Выравнивание и экспозиция
Литографическое оборудование переносит рисунок фотошаблона или маски на пластину, покрытую резистом.
Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе
Оборудование для литографии полупроводников и системы для литографии кремниевых пластин.
Оборудование для полупроводниковой литографии выравнивает и экспонирует схемы на пластинах, покрытых фоторезистом. Ознакомьтесь с доступным бывшим в употреблении оборудованием для полупроводниковой литографии, включая степперы для пластин, литографические сканеры и устройства выравнивания масок, или отправьте модель, фотографию оборудования, паспортную табличку, размер пластины, требования к процессу или номер запасной части для литографического оборудования для рассмотрения.
шаговые устройства для вафель
Литографические сканеры
Выравниватели масок
Бывшее в употреблении оборудование и запчасти
Место литографии в процессе изготовления кремниевых пластин на начальном этапе.
Литографическая машина не выполняет весь процесс фотолитографии самостоятельно. Системы отслеживания подготавливают и проявляют резист, система экспонирования определяет рисунок, а метрологическое и контрольное оборудование подтверждает результат.
Затем нанесенный резист направляет такие процессы, как травление или ионная имплантация. Нанесение тонких пленок, термическая обработка и химико-механическая полировка подготавливают или восстанавливают слои, используемые в следующем производственном цикле.
Точная последовательность варьируется в зависимости от устройства, технологического слоя и интеграции на фабрике. Не каждый слой кремниевой пластины использует все категории оборудования, показанные здесь.
Подготовить
Определите шаблон
Раскрывать
Покрыть и запечь
Системы нанесения покрытия/проявления на направляющих наносят фоторезист и контролируют необходимые этапы термообработки.
Развивать
Система дорожек проявляет экспонированный резист и подготавливает пластину к следующему этапу.
ПодтверждатьЗамеры и осмотр
Проверки CD, совмещения и дефектов подтверждают приемлемость нанесенного слоя.
Создать или подготовить слой
Используйте шаблон
Доступно бывшее в употреблении оборудование для литографии на полупроводниковых носителях.
Ознакомьтесь с актуальным ассортиментом подержанных литографических машин, систем экспонирования пластин и фотолитографического оборудования, выставленных на продажу. Для конкретного предлагаемого оборудования необходимо уточнить суффикс модели, формат пластины, установленные опции, состояние, входящие в комплект аксессуары и комплект поставки.
Две машины из одного семейства платформ могут поддерживать разные размеры пластин, источники света, варианты автоматизации или программные среды. Сравнивайте фактическую конфигурацию, а не только название модели.
Нужна снятая с производства модель, система на замену или запасная часть?
Отправьте свой запрос
Пришлите информацию о производителе, модели, фотографию оборудования, заводскую табличку, описание неисправности или номер детали. На основании предоставленной информации мы сможем сначала оценить наличие товара, варианты поиска поставщиков, порядок замены или дальнейшую техническую проверку.
Бывшее в употреблении литографическое оборудование может использоваться для замены, расширения и модернизации устаревших платформ.
Ценность подержанного оборудования не ограничивается более низкой ценой покупки. Оно может помочь покупателям продолжить использование проверенных производственных платформ, заменить вышедшее из строя оборудование, расширить отлаженную производственную линию или приобрести снятые с производства системы и запасные части.
Это особенно актуально, когда существующее производство хочет сохранить непрерывность процесса, привычность для операторов и совместимость установленного оборудования, а не переходить на совершенно другую платформу.
Снятое с производства оборудование и запасные части
Продолжайте оценивать семейства оборудования, системы замены и компоненты, которые могут быть больше недоступны через обычные каналы приобретения нового оборудования.
Снижение объема капитальных вложений
Рассмотрите подходящую зрелую технологическую платформу или специализированную платформу с меньшими капиталовложениями, при этом обязательно оценивая фактическое оборудование и объем поставок.
Непрерывность с существующей линией
Использование хорошо зарекомендовавшего себя семейства машин может сократить количество изменений в технологическом процессе, обучении операторов, интерфейсах и установленной производственной среде.
Замена и технический обзор
Фотографии оборудования, информация о неисправностях и маркировка деталей могут помочь в оценке возможности замены, обсуждении запасных частей и анализе проблем после поставки.
Понимание типов литографических аппаратов и технологий экспозиции
Архитектура оборудования и технология экспонирования отвечают на два разных вопроса. Устройство для степпинга пластин, литографический сканер или устройство выравнивания масок описывают как проявляется этот шаблонi-линия, KrF, ArF или EUV описывают источник света и поколение технологий используется системой экспонирования полупроводников.
Вам не нужно уточнять точную модель платформы перед тем, как связаться с нами. Для начала более подробного анализа достаточно модели, фотографии, размера пластины или базового описания процесса.
Архитектура × технология экспозиции Это задаёт направление развития платформы. Точные параметры обработки пластин, совмещения, размера поля, автоматизации и установленных опций по-прежнему зависят от конкретного оборудования.
Вопрос 01Как выявляется эта закономерность?
Wafer Stepper
Проецирует одно поле экспозиции, перемещает столик для пластины и повторяет рисунок по всей пластине.
Проанализируйте поле экспозиции, коэффициент уменьшения, наложение, размер пластины и производительность.Литографический сканер
Синхронное сканирование фотошаблона и подложки во время экспозиции обеспечивает получение более крупных полей и улучшенные характеристики изображения.
Проанализируйте этапы сканирования, источники, наложение, интеграцию дорожек, автоматизацию и требования к производству.Выравниватель масок
Обеспечивает выравнивание маски и пластины для контактного, бесконтактного или аналогичных режимов экспозиции, используемых в научных исследованиях и специализированном производстве.
К типичным областям проверки относятся размер подложки, выравнивание, режим экспозиции и уровень автоматизации.Вопрос 02Какую технологию экспозиции использует платформа?
i-линия
Широко используется в зрелых технологических процессах, микроэлектромеханических системах (MEMS), силовых полупроводниках, составных полупроводниках и передовых технологиях корпусирования.
Подтвердите размер пластины, совместимость технологического процесса и состояние лампы/источника.Христианско-демократический союз (КРФ)
Проекционная литография с длиной волны 248 нм обеспечивает более тонкое формирование рисунка, чем типичные платформы i-линии.
Подтвердите технологический слой, конфигурацию лазера/источника, систему резистов и установленные опции.ArF DUV
Сухая или иммерсионная литография с длиной волны 193 нм используется для формирования полупроводниковых рисунков с более высоким разрешением.
Подтвердите состояние мишени для визуализации, наложения изображений, автоматизации, платформы, программного обеспечения и оборудования.УФ-излучение
Передовое направление литографии, используемое для обработки отдельных критически важных слоев в современных производственных процессах.
Данные по EUV-литографии не отражают ситуацию на более широком рынке подержанного литографического оборудования.
«Сканер» обозначает архитектуру экспозиции.
×
Термин «KrF» обозначает технологию экспонирования. Ни один из этих терминов сам по себе не подтверждает размер пластины, уровень автоматизации, конфигурацию оборудования или фактическое состояние машины.
Начните с модели, фотографии или основных требований.
Для связи с нами вам не потребуется полное техническое задание на литографию. Отправьте уже имеющуюся информацию, и мы запросим только те данные, которые необходимы для принятия дальнейшего решения.
Что произойдет дальше?
Мы преобразуем исходную информацию в практическое направление по выбору оборудования, затем проверяем реальные варианты поставок и рассматриваем конкретную машину перед составлением коммерческого предложения или дальнейшим техническим обсуждением.
Определите направление движения оборудования.
Используйте модель, фотографию, размер пластины, область применения и существующую производственную линию, чтобы сузить круг возможных вариантов семейства оборудования, технологии экспозиции и недостающей информации.
Проверьте наличие, варианты поиска поставщиков и замены.
Проанализируйте текущие предложения, другие проверенные каналы поставок, снятые с производства платформы, соответствующие запасные части и возможные варианты замены.
Обзор конкретного оборудования
После идентификации оборудования необходимо подтвердить фактическую модель, фотографии, известное состояние, данные о конфигурации, а также объем работ или поставки, которые еще требуют обсуждения.
Нужна замена системы, снятой с производства платформе, запасной части или технический обзор?
Отправьте свой запрос
Отправьте модель, фотографию оборудования, заводскую табличку, номер детали или описание неисправности. Наши специалисты по оборудованию, технической поддержке и послепродажному обслуживанию смогут определить дальнейшие шаги по закупке или технической поддержке.
Подтвердите заказ перед доставкой, затем осмотрите оборудование после прибытия.
В случае с крупным бывшим в употреблении литографическим оборудованием практический подход прост: необходимо точно подтвердить, какое именно оборудование и объем работ по его обслуживанию были согласованы, а затем задокументировать состояние оборудования до установки или включения питания.
Уточните тип оборудования, наличие запасных частей и объем поставки.
В коммерческом предложении или подтверждении заказа должны быть четко указаны основные коммерческие границы, без необходимости для покупателя расшифровывать длинный технический список требований.
- Поставляемое оборудование
Подтвердите производителя, полную модель, фотографии реального оборудования, известное состояние и согласованную для заказа конфигурацию.
- В комплект поставки входит оборудование и рекомендуемые запасные части.
Проверьте комплектацию оборудования и принадлежностей, указанных в списке поставки. Для снятых с производства или эксплуатируемых платформ также следует предусмотреть наличие критически важных запасных частей, чтобы снизить риск остановки производства в случае внезапной поломки.
- Условия демонтажа, упаковки и доставки
Уточните, продается ли оборудование на месте или подготовлено к отгрузке, кто координирует демонтаж и упаковку, и заканчивается ли доставка на площадке установки оборудования, складе, в порту или в согласованном месте назначения.
- Гарантия, срок обслуживания и техническая поддержка
Любая гарантия, срок реагирования на ремонт, удаленная поддержка, помощь в установке или другие услуги должны быть указаны для конкретной машины и коммерческого предложения.
Вопросы планирования запасных частей также могут быть частью этого обсуждения. Пришлите номер детали, этикетку или фотографию, если хотите, чтобы мы проверили наличие запчастей для литографических машин или предложили возможные варианты замены.
Перед установкой или включением оборудования осмотрите его.
Приемочные проверки помогают сохранить доказательства и выявить проблемы при транспортировке или доставке до того, как монтажные работы изменят состояние оборудования.
- Задокументируйте состояние упаковки и разгрузки.
Сфотографируйте ящик, транспортировочные индикаторы, процесс разгрузки, а также любые видимые повреждения, такие как удары, наклон, влага или внешние дефекты.
- Проверьте оборудование и согласованный список поставок.
Проверьте модель, серийный номер, основное оборудование и согласованные аксессуары по упаковочному листу и предотгрузочным документам.
- Не включайте питание до подтверждения условий на объекте.
Перед включением оборудования необходимо убедиться в наличии электропитания, системы охлаждения, газоснабжения, выхлопных газов, защиты окружающей среды, транспортных замков и ответственности инженерного отдела.
- При обнаружении каких-либо отклонений от нормы предоставьте подтверждающие документы.
Предоставьте фотографии, видео, информацию о тревоге, подробные сведения о поврежденных участках или этикетки деталей, чтобы техническая и послепродажная команда могли оценить дальнейшие действия.
Техническая и послепродажная поддержка, включая поставку запчастей, диагностику неисправностей и замену оборудования.
Обсудите вопросы технической поддержки или запасных частей.
Вне зависимости от того, возникла ли проблема до покупки, во время оценки возможности замены или после доставки, вы можете отправить фотографии оборудования, таблички с описанием, изображения с экранов аварийных сигналов, описания неисправностей или этикетки деталей для дальнейшего анализа.
Часто задаваемые вопросы о полупроводниковых литографических машинах
Практические ответы на вопросы по идентификации оборудования, поиску поставщиков, различиям платформ, ценам на бывшие в употреблении литографические машины и приемочным проверкам.
Можно ли определить литографический аппарат по фотографии или табличке с названием?
Четкое фото станка, заводская табличка, экран контроллера или маркировка детали могут помочь определить производителя, модельный ряд и необходимые для проверки детали. Идентификация по фотографии является предварительной и должна быть подтверждена фактическим состоянием станка и документацией.
В чём разница между степпером для кремниевых пластин и литографическим сканером?
Шаговый двигатель экспонирует одно поле, а затем перемещает пластину в следующее положение. Сканер синхронно перемещает фотошаблон и пластину во время экспонирования. Правильный выбор также зависит от технологии экспонирования, размера пластины, совмещения, поля, производительности, автоматизации и фактической конфигурации оборудования.
Можете ли вы найти литографический аппарат или запасную часть, которых в настоящее время нет в списке?
Вы можете прислать информацию о производителе, модели, фотографию, заводскую табличку, область применения, описание неисправности или номер детали. Мы можем проверить наличие товара, поддающиеся проверке варианты поставок, инструкции по замене системы или детали литографического оборудования, но наличие и совместимость должны быть подтверждены для конкретного запроса.
Почему две бывшие в употреблении литографические машины могут иметь разную цену?
Даже если две машины принадлежат к одному семейству платформ, они могут отличаться по суффиксу, конфигурации, состоянию, входящим в комплект аксессуарам, упаковке, способу доставки и согласованной поддержке. Практический вопрос заключается не в том, чей номер ниже, а в том, какая именно машина и какой комплект поставки предлагаются.
Можно ли подключить подержанный литографический аппарат к нашей существующей системе железнодорожных путей?
Возможно, но необходимо проверить формат пластины, обработку кассет или FOUP, физическую компоновку, последовательность выполнения рецептов, связь с хостом, стандарты автоматизации и баланс пропускной способности. Одних только названий платформ недостаточно для подтверждения совместимости дорожек.
Что следует проверить по прибытии оборудования?
Задокументируйте состояние внешней упаковки и разгрузки, сравните все оборудование и принадлежности с упаковочным листом, проверьте серийные номера и транспортировочные замки, осмотрите на наличие повреждений или влаги и подтвердите состояние помещения перед включением питания. Если проблема возникнет после доставки, вы также можете отправить фотографии, видео, информацию о тревоге или этикетки на деталях, чтобы можно было рассмотреть дальнейшие шаги по поддержке.
Пришлите модель, фотографию оборудования, заводскую табличку, технологическое описание или номер детали.
Начните с имеющейся информации. Мы можем проанализировать направление развития оборудования, текущую доступность, фактическую конфигурацию машины, запросы на запасные части, возможности замены оборудования или информацию о проблемах после поставки, которые еще требуют технического анализа.