Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối

Thiết bị khắc quang bán dẫn và hệ thống khắc quang wafer

Máy khắc quang bán dẫn căn chỉnh và chiếu sáng các mẫu mạch trên các tấm wafer được phủ chất cản quang. Tìm kiếm các thiết bị khắc quang bán dẫn đã qua sử dụng hiện có, bao gồm máy khắc wafer, máy quét khắc quang và máy căn chỉnh mặt nạ, hoặc gửi model, ảnh máy, bảng tên, kích thước wafer, yêu cầu quy trình hoặc số hiệu phụ tùng khắc quang để được xem xét.

Máy khắc wafer Máy quét in thạch bản Dụng cụ chỉnh mặt nạ Thiết bị và phụ tùng đã qua sử dụng
Vị trí quy trình

Vai trò của công nghệ in thạch bản trong quy trình sản xuất wafer giai đoạn đầu

Máy in thạch bản không tự mình hoàn thành toàn bộ quy trình in thạch bản. Hệ thống theo dõi chuẩn bị và phát triển chất cản quang, hệ thống phơi sáng xác định mẫu, và thiết bị đo lường và kiểm tra xác nhận kết quả.

Lớp cản quang có hoa văn sau đó sẽ hướng dẫn các quy trình như khắc hoặc cấy ion. Quá trình lắng đọng màng mỏng, xử lý nhiệt và đánh bóng hóa học cơ học (CMP) chuẩn bị hoặc phục hồi các lớp được sử dụng trong chu kỳ sản xuất tiếp theo.

Trình tự chính xác có thể khác nhau tùy thuộc vào thiết bị, lớp xử lý và sự tích hợp trong nhà máy sản xuất. Không phải mọi lớp trên tấm wafer đều sử dụng tất cả các loại thiết bị được hiển thị ở đây.
Thiết bị hiện tại

Thiết bị khắc quang bán dẫn đã qua sử dụng hiện có sẵn

Tìm kiếm các máy khắc quang học, hệ thống phơi sáng wafer và thiết bị quang khắc đã qua sử dụng hiện đang được bán. Thông tin về mã hiệu máy, định dạng wafer, các tùy chọn đã cài đặt, tình trạng, phụ kiện đi kèm và phạm vi giao hàng cần được xác nhận đối với máy cụ thể được báo giá.

Hai máy thuộc cùng một dòng sản phẩm có thể hỗ trợ các kích thước wafer, nguồn sáng, tùy chọn tự động hóa hoặc môi trường phần mềm khác nhau. Hãy so sánh cấu hình thực tế, chứ không chỉ tên model.
Bạn cần một mẫu sản phẩm đã ngừng sản xuất, hệ thống thay thế hoặc phụ tùng thay thế?

Vui lòng gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, ảnh máy, bảng tên, mô tả lỗi hoặc số hiệu phụ tùng. Chúng tôi sẽ xem xét tình trạng sẵn có hiện tại, các lựa chọn tìm nguồn cung ứng, hướng dẫn thay thế hoặc bước kiểm tra kỹ thuật tiếp theo dựa trên thông tin được cung cấp.

Gửi yêu cầu của bạn
Giá trị thiết bị đã qua sử dụng

Thiết bị in thạch bản đã qua sử dụng có thể hỗ trợ thay thế, mở rộng và các nền tảng cũ.

Giá trị của thiết bị đã qua sử dụng không chỉ giới hạn ở giá mua thấp hơn. Nó có thể giúp người mua tiếp tục sử dụng các nền tảng sản xuất đã được chứng minh, thay thế máy móc bị hỏng, mở rộng dây chuyền sản xuất đã ổn định hoặc có được các hệ thống và phụ tùng đã ngừng sản xuất.

Điều này đặc biệt quan trọng khi một nhà máy hiện có muốn duy trì tính liên tục của quy trình, sự quen thuộc của người vận hành và khả năng tương thích của dây chuyền đã lắp đặt, thay vì chuyển sang một nền tảng hoàn toàn khác.

01

Thiết bị và phụ tùng thay thế đã ngừng sản xuất

Tiếp tục đánh giá các dòng thiết bị, hệ thống thay thế và linh kiện có thể không còn được cung cấp thông qua các kênh bán thiết bị mới thông thường.

02

Cam kết vốn thấp hơn

Hãy cân nhắc một nền tảng chuyên dụng hoặc nền tảng đã hoàn thiện phù hợp với mức đầu tư vốn thấp hơn, đồng thời vẫn xem xét kỹ lưỡng máy móc thực tế và phạm vi giao hàng.

03

Tiếp nối với tuyến đường hiện có

Việc sử dụng một dòng máy móc quen thuộc có thể giảm thiểu những thay đổi trong quy trình, đào tạo người vận hành, giao diện và môi trường sản xuất đã được lắp đặt.

04

Thay thế và đánh giá kỹ thuật

Ảnh chụp máy móc, thông tin lỗi và nhãn phụ tùng có thể hỗ trợ việc đánh giá thay thế, thảo luận về phụ tùng thay thế và xem xét các vấn đề sau khi giao hàng.

Tổng quan về nền tảng

Tìm hiểu về các loại máy in thạch bản và công nghệ phơi sáng

Kiến trúc thiết bị và công nghệ phơi sáng trả lời hai câu hỏi khác nhau. Máy khắc wafer, máy quét quang khắc hoặc máy căn chỉnh mặt nạ mô tả cách mà họa tiết được bộc lộ; i-line, KrF, ArF hoặc EUV mô tả nguồn sáng và công nghệ tạo ra Được sử dụng bởi hệ thống chiếu xạ bán dẫn.

Bạn không cần phải xác định chính xác nền tảng trước khi liên hệ với chúng tôi. Chỉ cần cung cấp kiểu máy, ảnh, kích thước wafer hoặc mô tả quy trình cơ bản là đủ để chúng tôi bắt đầu xem xét chi tiết hơn.

Kiến trúc × công nghệ phơi sáng Nó định hướng cho nền tảng. Việc xử lý wafer, lớp phủ, kích thước trường, tự động hóa và các tùy chọn được cài đặt cụ thể vẫn phụ thuộc vào từng máy.
Câu hỏi 01Mẫu hình đó được phát hiện như thế nào?
Bước và lặp lại

Máy khắc wafer

Máy chiếu một vùng phơi sáng, di chuyển bàn đặt wafer và lặp lại mẫu đó trên toàn bộ wafer.

Xem xét lại phạm vi phơi sáng, tỷ lệ giảm, lớp phủ, kích thước wafer và thông lượng.
Bước và quét

Máy quét in thạch bản

Quét đồng bộ mặt nạ quang học và tấm bán dẫn trong quá trình phơi sáng để có trường nhìn rộng hơn và hiệu suất hình ảnh tiên tiến.

Xem xét lại giai đoạn quét, nguồn, lớp phủ, tích hợp đường dẫn, tự động hóa và các yêu cầu sản xuất.
Căn chỉnh mặt nạ

Công cụ căn chỉnh mặt nạ

Căn chỉnh mặt nạ và tấm bán dẫn cho các chế độ tiếp xúc, khoảng cách gần hoặc các chế độ phơi sáng tương tự được sử dụng trong nghiên cứu và sản xuất chuyên biệt.

Các lĩnh vực xem xét phổ biến bao gồm kích thước chất nền, căn chỉnh, chế độ phơi sáng và mức độ tự động hóa.
Câu hỏi 02Nền tảng này sử dụng công nghệ hiển thị nào?

dòng i

Được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng công nghệ bán dẫn tiên tiến, MEMS, bán dẫn công suất, bán dẫn phức hợp và đóng gói tiên tiến.

Xác nhận kích thước wafer, khả năng tương thích quy trình và tình trạng đèn/nguồn sáng.

Liên minh Dân chủ Cơ đốc giáo (KrF)

Công nghệ in thạch bản chiếu 248 nm cho phép tạo hình mẫu mịn hơn so với các nền tảng i-line thông thường.

Xác nhận lớp xử lý, cấu hình laser/nguồn, hệ thống chất cản quang và các tùy chọn đã cài đặt.

ArF DUV

Công nghệ in thạch bản khô hoặc ngâm 193 nm được sử dụng để tạo hình mẫu bán dẫn có độ phân giải cao hơn.

Xác nhận mục tiêu chụp ảnh, lớp phủ, tự động hóa, giai đoạn, phần mềm và điều kiện thiết bị.

EUV

Một nhánh kỹ thuật in thạch bản tiên tiến được sử dụng cho các lớp quan trọng được lựa chọn trong công nghệ sản xuất hiện đại.

EUV không phản ánh chính xác thị trường thiết bị in thạch bản đã qua sử dụng nói chung.
"Máy quét" xác định cấu trúc phơi sáng. ×

“KrF” dùng để chỉ công nghệ phơi sáng. Không có thuật ngữ nào riêng lẻ xác nhận kích thước wafer, mức độ tự động hóa, cấu hình đã cài đặt hoặc tình trạng thực tế của máy.

Điểm khởi đầu dễ dàng

Bắt đầu với một mô hình, một bức ảnh hoặc một yêu cầu cơ bản.

Bạn không cần phải có bản đặc tả kỹ thuật in thạch bản hoàn chỉnh trước khi liên hệ với chúng tôi. Hãy gửi những thông tin bạn đã có, và chúng tôi sẽ chỉ yêu cầu những chi tiết cần thiết cho bước tiếp theo.

Chỉ cần số hiệu model, ảnh máy, bảng tên, ứng dụng, số hiệu phụ tùng hoặc mô tả lỗi là đủ để bắt đầu.
NGƯỜI MẪU

Mẫu hoặc bảng tên

Vui lòng gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, hậu tố, tên máy hoặc mã số tham chiếu của máy móc hiện đang được sử dụng trên dây chuyền của bạn.

ẢNH

Ảnh máy móc hoặc thông tin chi tiết

Vui lòng gửi ảnh chụp toàn bộ máy, màn hình điều khiển, hình ảnh cảnh báo, ảnh chụp khu vực lỗi, nhãn bộ phận hoặc số hiệu phụ tùng thay thế.

NHU CẦU

Ứng dụng hoặc nhu cầu thay thế

Hãy chia sẻ kích thước wafer, ứng dụng thiết bị hoặc quy trình, máy hiện tại, mục tiêu thay thế, mục tiêu công suất, điểm đến hoặc lịch trình dự kiến.

Điều gì sẽ xảy ra tiếp theo?

Chúng tôi chuyển thông tin ban đầu thành hướng đi thiết bị thiết thực, sau đó kiểm tra các tùy chọn cung ứng thực tế và xem xét kỹ lưỡng từng loại máy móc cụ thể trước khi báo giá hoặc thảo luận kỹ thuật thêm.

01

Xác định hướng thiết bị

Sử dụng kiểu máy, ảnh chụp, kích thước wafer, ứng dụng và dây chuyền hiện có để thu hẹp phạm vi dòng thiết bị, công nghệ chiếu sáng và thông tin còn thiếu.

02

Kiểm tra tình trạng sẵn có, nguồn cung ứng và các tùy chọn thay thế.

Xem xét danh sách hiện tại, các kênh cung cấp đáng tin cậy khác, các nền tảng đã ngừng hoạt động, các phụ tùng liên quan và hướng dẫn thay thế khả thi.

03

Đánh giá một máy cụ thể

Sau khi xác định được máy móc, hãy xác nhận lại kiểu máy cụ thể, hình ảnh, tình trạng hiện tại, bằng chứng cấu hình và báo giá hoặc phạm vi giao hàng cần thảo luận thêm.

Bạn cần hệ thống thay thế, nền tảng đã ngừng sản xuất, phụ tùng thay thế hoặc đánh giá kỹ thuật?

Vui lòng gửi model, ảnh máy, bảng tên, số hiệu phụ tùng hoặc mô tả lỗi. Đội ngũ thiết bị, kỹ thuật và hậu mãi của chúng tôi sẽ xem xét hướng mua hàng hoặc hỗ trợ tiếp theo.

Gửi yêu cầu của bạn
Giao hàng và hỗ trợ

Xác nhận đơn hàng trước khi giao hàng, sau đó kiểm tra thiết bị sau khi nhận hàng.

Đối với máy in thạch bản đã qua sử dụng cỡ lớn, trọng tâm thực tiễn rất đơn giản: xác nhận chính xác loại máy và phạm vi hỗ trợ đã được thỏa thuận, sau đó ghi lại tình trạng thiết bị trước khi lắp đặt hoặc vận hành.

Trước khi giao hàng

Xác nhận máy móc, phụ tùng thay thế và phạm vi giao hàng.

Báo giá hoặc xác nhận đơn đặt hàng nên nêu rõ các điều khoản thương mại chính mà không yêu cầu người mua phải giải mã một danh sách kiểm tra kỹ thuật dài dòng.

  • Máy móc được cung cấp

    Vui lòng xác nhận nhà sản xuất, model đầy đủ, ảnh chụp thực tế của máy, tình trạng hiện tại và cấu hình đã thỏa thuận cho đơn đặt hàng.

  • Các thiết bị đi kèm và phụ tùng thay thế được khuyến nghị.

    Hãy xác nhận các thiết bị và phụ kiện có trong danh sách giao hàng. Đối với các nền tảng đã ngừng hoạt động hoặc đang vận hành liên tục, cũng cần chuẩn bị các phụ tùng thay thế quan trọng để giảm thiểu rủi ro ngừng sản xuất sau sự cố đột ngột.

  • Điều khoản tháo dỡ, đóng gói và giao hàng

    Xác nhận xem máy móc được bán tại chỗ hay đã được chuẩn bị để vận chuyển, ai chịu trách nhiệm tháo dỡ và đóng gói, và liệu việc giao hàng kết thúc tại địa điểm đặt thiết bị, kho hàng, cảng hay điểm đến đã thỏa thuận.

  • Bảo hành, thời gian bảo hành và hỗ trợ kỹ thuật

    Mọi điều khoản bảo hành, thời gian phản hồi sửa chữa, hỗ trợ từ xa, hỗ trợ lắp đặt hoặc các dịch vụ khác cần được nêu rõ cho từng loại máy cụ thể và trong báo giá.

Việc lập kế hoạch dự trữ phụ tùng cũng có thể là một phần của cuộc thảo luận đó. Nếu bạn muốn chúng tôi xem xét các bộ phận máy in thạch bản hiện có hoặc hướng dẫn thay thế, vui lòng gửi số hiệu bộ phận, nhãn hoặc hình ảnh.
Sau khi giao hàng

Kiểm tra thiết bị trước khi lắp đặt hoặc vận hành.

Việc kiểm tra khi nhận hàng giúp bảo quản bằng chứng và xác định các vấn đề về vận chuyển hoặc giao hàng trước khi công việc lắp đặt làm thay đổi tình trạng của máy móc.

  • Ghi chép tình trạng đóng gói và dỡ hàng.

    Hãy chụp ảnh thùng hàng, các dấu hiệu vận chuyển, quá trình dỡ hàng và bất kỳ tác động, độ nghiêng, độ ẩm hoặc hư hỏng bên ngoài nào có thể nhìn thấy.

  • Kiểm tra máy móc và danh sách giao hàng đã thỏa thuận.

    Kiểm tra kiểu máy, số sê-ri, thiết bị chính và phụ kiện đã thỏa thuận so với danh sách đóng gói và hồ sơ trước khi giao hàng.

  • Không được bật nguồn trước khi điều kiện tại địa điểm được xác nhận.

    Trước khi vận hành thiết bị, cần xác nhận nguồn điện, hệ thống làm mát, khí đốt, khí thải, môi trường, khóa vận chuyển và trách nhiệm kỹ thuật.

  • Hãy gửi bằng chứng nếu có bất cứ điều gì bất thường.

    Hãy cung cấp hình ảnh, video, thông tin cảnh báo, chi tiết khu vực bị hư hỏng hoặc nhãn bộ phận để đội ngũ kỹ thuật và hậu mãi có thể xem xét bước tiếp theo.

Hỗ trợ kỹ thuật và hậu mãi về phụ tùng, kiểm tra lỗi và thiết bị thay thế.

Dù vấn đề xuất hiện trước khi mua, trong quá trình đánh giá thay thế hay sau khi giao hàng, bạn đều có thể gửi ảnh máy, bảng tên, màn hình cảnh báo, mô tả lỗi hoặc nhãn phụ tùng để xem xét thêm.

Thảo luận về hỗ trợ hoặc phụ tùng thay thế
Câu hỏi của người mua

Câu hỏi thường gặp về máy khắc quang bán dẫn

Câu trả lời thực tế về nhận dạng thiết bị, tìm nguồn cung ứng, sự khác biệt giữa các nền tảng, giá máy in thạch bản đã qua sử dụng và kiểm tra khi nhận hàng.

Bạn có thể nhận biết máy in thạch bản từ ảnh chụp hoặc bảng tên không?

Ảnh chụp rõ máy, bảng tên, màn hình điều khiển hoặc nhãn bộ phận có thể giúp xác định nhà sản xuất, dòng máy và các chi tiết tiếp theo cần kiểm tra. Việc nhận dạng từ ảnh chỉ mang tính sơ bộ và cần được xác nhận lại bằng cách đối chiếu với máy thực tế và tài liệu.

Sự khác biệt giữa máy khắc wafer và máy quét quang khắc là gì?

Máy khắc quang học (stepper) tạo ra một vùng chiếu sáng rồi di chuyển tấm bán dẫn đến vị trí tiếp theo. Máy quét (scanner) di chuyển mặt nạ quang học và tấm bán dẫn đồng bộ trong quá trình chiếu sáng. Việc lựa chọn đúng còn phụ thuộc vào công nghệ chiếu sáng, kích thước tấm bán dẫn, độ chồng phủ, vùng chiếu sáng, năng suất, mức độ tự động hóa và cấu hình máy thực tế.

Bạn có thể tìm kiếm máy in thạch bản hoặc phụ tùng thay thế nào hiện không có trong danh sách không?

Bạn có thể gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, ảnh, nhãn sản phẩm, ứng dụng, mô tả lỗi hoặc số hiệu phụ tùng. Chúng tôi có thể xem xét tình trạng sẵn có hiện tại, các lựa chọn nguồn cung ứng có thể kiểm chứng, hướng dẫn hệ thống thay thế hoặc các bộ phận máy in thạch bản, nhưng tính khả dụng và khả năng tương thích phải được xác nhận cho yêu cầu cụ thể.

Tại sao hai máy in thạch bản đã qua sử dụng lại có giá khác nhau?

Ngay cả khi hai máy thuộc cùng một dòng sản phẩm, chúng vẫn có thể khác nhau về hậu tố, cấu hình, tình trạng, phụ kiện đi kèm, phạm vi đóng gói, phương thức giao hàng và thỏa thuận hỗ trợ. Vấn đề thực tế không phải là số nào thấp hơn, mà là máy cụ thể nào và phạm vi giao hàng nào đang được cung cấp.

Máy in thạch bản đã qua sử dụng có thể kết nối với hệ thống đường ray hiện có của chúng tôi không?

Về lý thuyết thì có thể, nhưng cần kiểm tra định dạng wafer, cách xử lý cassette hoặc FOUP, bố cục vật lý, quy trình công thức, giao tiếp với máy chủ, tiêu chuẩn tự động hóa và cân bằng thông lượng. Chỉ riêng tên nền tảng không chứng minh được khả năng tương thích đường dẫn.

Cần kiểm tra những gì khi thiết bị được giao đến?

Ghi chép tình trạng bao bì bên ngoài và tình trạng dỡ hàng, so sánh tất cả thiết bị và phụ kiện với danh sách đóng gói, xác minh số sê-ri và khóa vận chuyển, kiểm tra hư hỏng hoặc ẩm mốc, và xác nhận điều kiện thiết bị trước khi cấp điện. Nếu có sự cố phát sinh sau khi giao hàng, bạn cũng có thể gửi ảnh, video, thông tin báo động hoặc nhãn linh kiện để chúng tôi xem xét bước hỗ trợ tiếp theo.

Vui lòng gửi hình ảnh mẫu máy, ảnh máy móc, bảng tên, yêu cầu quy trình hoặc số hiệu phụ tùng.

Hãy bắt đầu với bất kỳ thông tin nào hiện có. Chúng ta có thể xem xét hướng thiết bị, tình trạng sẵn có hiện tại, cấu hình máy thực tế, yêu cầu phụ tùng thay thế, khả năng thay thế máy móc hoặc thông tin về các vấn đề sau khi giao hàng cần được xem xét kỹ thuật.

Bắt đầu đánh giá thiết bị