Aligner et exposer
L'équipement de lithographie transfère le motif du réticule ou du masque sur la plaquette recouverte de résine.
Équipement de fabrication de plaquettes de silicium en amont
Équipements de lithographie pour semi-conducteurs et systèmes de lithographie pour plaquettes
Les machines de lithographie pour semi-conducteurs alignent et exposent les motifs de circuits sur des plaquettes recouvertes de photorésine. Consultez notre catalogue d'équipements de lithographie pour semi-conducteurs d'occasion, incluant les steppers, les scanners et les aligneurs de masques, ou envoyez-nous un modèle, une photo de la machine, sa plaque signalétique, le format de la plaquette, les spécifications du procédé ou la référence d'une pièce détachée pour lithographie afin d'obtenir une évaluation.
Steppers à plaquettes
Scanners lithographiques
Aligneurs de masques
Matériel et pièces d'occasion
Quelle est la place de la lithographie dans la fabrication des plaquettes en amont ?
Une machine de lithographie ne réalise pas à elle seule l'intégralité du processus de photolithographie. Les systèmes de traitement des pistes préparent et développent la résine, le système d'exposition définit le motif, et les équipements de métrologie et d'inspection confirment le résultat.
La résine photosensible structurée guide ensuite des procédés tels que la gravure ou l'implantation ionique. Le dépôt de couches minces, le traitement thermique et le polissage chimico-mécanique (CMP) préparent ou restaurent les couches utilisées lors du cycle de fabrication suivant.
La séquence exacte varie selon le dispositif, la couche de traitement et l'intégration en usine. Toutes les couches de plaquettes n'utilisent pas toutes les catégories d'équipements présentées ici.
Préparer
Définir le modèle
Révéler
Enrober et cuire
Les systèmes de revêtement/développeur appliquent la résine photosensible et contrôlent les étapes de cuisson nécessaires.
Développer
Le système de traitement des pistes développe la résine exposée et prépare la plaquette pour l'étape suivante.
ConfirmerMesurer et inspecter
Les contrôles CD, de superposition et de défauts confirment si la couche à motifs est acceptable.
Construire ou préparer la couche
Utilisez le modèle
Matériel de lithographie pour semi-conducteurs d'occasion disponible
Consultez notre sélection de machines de lithographie, de systèmes d'exposition de plaquettes et d'équipements de photolithographie d'occasion actuellement en vente. Pour chaque machine faisant l'objet d'un devis, veuillez vérifier la référence exacte, le format des plaquettes, les options installées, l'état, les accessoires inclus et les modalités de livraison.
Deux machines appartenant à la même famille de plateformes peuvent prendre en charge des tailles de plaquettes, des sources lumineuses, des options d'automatisation ou des environnements logiciels différents. Comparez la configuration réelle, et non seulement le nom du modèle.
Vous avez besoin d'un modèle discontinué, d'un système de remplacement ou d'une pièce détachée ?
Envoyez votre demande
Veuillez nous communiquer le fabricant, le modèle, une photo de la machine, la plaque signalétique, la description du défaut ou la référence de la pièce. Nous pourrons ainsi vérifier la disponibilité actuelle, les options d'approvisionnement, les instructions de remplacement ou la prochaine étape du contrôle technique.
Les équipements de lithographie d'occasion peuvent prendre en charge le remplacement, l'extension et les plateformes existantes.
L'intérêt du matériel d'occasion ne se limite pas à un prix d'achat inférieur. Il permet aux acheteurs de continuer à utiliser des plateformes de production éprouvées, de remplacer une machine défaillante, de développer une ligne de production mature ou d'acquérir des systèmes obsolètes et des pièces détachées.
Cela est particulièrement pertinent lorsqu'une usine de fabrication existante souhaite préserver la continuité des processus, la familiarité des opérateurs et la compatibilité des lignes installées plutôt que de passer à une plateforme entièrement différente.
Équipements et pièces détachées obsolètes
Continuez d'évaluer les gammes d'équipements, les systèmes de remplacement et les composants qui ne sont plus disponibles par les circuits de distribution habituels.
Engagement de capital réduit
Envisagez une plateforme mature ou spécialisée adaptée, nécessitant un investissement initial moindre, tout en examinant la machine et le périmètre de livraison.
Continuité avec une ligne existante
L'utilisation d'une gamme de machines familière peut réduire les modifications apportées au processus, à la formation des opérateurs, aux interfaces et à l'environnement de production installé.
Remplacement et examen technique
Les photos de la machine, les informations sur les défauts et les étiquettes des pièces peuvent faciliter l'évaluation du remplacement, la discussion sur les pièces de rechange et l'examen des problèmes après livraison.
Comprendre les types de machines lithographiques et les technologies d'exposition
L'architecture des équipements et la technologie d'exposition répondent à deux questions différentes. Un stepper de plaquettes, un scanner lithographique ou un aligneur de masques décrit comment le motif est exposé; i-line, KrF, ArF ou EUV décrit la source lumineuse et la génération technologique utilisé par le système d'exposition des semi-conducteurs.
Il n'est pas nécessaire de préciser la plateforme exacte avant de nous contacter. Un modèle, une photo, la taille de la plaquette ou une description sommaire du processus suffisent pour entamer une analyse plus détaillée.
Architecture × technologie d'exposition Elle définit la direction de la plateforme. La manipulation exacte des plaquettes, leur superposition, la taille du champ, l'automatisation et les options installées dépendent toujours de la machine spécifique.
Question 01Comment le motif est-il révélé ?
Stepper à plaquettes
Projette un champ d'exposition, déplace le porte-plaquette et répète le motif sur toute la plaquette.
Examiner le champ d'exposition, le taux de réduction, la superposition, la taille de la plaquette et le débit.Scanner lithographique
Balayage synchrone du réticule et de la plaquette pendant l'exposition pour des champs plus larges et des performances d'imagerie avancées.
Examiner les étapes de numérisation, la source, la superposition, l'intégration des pistes, l'automatisation et les exigences de fabrication.Aligneur de masques
Aligne le masque et la plaquette pour les modes d'exposition par contact, proximité ou autres modes similaires utilisés dans la recherche et la production spécialisée.
Les points généralement examinés comprennent la taille du substrat, l'alignement, le mode d'exposition et le niveau d'automatisation.Question 02Quelle technologie d'exposition la plateforme utilise-t-elle ?
i-line
Largement utilisé dans les applications à nœuds matures, MEMS, semi-conducteurs de puissance, semi-conducteurs composés et emballage avancé.
Vérifier la taille de la plaquette, la compatibilité du procédé et l'état de la lampe/source.Union chrétienne-démocrate (KrF)
Lithographie par projection 248 nm pour une structuration plus fine que les plateformes i-line classiques.
Confirmer la couche de traitement, la configuration laser/source, le système de résine et les options installées.ArF DUV
Lithographie sèche ou par immersion à 193 nm utilisée pour la structuration de semi-conducteurs à haute résolution.
Vérifier la cible d'imagerie, la superposition, l'automatisation, la platine, le logiciel et les conditions de l'installation.EUV
Une technique de lithographie avancée utilisée pour certaines couches critiques dans la fabrication de pointe.
L'EUV n'est pas représentative du marché plus large des équipements de lithographie utilisés.
Le « scanner » identifie l’architecture d’exposition.
×
« KrF » désigne la technologie d’exposition. À lui seul, ce terme ne permet pas de confirmer la taille de la plaquette, l’automatisation, la configuration installée ni l’état réel de la machine.
Commencez par un modèle, une photo ou une exigence de base.
Il n'est pas nécessaire de nous fournir un cahier des charges lithographique complet avant de nous contacter. Envoyez-nous les informations dont vous disposez déjà ; nous vous demanderons uniquement les détails nécessaires à la suite de notre démarche.
Que se passe-t-il ensuite ?
Nous transformons les informations initiales en une orientation pratique concernant l'équipement, puis nous vérifions les options d'approvisionnement réelles et examinons une machine spécifique avant d'établir un devis ou d'entamer une discussion technique plus approfondie.
Identifier la direction de l'équipement
Utilisez le modèle, la photo, la taille de la plaquette, l'application et la ligne existante pour restreindre la famille d'équipements probable, la technologie d'exposition et les informations manquantes.
Vérifier la disponibilité, l'approvisionnement et les options de remplacement
Consultez les listes actuelles, les autres canaux d'approvisionnement vérifiables, les plateformes abandonnées, les pièces de rechange connexes et les instructions de remplacement possibles.
Examiner une machine spécifique
Une fois la machine identifiée, confirmez le modèle exact, les photos, l'état connu, les éléments de configuration et le devis ou l'étendue de la livraison qui nécessitent encore une discussion.
Besoin d'un système de remplacement, d'une plateforme abandonnée, d'une pièce détachée ou d'une analyse technique ?
Envoyez votre demande
Veuillez nous communiquer le modèle, une photo de la machine, la plaque signalétique, la référence de la pièce ou une description du problème. Nos équipes techniques, d'entretien et de maintenance pourront ainsi déterminer la marche à suivre pour vos prochains achats ou votre demande d'assistance.
Veuillez confirmer la commande avant la livraison, puis inspecter le matériel à son arrivée.
Pour une grande machine de lithographie d'occasion, l'objectif pratique est simple : confirmer exactement quelle machine et quel périmètre de support ont été convenus, puis documenter l'état de l'équipement avant l'installation ou la mise sous tension.
Confirmer la machine, les pièces détachées et le périmètre de livraison
Le devis ou la confirmation de commande doit clairement indiquer les principales limites commerciales sans obliger l'acheteur à décrypter une longue liste de contrôle technique.
- La machine fournie
Veuillez confirmer le fabricant, le modèle complet, les photos de la machine, son état connu et la configuration convenue pour la commande.
- Équipement inclus et pièces de rechange recommandées
Veuillez vérifier la liste des équipements et accessoires inclus dans la livraison. Pour les plateformes hors service ou en fonctionnement continu, prévoyez également des pièces de rechange critiques afin de limiter les risques d'arrêt de production suite à une panne soudaine.
- conditions de désinstallation, d'emballage et de livraison
Confirmer si la machine est vendue sur place ou préparée pour l'expédition, qui coordonne le démontage et l'emballage, et si la livraison se termine sur le site de l'équipement, dans un entrepôt, un port ou à la destination convenue.
- Garantie, période de service et assistance technique
Toute garantie, délai de réparation, assistance à distance, aide à l'installation ou autre service doit être précisé pour la machine concernée et dans le devis.
La planification des pièces de rechange peut faire partie de cette même discussion. Envoyez-nous une référence, une étiquette ou une photo si vous souhaitez que nous examinions les pièces détachées disponibles pour machines de lithographie ou les possibilités de remplacement.
Inspectez l'équipement avant l'installation ou la mise sous tension.
Les contrôles à réception permettent de préserver les preuves et d'identifier les problèmes de transport ou de livraison avant que les travaux d'installation ne modifient l'état de la machine.
- Documenter les conditions d'emballage et de déchargement
Photographiez la caisse, les indicateurs de transport, le processus de déchargement et tout impact visible, inclinaison, humidité ou dommage externe.
- Vérifier la machine et la liste de livraison convenue
Vérifiez que le modèle, le numéro de série, l'équipement principal et les accessoires convenus correspondent bien à la liste de colisage et aux documents de pré-expédition.
- Ne pas mettre sous tension avant que les conditions du site ne soient confirmées.
Vérifiez l'alimentation électrique, le refroidissement, les gaz, l'échappement, l'environnement, les dispositifs de verrouillage pour le transport et la responsabilité technique avant de mettre l'équipement sous tension.
- Veuillez envoyer des preuves si quelque chose est anormal.
Fournissez des photos, des vidéos, des informations sur l'alarme, des détails sur la zone endommagée ou des étiquettes des pièces afin que l'équipe technique et après-vente puisse examiner la prochaine étape.
Assistance technique et après-vente pour les pièces détachées, le diagnostic des pannes et le remplacement des équipements.
Discutez de l'assistance ou des pièces de rechange
Que le problème apparaisse avant l'achat, lors de l'évaluation du remplacement ou après la livraison, vous pouvez envoyer des photos de la machine, des plaques signalétiques, des écrans d'alarme, des descriptions des défauts ou des étiquettes des pièces pour un examen plus approfondi.
FAQ sur les machines de lithographie pour semi-conducteurs
Des réponses pratiques pour l'identification des équipements, l'approvisionnement, les différences entre les plateformes, les prix des machines de lithographie d'occasion et les contrôles de réception.
Pouvez-vous identifier une machine de lithographie à partir d'une photo ou d'une plaque signalétique ?
Une photo nette de la machine, de sa plaque signalétique, de l'écran du contrôleur ou de l'étiquette d'une pièce peut aider à identifier le fabricant, la gamme de modèles et les autres détails à vérifier. L'identification à partir d'une photo est préliminaire et doit être confirmée par l'examen de la machine et de sa documentation.
Quelle est la différence entre un système de projection de plaquettes et un scanner de lithographie ?
Un système de projection par étapes expose un champ puis déplace la plaquette vers la position suivante. Un scanner déplace le réticule et la plaquette de manière synchrone pendant l'exposition. Le choix du système approprié dépend également de la technologie d'exposition, de la taille de la plaquette, du recouvrement, du champ, du débit, de l'automatisation et de la configuration de la machine.
Pouvez-vous trouver une machine de lithographie ou une pièce détachée qui ne figure pas actuellement dans la liste ?
Vous pouvez nous envoyer le fabricant, le modèle, une photo, la plaque signalétique, l'application, la description du défaut ou la référence de la pièce. Nous pouvons vérifier la disponibilité actuelle, les options d'approvisionnement fiables, les instructions pour le remplacement des pièces ou les pièces de machines de lithographie, mais la disponibilité et la compatibilité doivent être confirmées pour chaque demande.
Pourquoi deux machines de lithographie d'occasion peuvent-elles avoir des prix différents ?
Même si deux machines appartiennent à la même famille de plateformes, elles peuvent différer par leur suffixe, leur configuration, leur état, les accessoires inclus, le contenu de l'emballage, le mode de livraison et l'assistance convenue. La question pratique n'est pas de savoir laquelle a le numéro le plus bas, mais quelle machine et quel contenu de livraison sont effectivement proposés.
Une machine de lithographie d'occasion peut-elle être raccordée à notre système de voies existant ?
C’est possible, mais il convient de vérifier le format des plaquettes, la gestion des cassettes ou des FOUP, l’agencement physique, le flux de production, la communication avec l’hôte, les normes d’automatisation et l’équilibre du débit. Le nom de la plateforme ne suffit pas à garantir la compatibilité des pistes.
Que faut-il vérifier à la réception du matériel ?
Documentez l'emballage extérieur et l'état du déchargement, comparez tous les équipements et accessoires avec le bon de livraison, vérifiez les numéros de série et les scellés de transport, inspectez l'appareil pour détecter tout dommage ou trace d'humidité et confirmez l'état de l'installation avant la mise sous tension. Si un problème survient après la livraison, vous pouvez également envoyer des photos, une vidéo, les informations d'alarme ou les étiquettes des pièces afin que la procédure d'assistance suivante puisse être examinée.
Envoyez un modèle, une photo de la machine, la plaque signalétique, les exigences du processus ou la référence de la pièce.
Nous pouvons commencer par examiner les informations disponibles. Il peut s'agir de l'orientation de l'équipement, de sa disponibilité actuelle, de sa configuration réelle, de la demande de pièces détachées, des possibilités de remplacement ou des informations relatives aux problèmes rencontrés après la livraison et nécessitant encore un examen technique.