Wyrównaj i wyeksponuj
Sprzęt litograficzny przenosi wzór siatki lub maski na pokrytą warstwą rezystu płytkę.
Sprzęt do produkcji płytek półprzewodnikowych
Sprzęt do litografii półprzewodnikowej i systemy litografii płytek półprzewodnikowych
Maszyny litograficzne do półprzewodników wyrównują i naświetlają wzory obwodów na płytkach półprzewodnikowych pokrytych fotorezystem. Przeglądaj dostępny używany sprzęt do litografii półprzewodnikowej, w tym steppery do płytek półprzewodnikowych, skanery litograficzne i urządzenia do wyrównywania masek, lub prześlij model, zdjęcie maszyny, tabliczkę znamionową, rozmiar płytki półprzewodnikowej, wymagania procesowe lub numer części zamiennej do litografii do wglądu.
Wafer Steppers
Skanery litograficzne
Nakładki na maski
Używany sprzęt i części
Gdzie litografia wpisuje się w produkcję płytek półprzewodnikowych
Maszyna litograficzna nie jest w stanie samodzielnie wykonać całego procesu fotolitografii. Systemy śledzenia przygotowują i wywołują warstwę ochronną, system naświetlania definiuje wzór, a urządzenia metrologiczne i kontrolne potwierdzają wynik.
Następnie, naniesiony wzór rezystu poddaje się procesom takim jak trawienie lub implantacja jonów. Osadzanie cienkich warstw, obróbka termiczna i CMP przygotowują lub odtwarzają warstwy używane w kolejnym cyklu produkcyjnym.
Dokładna kolejność różni się w zależności od urządzenia, warstwy procesowej i integracji fabrycznej. Nie każda warstwa wafla wykorzystuje każdą kategorię sprzętu przedstawioną tutaj.
Przygotowywać
Zdefiniuj wzór
Ujawnić
Pokryj i upiecz
Systemy śledzenia powlekarki/wywoływarki nakładają fotorezyst i kontrolują wymagane etapy wypalania.
Rozwijać
System torów wytwarza odsłoniętą warstwę ochronną i przygotowuje płytkę do następnego etapu.
PotwierdzaćPomiar i inspekcja
Kontrola CD, nakładki i defektów potwierdza, czy warstwa wzoru jest akceptowalna.
Zbuduj lub przygotuj warstwę
Użyj wzoru
Dostępny używany sprzęt do litografii półprzewodnikowej
Przeglądaj aktualnie używane maszyny litograficzne, systemy naświetlania płytek drukowanych i sprzęt do fotolitografii na sprzedaż. Dokładny sufiks modelu, format płytki, zainstalowane opcje, stan, dołączone akcesoria i zakres dostawy muszą zostać potwierdzone dla konkretnej maszyny, której dotyczy oferta.
Dwie maszyny z tej samej rodziny platform mogą obsługiwać różne rozmiary płytek, źródła światła, opcje automatyzacji lub środowiska programowe. Porównaj rzeczywistą konfigurację, a nie tylko nazwę modelu.
Potrzebujesz wycofanego z produkcji modelu, systemu zastępczego lub części zamiennej?
Wyślij swoją prośbę
Prześlij nam dane producenta, model, zdjęcie maszyny, tabliczkę znamionową, opis usterki lub numer części. Na podstawie podanych informacji możemy najpierw sprawdzić aktualną dostępność, opcje zaopatrzenia, wskazówki dotyczące wymiany lub kolejną kontrolę techniczną.
Używany sprzęt litograficzny może obsługiwać platformy zastępcze, rozszerzeniowe i starsze
Wartość używanego sprzętu nie ogranicza się wyłącznie do niższej ceny zakupu. Może on pomóc kupującym w dalszym korzystaniu ze sprawdzonych platform produkcyjnych, wymianie uszkodzonej maszyny, rozbudowie linii węzłów lub pozyskaniu wycofanych z produkcji systemów i części zamiennych.
Jest to szczególnie istotne, gdy istniejąca fabryka chce zachować ciągłość procesu, znajomość operatorów i kompatybilność zainstalowanych linii, zamiast przechodzić na zupełnie inną platformę.
Wycofany ze sprzedaży sprzęt i części zamienne
Kontynuuj ocenę rodzin sprzętu, systemów zastępczych i podzespołów, które mogą nie być już dostępne w ramach normalnych kanałów sprzedaży nowego sprzętu.
Niższe zaangażowanie kapitałowe
Rozważ odpowiednią platformę dojrzałego węzła lub specjalistyczną platformę z niższym zaangażowaniem kapitału, nadal analizując rzeczywistą maszynę i zakres dostawy.
Ciągłość z istniejącą linią
Znajoma rodzina maszyn może ograniczyć konieczność wprowadzania zmian w procesie, szkoleniu operatorów, interfejsach i zainstalowanym środowisku produkcyjnym.
Wymiana i przegląd techniczny
Zdjęcia maszyny, informacje o usterkach i etykiety części mogą być pomocne w ocenie możliwości wymiany, omówieniu kwestii części zamiennych i przeglądzie problemów po dostawie.
Zrozumienie typów maszyn litograficznych i technologii naświetlania
Architektura sprzętu i technologia naświetlania odpowiadają na dwa różne pytania. Stepper waflowy, skaner litograficzny lub urządzenie do wyrównywania masek opisują jak wzór jest eksponowany; i-line, KrF, ArF lub EUV opisuje źródło światła i generacja technologii wykorzystywane przez system ekspozycji półprzewodników.
Nie musisz określać dokładnej platformy przed kontaktem z nami. Model, zdjęcie, rozmiar płytki lub podstawowy opis procesu wystarczą, aby rozpocząć bardziej szczegółową analizę.
Architektura × technologia ekspozycji określa kierunek rozwoju platformy. Dokładna obsługa płytek, nakładanie warstw, rozmiar pola, automatyzacja i zainstalowane opcje nadal zależą od konkretnej maszyny.
Pytanie 01W jaki sposób ujawnia się wzór?
Wafer Stepper
Projektuje jedno pole ekspozycji, przesuwa stolik pod płytkę i powtarza wzór na całej powierzchni płytki.
Przegląd pola naświetlania, współczynnika redukcji, nakładki, rozmiaru płytki i przepustowości.Skaner litograficzny
Synchronicznie skanuje siatkę i płytkę podczas ekspozycji, co pozwala na uzyskanie większego pola widzenia i zaawansowanej wydajności obrazowania.
Przegląd etapu skanowania, źródła, nakładki, integracji ścieżek, automatyzacji i wymagań produkcyjnych.Wyrównywacz maski
Dopasowuje maskę i płytkę do warunków kontaktowych, zbliżeniowych lub pokrewnych trybów ekspozycji stosowanych w badaniach i produkcji specjalistycznej.
Typowe obszary przeglądu obejmują rozmiar podłoża, wyrównanie, tryb ekspozycji i poziom automatyzacji.Pytanie 02Jaką technologię ekspozycji wykorzystuje platforma?
linia i
Szeroko stosowane w aplikacjach węzłów dojrzałych, MEMS, półprzewodników mocy, półprzewodników złożonych i zaawansowanych pakietach.
Sprawdź rozmiar płytki, zgodność procesu i stan lampy/źródła.Unia Chrześcijańsko-Demokratyczna (KrF)
Litografia projekcyjna 248 nm pozwala na uzyskanie drobniejszych wzorów niż w przypadku typowych platform i-line.
Potwierdź warstwę procesu, konfigurację lasera/źródła, system oporu i zainstalowane opcje.ArF DUV
Litografia sucha lub zanurzeniowa o długości fali 193 nm stosowana do wzorowania półprzewodników o wyższej rozdzielczości.
Potwierdź warunki docelowe obrazowania, nakładki, automatyzacji, sceny, oprogramowania i obiektu.EUV
Zaawansowana gałąź litografii wykorzystywana do wybranych krytycznych warstw w najnowocześniejszej produkcji.
EUV nie jest reprezentatywne dla szerszego rynku używanego sprzętu litograficznego.
„Skaner” identyfikuje architekturę ekspozycji.
×
„KrF” identyfikuje technologię ekspozycji. Żaden z tych terminów nie potwierdza rozmiaru płytki, automatyzacji, zainstalowanej konfiguracji ani rzeczywistego stanu maszyny.
Zacznij od modelu, zdjęcia lub podstawowego wymogu
Nie potrzebujesz pełnej specyfikacji litografii przed kontaktem z nami. Prześlij nam dostępne już informacje, a my poprosimy Cię tylko o szczegóły niezbędne do podjęcia kolejnej decyzji.
Co się stanie dalej
Informacje wstępne przekształcamy w praktyczne wskazówki dotyczące sprzętu, następnie sprawdzamy rzeczywiste opcje dostawy i omawiamy konkretną maszynę przed sporządzeniem wyceny lub dalszą dyskusją techniczną.
Zidentyfikuj kierunek sprzętu
Użyj modelu, zdjęcia, rozmiaru płytki, zastosowania i istniejącej linii, aby zawęzić prawdopodobną rodzinę sprzętu, technologię ekspozycji i brakujące informacje.
Sprawdź dostępność, opcje zaopatrzenia i wymiany
Przejrzyj aktualne oferty, inne weryfikowalne kanały dostaw, wycofane z produkcji platformy, powiązane części zamienne i możliwe kierunki wymiany.
Przejrzyj konkretną maszynę
Po zidentyfikowaniu maszyny należy potwierdzić rzeczywisty model, zdjęcia, znany stan, dowody konfiguracji oraz wycenę lub zakres dostawy, który wciąż wymaga omówienia.
Potrzebujesz systemu zastępczego, wycofanej z produkcji platformy, części zamiennej lub przeglądu technicznego?
Wyślij swoją prośbę
Prześlij model, zdjęcie maszyny, tabliczkę znamionową, numer części lub opis usterki. Nasze zespoły ds. sprzętu, obsługi technicznej i posprzedażowej mogą omówić dalsze wskazówki dotyczące zakupu lub wsparcia.
Potwierdź zamówienie przed dostawą, a następnie sprawdź sprzęt po jego otrzymaniu
W przypadku dużej, używanej maszyny litograficznej, praktyczne zadanie jest proste: potwierdzić, która dokładnie maszyna i zakres wsparcia zostały uzgodnione, a następnie udokumentować stan sprzętu przed instalacją lub włączeniem.
Potwierdź maszynę, części zamienne i zakres dostawy
Oferta cenowa lub potwierdzenie zamówienia powinny jasno określać główne granice handlowe i nie wymagać od kupującego czytania długiej listy kontrolnej dotyczącej kwestii technicznych.
- Dostarczana maszyna
Potwierdź producenta, kompletny model, rzeczywiste zdjęcia maszyny, znany stan i konfigurację uzgodnioną dla zamówienia.
- Dołączony sprzęt i zalecane części zamienne
Sprawdź, czy sprzęt i akcesoria znajdują się na liście dostaw. W przypadku platform wycofanych z produkcji lub działających w sposób ciągły, rozważ również przygotowanie niezbędnych części zamiennych, aby zmniejszyć ryzyko zatrzymania produkcji po nagłej awarii.
- Warunki demontażu, pakowania i dostawy
Potwierdź, czy maszyna jest sprzedawana na miejscu, czy przygotowywana do wysyłki, kto odpowiada za koordynację demontażu i pakowania oraz czy dostawa kończy się w miejscu dostawy sprzętu, magazynie, porcie czy uzgodnionym miejscu docelowym.
- Gwarancja, okres serwisowania i wsparcie techniczne
Należy określić wszelkie warunki gwarancji, okresy naprawy, zdalne wsparcie, pomoc przy instalacji lub inne usługi dla konkretnego urządzenia i wyceny.
Planowanie części zamiennych może być częścią tej samej dyskusji. Prześlij nam numer części, etykietę lub zdjęcie, jeśli chcesz, abyśmy przejrzeli dostępne części do maszyny litograficznej lub zaproponowali możliwe zamienniki.
Przed instalacją lub włączeniem zasilania sprawdź sprzęt
Kontrole odbiorcze pozwalają zachować dowody i zidentyfikować problemy związane z transportem lub dostawą zanim prace instalacyjne zmienią stan maszyny.
- Dokumentowanie stanu opakowania i rozładunku
Zrób zdjęcia skrzyni, wskaźników transportu, procesu rozładunku oraz wszelkich widocznych uderzeń, przechyleń, wilgoci i uszkodzeń zewnętrznych.
- Zweryfikuj maszynę i uzgodnioną listę dostaw
Sprawdź model, numer seryjny, główne wyposażenie i uzgodnione akcesoria na podstawie listy przewozowej i dokumentacji przedwysyłkowej.
- Nie włączaj zasilania przed potwierdzeniem warunków panujących na miejscu.
Przed podłączeniem urządzenia do zasilania należy sprawdzić zasilanie elektryczne, chłodzenie, gazy, układ wydechowy, środowisko, blokady transportowe i odpowiedzialność inżynieryjną.
- Jeśli coś jest nienormalne, prześlij dowody
Prześlij zdjęcia, nagrania wideo, informacje o alarmie, szczegóły dotyczące uszkodzonych miejsc lub etykiety części, aby zespół techniczny i posprzedażowy mógł omówić kolejne kroki.
Wsparcie techniczne i posprzedażowe w zakresie części, przegląd usterek i sprzęt zamienny
Omów wsparcie lub części zamienne
Niezależnie od tego, czy problem pojawi się przed zakupem, w trakcie oceny możliwości wymiany czy po dostawie, możesz przesłać zdjęcia maszyny, tabliczki znamionowe, ekrany alarmowe, opisy usterek lub etykiety części w celu dalszej analizy.
Często zadawane pytania dotyczące maszyn litograficznych do półprzewodników
Praktyczne odpowiedzi na pytania dotyczące identyfikacji sprzętu, pozyskiwania, różnic między platformami, cen używanych maszyn litograficznych i otrzymywania czeków.
Czy potrafisz rozpoznać maszynę litograficzną na podstawie zdjęcia lub tabliczki znamionowej?
Wyraźne zdjęcie maszyny, tabliczka znamionowa, ekran sterownika lub etykieta części mogą pomóc w identyfikacji producenta, rodziny modeli i innych szczegółów, które należy sprawdzić. Identyfikacja na podstawie zdjęcia ma charakter wstępny i powinna zostać potwierdzona na podstawie fizycznego stanu maszyny i dokumentacji.
Jaka jest różnica pomiędzy skanerem krokowym a skanerem litograficznym?
Silnik krokowy naświetla jedno pole, a następnie przesuwa płytkę do kolejnej pozycji. Skaner synchronicznie przesuwa siatkę i płytkę podczas naświetlania. Prawidłowy wybór zależy również od technologii naświetlania, rozmiaru płytki, nakładki, pola, przepustowości, automatyki i rzeczywistej konfiguracji maszyny.
Czy możesz znaleźć maszynę litograficzną lub część zamienną, której obecnie nie ma na liście?
Możesz przesłać dane producenta, model, zdjęcie, tabliczkę znamionową, zastosowanie, opis usterki lub numer części. Możemy sprawdzić aktualną dostępność, weryfikowalne opcje zaopatrzenia, instrukcje dotyczące systemu wymiany lub części do maszyny litograficznej, ale dostępność i kompatybilność muszą zostać potwierdzone w przypadku konkretnego zamówienia.
Dlaczego dwie używane maszyny litograficzne mogą mieć różne ceny?
Nawet jeśli dwie maszyny należą do tej samej rodziny platform, mogą różnić się sufiksem, konfiguracją, stanem, dołączonymi akcesoriami, zakresem opakowania, drogą dostawy i uzgodnionym wsparciem technicznym. Praktycznym pytaniem nie jest, która liczba jest niższa, ale jaka konkretna maszyna i zakres dostawy są faktycznie oferowane.
Czy używaną maszynę litograficzną można podłączyć do istniejącego systemu torów?
Potencjalnie, ale należy sprawdzić format płytki, obsługę kasety lub FOUP, układ fizyczny, przepływ receptury, komunikację z hostem, standardy automatyzacji i równowagę przepustowości. Same nazwy platform nie dowodzą kompatybilności torów.
Co należy sprawdzić po otrzymaniu sprzętu?
Udokumentuj stan opakowania zewnętrznego i rozładunku, porównaj cały sprzęt i akcesoria z listą przewozową, zweryfikuj numery seryjne i blokady transportowe, sprawdź pod kątem uszkodzeń i wilgoci oraz sprawdź stan obiektu przed włączeniem zasilania. Jeśli problem pojawi się po dostawie, możesz również przesłać zdjęcia, nagranie wideo, informacje o alarmie lub etykiety części, aby umożliwić omówienie kolejnego kroku wsparcia.
Prześlij model, zdjęcie maszyny, tabliczkę znamionową, wymagania procesowe lub numer części
Zacznij od wszelkich dostępnych informacji. Możemy przeanalizować kierunek rozwoju sprzętu, aktualną dostępność, rzeczywistą konfigurację maszyny, zapotrzebowanie na części zamienne, możliwości wymiany maszyny lub informacje o problemach po dostawie, które nadal wymagają przeglądu technicznego.