya ng kagamitan na ipinapakita rito.
Maghanda
Tukuyin ang Pattern
Ibunyag
Pahiran at Ihurno
Naglalapat ng photoresist ang mga coater/developer track system at kinokontrol ang mga kinakailangang hakbang sa pagbe-bake.
Paunlarin
Binubuo ng track system ang nakalantad na resist at inihahanda ang wafer para sa susunod na hakbang.
KumpirmahinSukatin at Suriin
Kinukumpirma ng mga pagsusuri sa CD, overlay, at depekto kung katanggap-tanggap ang patterned layer.
Buuin o Ihanda ang Layer
Gamitin ang Pattern
Magagamit na Gamit na Kagamitan sa Litograpiya ng Semiconductor
Mag-browse ng mga kasalukuyang gamit nang lithography machine, wafer exposure system, at photolithography equipment na ibinebenta. Dapat kumpirmahin ang aktwal na hulapi ng modelo, format ng wafer, mga naka-install na opsyon, kondisyon, mga kasama na aksesorya, at saklaw ng paghahatid para sa partikular na makinang sinisingil.
Maaaring suportahan ng dalawang makina mula sa iisang pamilya ng plataporma ang magkaibang laki ng wafer, pinagmumulan ng liwanag, mga opsyon sa automation o mga kapaligiran ng software. Paghambingin ang aktwal na configuration, hindi lamang ang pangalan ng modelo.
Kailangan mo ba ng isang modelo na hindi na ginagamit, kapalit na sistema o ekstrang bahagi?
Ipadala ang Iyong Kahilingan
Ipadala ang tagagawa, modelo, larawan ng makina, nameplate, deskripsyon ng depekto o numero ng bahagi. Maaari muna naming suriin ang kasalukuyang availability, mga opsyon sa pagkuha ng produkto, mga direksyon sa pagpapalit o ang susunod na teknikal na pagsusuri batay sa impormasyong ibinigay.
Maaaring Sumuporta ang Gamit nang Kagamitang Litograpiya sa Pagpapalit, Pagpapalawak, at mga Legacy Platform
Ang halaga ng mga gamit nang kagamitan ay hindi limitado sa mas mababang presyo ng pagbili. Makakatulong ito sa mga mamimili na patuloy na gumamit ng mga napatunayang plataporma ng produksyon, palitan ang isang sirang makina, palawakin ang isang linya ng mga mature-node o makakuha ng mga sistema at ekstrang bahagi na hindi na ginagamit.
Ito ay lalong mahalaga kapag ang isang umiiral na pabrika ay nais mapanatili ang pagpapatuloy ng proseso, pamilyaridad ng operator, at compatibility ng naka-install na linya sa halip na lumipat sa isang ganap na naiibang platform.
Mga Kagamitan at Ekstrang Bahagi na Hindi Na Ipinagbibili
Ipagpatuloy ang pagsusuri sa mga pamilya ng kagamitan, mga pamalit na sistema, at mga bahaging maaaring hindi na magagamit sa pamamagitan ng mga normal na channel ng bagong kagamitan.
Mas Mababang Pangako sa Kapital
Isaalang-alang ang isang angkop na mature-node o specialty platform na may mas mababang capital commitment habang sinusuri pa rin ang aktwal na makina at saklaw ng paghahatid.
Pagpapatuloy Gamit ang Isang Umiiral na Linya
Ang isang pamilyar na pamilya ng makina ay maaaring makabawas sa mga pagbabago sa proseso, pagsasanay ng operator, mga interface, at naka-install na kapaligiran sa produksyon.
Pagpapalit at Teknikal na Pagsusuri
Ang mga larawan ng makina, impormasyon tungkol sa depekto, at mga label ng piyesa ay maaaring makatulong sa pagsusuri ng kapalit, talakayan tungkol sa mga ekstrang piyesa, at pagsusuri ng isyu pagkatapos ng paghahatid.
Pag-unawa sa mga Uri ng Makinang Litograpiya at mga Teknolohiya ng Exposure
Ang arkitektura ng kagamitan at teknolohiya ng pagkakalantad ay sumasagot sa dalawang magkaibang tanong. Inilalarawan ng isang wafer stepper, lithography scanner o mask aligner kung paano inilalantad ang pattern; inilalarawan ng i-line, KrF, ArF o EUV ang pinagmumulan ng liwanag at pagbuo ng teknolohiya ginagamit ng sistema ng pagkakalantad ng semiconductor.
Hindi mo kailangang tukuyin ang eksaktong plataporma bago kami kontakin. Ang isang modelo, larawan, laki ng wafer o pangunahing paglalarawan ng proseso ay sapat na upang makapagsimula ng mas detalyadong pagsusuri.
Arkitektura × teknolohiya ng pagkakalantad nagbibigay ng direksyon sa plataporma. Ang eksaktong paghawak ng wafer, overlay, laki ng field, automation at mga naka-install na opsyon ay nakasalalay pa rin sa partikular na makina.
Tanong 01Paano Inilalantad ang Padron?
Wafer Stepper
Nagpo-project ng isang exposure field, inililipat ang wafer stage at inuulit ang pattern sa buong wafer.
Suriin ang exposure field, reduction ratio, overlay, laki ng wafer at throughput.Litograpiyang Scanner
Synchronous na ini-scan ang reticle at wafer habang nakalantad para sa mas malalaking field at advanced na performance sa imaging.
Suriin ang yugto ng pag-scan, pinagmulan, overlay, pagsasama ng track, automation at mga kinakailangan sa fab.Mask Aligner
Inaayos ang maskara at wafer para sa contact, proximity o mga kaugnay na exposure mode na ginagamit sa pananaliksik at espesyal na produksyon.
Kabilang sa mga karaniwang lugar ng pagsusuri ang laki ng substrate, pagkakahanay, exposure mode at antas ng automation.Tanong 02Aling Teknolohiya ng Exposure ang Ginagamit ng Platform?
i-line
Malawakang ginagamit sa mga aplikasyon ng mature-node, MEMS, power semiconductor, compound semiconductor at mga advanced-packaging.
Tiyakin ang laki ng wafer, pagkakatugma ng proseso, at kondisyon ng lampara/pinagmulan.Unyong Kristiyanong Demokratiko (KrF)
248 nm projection lithography para sa mas pinong patterning kaysa sa karaniwang mga i-line platform.
Kumpirmahin ang process layer, laser/source configuration, resist system at mga naka-install na opsyon.ArF DUV
193 nm dry o immersion lithography na ginagamit para sa higher-resolution semiconductor patterning.
Kumpirmahin ang mga kondisyon ng imaging target, overlay, automation, stage, software at pasilidad.EUV
Isang advanced na sangay ng litograpiya na ginagamit para sa mga piling kritikal na patong sa nangungunang pagmamanupaktura.
Hindi kinatawan ng EUV ang mas malawak na merkado ng mga kagamitang panglithography na ginagamit na.
Tinutukoy ng "Scanner" ang arkitektura ng exposure.
×
Tinutukoy ng "KrF" ang teknolohiya ng pagkakalantad. Hindi kinukumpirma ng alinman sa mga terminong ito ang laki ng wafer, automation, naka-install na configuration, o aktwal na kondisyon ng makina.
Magsimula sa Isang Modelo, Larawan o Pangunahing Pangangailangan
Hindi mo kailangan ng kumpletong detalye ng litograpiya bago makipag-ugnayan sa amin. Ipadala ang impormasyong mayroon na, at hihingin lamang namin ang mga detalyeng kailangan para sa susunod na desisyon.
Ano ang Susunod na Mangyayari
Ginagawa naming praktikal na direksyon ng kagamitan ang panimulang impormasyon, pagkatapos ay sinusuri ang mga totoong opsyon sa supply at sinusuri ang isang partikular na makina bago magbigay ng sipi o karagdagang teknikal na talakayan.
Tukuyin ang Direksyon ng Kagamitan
Gamitin ang modelo, larawan, laki ng wafer, aplikasyon at kasalukuyang linya upang paliitin ang malamang na pamilya ng kagamitan, teknolohiya ng pagkakalantad, at nawawalang impormasyon.
Suriin ang Availability, Sourcing at Mga Opsyon sa Pagpapalit
Suriin ang mga kasalukuyang listahan, iba pang mapapatunayang mga channel ng supply, mga platform na itinigil na, mga kaugnay na ekstrang piyesa at mga posibleng direksyon sa pagpapalit.
Suriin ang Isang Partikular na Makina
Kapag natukoy na ang isang makina, kumpirmahin ang aktwal na modelo, mga larawan, kilalang kondisyon, ebidensya ng konpigurasyon at ang sipi o saklaw ng paghahatid na kailangan pa ring talakayin.
Kailangan mo ba ng pamalit na sistema, platform na itinigil na, ekstrang bahagi o teknikal na pagsusuri?
Ipadala ang Iyong Kahilingan
Ipadala ang modelo, larawan ng makina, nameplate, numero ng bahagi o paglalarawan ng depekto. Maaaring suriin ng aming mga pangkat sa kagamitan, teknikal, at pagkatapos-benta ang susunod na direksyon sa pagbili o suporta.
Kumpirmahin ang Order Bago ang Paghahatid, Pagkatapos ay Suriin ang Kagamitan Pagkatapos ng Pagdating
Para sa isang malaking gamit nang makinang lithography, simple lang ang praktikal na pokus: kumpirmahin nang eksakto kung aling makina at saklaw ng suporta ang napagkasunduan, pagkatapos ay idokumento ang kondisyon ng kagamitan bago ang pag-install o pag-on.
Kumpirmahin ang Makina, mga Ekstrang Bahagi at Saklaw ng Paghahatid
Dapat linawin ng sipi o kumpirmasyon ng order ang mga pangunahing hangganan sa komersyo nang hindi kinakailangang basahin muli ng mamimili ang isang mahabang teknikal na checklist.
- Ang makinang ibinibigay
Kumpirmahin ang tagagawa, kumpletong modelo, mga aktwal na larawan ng makina, alam na kondisyon at ang napagkasunduang konpigurasyon para sa order.
- Kasamang kagamitan at mga inirerekomendang ekstrang bahagi
Kumpirmahin ang mga kagamitan at aksesorya na kasama sa listahan ng paghahatid. Para sa mga platapormang itinigil o patuloy na pinapatakbo, isaalang-alang din ang paghahanda ng mahahalagang ekstrang bahagi upang mabawasan ang panganib ng paghinto ng produksyon pagkatapos ng biglaang pagkasira.
- Mga tuntunin sa pag-aalis ng pagkakabit, pag-iimpake at paghahatid
Tiyakin kung ang makina ay ibinebenta na sa lugar o inihahanda para sa pagpapadala, kung sino ang nag-oorganisa ng pag-alis ng pagkakabit at pag-iimpake, at kung ang paghahatid ay matatapos sa lugar ng kagamitan, bodega, daungan o napagkasunduang destinasyon.
- Garantiya, panahon ng serbisyo at teknikal na suporta
Dapat isaad ang anumang warranty, panahon ng pagtugon sa pagkukumpuni, malayuang suporta, tulong sa pag-install o iba pang serbisyo para sa partikular na makina at ang presyo nito.
Ang pagpaplano ng mga ekstrang piyesa ay maaaring maging bahagi ng parehong talakayan. Magpadala ng numero ng bahagi, etiketa, o larawan kung gusto mong repasuhin namin ang mga available na piyesa ng makinang lithography o mga posibleng direksyon sa pagpapalit.
Siyasatin ang Kagamitan Bago Mag-install o Mag-on
Ang pagtanggap ng mga tseke ay nakakatulong na mapanatili ang ebidensya at matukoy ang mga problema sa transportasyon o paghahatid bago baguhin ng gawaing pag-install ang kondisyon ng makina.
- Idokumento ang kondisyon ng pagbabalot at pagdiskarga
Kunan ng larawan ang kahon, mga indikasyon ng transportasyon, proseso ng pagdiskarga at anumang nakikitang pagbangga, pagkiling, kahalumigmigan o panlabas na pinsala.
- I-verify ang makina at ang napagkasunduang listahan ng paghahatid
Suriin ang modelo, serial number, pangunahing kagamitan at mga napagkasunduang aksesorya laban sa listahan ng pag-iimpake at mga talaan bago ang pagpapadala.
- Huwag buksan ang kuryente hangga't hindi pa nakumpirma ang mga kondisyon ng lugar
Tiyakin ang suplay ng kuryente, pagpapalamig, mga gas, tambutso, kapaligiran, mga kandado ng transportasyon, at responsibilidad ng inhinyero bago paganahin ang kagamitan.
- Magpadala ng ebidensya kung may anumang hindi normal
Magbigay ng mga larawan, video, impormasyon tungkol sa alarma, mga detalye ng nasirang bahagi, o mga label ng piyesa upang masuri ng teknikal at after-sales team ang susunod na hakbang.
Suporta Teknikal at Pagkatapos-Sales para sa mga Piyesa, Pagsusuri ng Depekto at Kagamitang Pamalit
Talakayin ang Suporta o mga Ekstrang Bahagi
Lumitaw man ang problema bago pa man bilhin, habang sinusuri ang kapalit, o pagkatapos ng paghahatid, maaari kang magpadala ng mga larawan ng makina, mga nameplate, mga screen ng alarma, mga deskripsyon ng depekto, o mga label ng bahagi para sa karagdagang pagsusuri.
Mga Madalas Itanong (FAQ) tungkol sa Makinang Litograpiya ng Semiconductor
Mga praktikal na sagot para sa pagtukoy ng kagamitan, sourcing, mga pagkakaiba ng plataporma, mga presyo ng gamit nang makinang litograpiya at pagtanggap ng mga tseke.
Matutukoy mo ba ang isang makinang panglithography mula sa isang larawan o nameplate?
Ang isang malinaw na larawan ng makina, nameplate, controller screen o label ng piyesa ay maaaring makatulong upang matukoy ang tagagawa, pamilya ng modelo at ang mga susunod na detalye na kailangang suriin. Ang pagkakakilanlan mula sa isang larawan ay paunang impormasyon lamang at dapat kumpirmahin laban sa pisikal na makina at dokumentasyon.
Ano ang pagkakaiba ng wafer stepper at lithography scanner?
Inilalantad ng stepper ang isang field at pagkatapos ay inililipat ang wafer sa susunod na posisyon. Sabay-sabay na inililipat ng scanner ang reticle at wafer habang exposure. Ang tamang pagpili ay depende rin sa exposure technology, laki ng wafer, overlay, field, throughput, automation at aktwal na configuration ng makina.
Maaari ba kayong maghanap ng makinang panglithography o ekstrang piyesa na wala sa listahan sa kasalukuyan?
Maaari mong ipadala ang tagagawa, modelo, larawan, nameplate, aplikasyon, deskripsyon ng depekto o numero ng bahagi. Maaari naming suriin ang kasalukuyang availability, mapapatunayang mga opsyon sa sourcing, mga direksyon sa kapalit na sistema o mga piyesa ng makinang lithography, ngunit dapat kumpirmahin ang availability at compatibility para sa partikular na kahilingan.
Bakit maaaring magkaiba ang presyo ng dalawang gamit nang makinang panglithography?
Kahit na ang dalawang makina ay kabilang sa iisang pamilya ng plataporma, maaaring magkaiba ang mga ito sa hulapi, konpigurasyon, ebidensya ng kondisyon, mga kasamang aksesorya, saklaw ng pag-iimpake, ruta ng paghahatid at napagkasunduang suporta. Ang praktikal na tanong ay hindi kung aling numero ang mas mababa, kundi kung anong partikular na makina at saklaw ng paghahatid ang aktwal na inaalok.
Maaari bang kumonekta ang isang gamit nang makinang lithography sa ating kasalukuyang sistema ng riles?
Posible, ngunit dapat suriin ang wafer format, cassette o FOUP handling, pisikal na layout, recipe flow, host communication, automation standards at throughput balance. Ang mga pangalan lamang ng platform ay hindi sapat upang mapatunayan ang pagiging tugma ng track.
Ano ang dapat suriin kapag dumating ang kagamitan?
Idokumento ang panlabas na kondisyon ng packaging at pagdiskarga, ihambing ang lahat ng kagamitan at aksesorya sa listahan ng pag-iimpake, beripikahin ang mga serial number at mga kandado sa transportasyon, siyasatin kung may pinsala o kahalumigmigan, at kumpirmahin ang mga kondisyon ng pasilidad bago buksan. Kung may lumitaw na isyu pagkatapos ng paghahatid, maaari ka ring magpadala ng mga larawan, video, impormasyon ng alarma o mga label ng bahagi upang masuri ang susunod na hakbang sa suporta.
Magpadala ng Modelo, Larawan ng Makina, Nameplate, Kinakailangan sa Proseso o Numero ng Bahagi
Magsimula sa anumang impormasyong makukuha. Maaari nating suriin ang direksyon ng kagamitan, kasalukuyang availability, aktwal na konpigurasyon ng makina, kahilingan para sa ekstrang bahagi, mga posibilidad ng kapalit na makina o impormasyon tungkol sa isyu pagkatapos ng paghahatid na nangangailangan pa rin ng teknikal na pagsusuri.