ASMPT SUNBIRD タレット式ウェハーレベルテストシステム

ASMPT SUNBIRDは、ウェハーレベルパッケージおよび互換性のある単体半導体デバイス向けに開発された、検査、テスト、選別を統合したシステムです。このプラットフォームは、デバイスハンドリングと6面検査、選別機能に加え、特定の装置の構成に応じて、オプションで個々のユニットのテストまたはレーザーマーキング機能も備えています。

初回のお問い合わせの際は、パッケージまたは金型の鮮明な写真、該当する場合は現在お使いの検査・試験装置の機種名、および必要な検査、選別、または試験プロセスの簡単な説明をお送りください。詳細な製品図面やインターフェース情報は、必要に応じて後日確認いたします。

ASMPTサンバード機の情報

WLPプロセスにおける検査、試験、選別

SUNBIRDは、互換性のあるウェハレベルパッケージまたは個々のデバイスの、個片化後の処理を目的としています。製品は目視可能な欠陥について検査され、検査結果または上流工程で生成されたウェハマップ情報に基づいて選別されます。

搭載されているモジュールによっては、同一の処理フロー内で個々のデバイスの検査やレーザーマーキングを実行できる場合もあります。これらの機能は、SUNBIRDのモデル名から推測するのではなく、実際の機械で確認してください。

製品とプロセスの適合性

SUNBIRDシステムは、デバイスの物理的な寸法、形状、表面状態、および取り扱い要件に適合している必要があります。互換性は、入力キャリア、出力フォーマット、ビジョンレシピ、ウェハマップデータ、テストインターフェース、およびマーキング要件によっても左右される場合があります。

最初の話し合いに必要な情報は基本的なものだけです。

• ウェハーレベルのパッケージ、ダイ、または単体デバイスの鮮明な写真
• 現在のトレイ、キャリア、またはその他の製品取り扱い形式の写真
• 該当する場合は、現在お使いの検査機器または試験機器のモデル
• 必要な検査、選別、試験、またはマーキング工程の簡単な説明

詳細なデバイス寸法、欠陥基準、ウェハマップ形式、電気的テスト要件、およびマーキングデータについては、利用可能な装置がプロジェクトに適していると判断された時点で後日検討することができます。

六面検査とウェハマップ選別

6面検査により、システムは個々のパッケージや金型の複数の表面を検査し、ひび割れ、欠け、汚染、表面損傷などの目に見える欠陥を検出できます。検出可能な欠陥の種類と検査範囲は、搭載されているカメラ、照明、光学系、ソフトウェア、および製品仕様によって異なります。

互換性のあるウェハマップデータが利用可能な場合、検査および選別結果を上流工程で生成された情報と連携させることができます。生産に使用する前に、データ形式、デバイスの向き、座標関係、およびビニングロジックをサンプル製品で検証する必要があります。

個別ユニットテストとレーザーマーキング

SUNBIRDプラットフォームは、個々のデバイスのテストやレーザーマーキングに対応できるよう柔軟に設計されていますが、これらの機能は中古機すべてに搭載されているとは限りません。使用可能なテスト環境を構築するには、互換性のあるコンタクトツール、テスト用電子機器、インターフェース、ソフトウェア、および製品固有の治具が必要となる場合があります。

レーザーマーキングの性能は、搭載されているマーキングモジュール、製品材質、マーキング領域、および必要なコードまたは識別形式によって異なります。したがって、テストおよびマーキングモジュールは、機械全体の構成の一部として見直す必要があります。

利用可能なSUNBIRD構成と納入範囲

ASMPT SUNBIRDシステムは、入出力処理、検査カメラ、照明および光学系、テストモジュール、コンタクト治具、レーザーマーキング装置、ウェハマップ通信、選別機構、ソフトウェア機能などにおいて、個体によって異なる場合があります。ご購入前に、実際の処理、検査、テスト構成がご使用予定の機器に適しているかどうか、入手可能な機器を必ずご確認ください。最終的な納品範囲は、見積書および確認済みの機器リストのみに基づきます。テスター、コンタクト治具、マーキングモジュール、トレイ、キャリア、コンピュータ、ソフトウェアパッケージ、外部ユーティリティ機器は、明記されている場合にのみ含まれます。

受入、起動、および初期サンプルチェック

SUNBIRDは、貴重な生産設備を導入する前に、段階的に検査およびテストを行うべきである。

1. 梱包、機械キャビネット、製品搬送部、画像認識部品、制御盤、安全ガードを点検してください。
2. 機器を移動する前に、衝撃痕、緩んだ部品、損傷したケーブル、または位置がずれたアセンブリなどを写真に撮ってください。
3. 受け取った機械、トレイ、治具、テスト部品、付属品を、確認済みの納品リストと比較してください。
4. 輸送後、カメラ、照明器具、ハンドラー、接点部品、マーキング装置がしっかりと固定されていることを確認してください。
5. 実際の機械の電源、接地、圧縮空気、真空、排気、その他の設備要件を確認してください。
6. 機械をリセットしたりレシピを変更したりする前に、コントローラーを起動し、すべてのアラームメッセージを記録してください。
7. 生産装置を取り付けずに搬送機構を作動させ、ピックアップ、移送、方向転換、および出力動作を観察する。
8. 基本動作が安定したら、非生産サンプルを使用して、検査、選別、および設置済みのテスト機能やマーキング機能を確認します。

安定した操作性と一貫した結果を確認するため、複数回のサンプル検査を実施してください。機器が破損した場合、向きが予期せず変化した場合、検査結果が不安定な場合、または同じアラームが繰り返し発生した場合は、検査を中止してください。

検査結果、取り扱い上の不具合、および部品サポート

誤った不良判定、見落とされた欠陥、または一貫性のない検査結果には、製品の提示方法、照明、焦点、汚染、カメラのキャリブレーション、レシピ設定、または不適切な欠陥閾値などが関係している可能性があります。

搬送不良は、ピックアップ失敗、デバイスの回転、トレイ位置の誤り、搬送詰まり、またはパッケージ表面の損傷として現れる可能性があります。テストまたはマーキングの問題は、コンタクトツール、外部インターフェース、アライメント、または製品固有の設定に関連する場合もあります。

機械をリセットする前に、アラームメッセージと問題が発生した段階を記録してください。製品、搬送装置、検査結果、アラーム画面の写真、および可能であれば短い操作ビデオは、レビューの出発点として役立ちます。

当チームは、初期故障解析、部品特定、交換部品の選定、修理に関するご相談を承ります。また、関連するカメラ、照明部品、センサー、モーター、ドライバー、基板、ケーブル、真空部品、搬送装置、製品固定具なども、入手可能な場合は点検いたします。

よくある質問

ASMPT SUNBIRDは、当社のウェハーレベルパッケージを検査できますか？

これは、デバイスの寸法、形状、表面状態、欠陥基準、処理形式、および使用可能な機械の画像処理構成によって異なります。初期レビューのために、製品と搬送装置の写真を送ってください。

サンバードは六面点検に対応していますか？

SUNBIRDプラットフォームは、6面検査に対応しており、マイクロクラック検査アプリケーションにも対応しています。ただし、利用可能な機器に搭載されるカメラ、光学系、照明、ソフトウェアについては、まだ確認が必要です。

この機械は、当社のウェハーマップを使用して製品を分類できますか？

本プラットフォームは、互換性のある上流ウェハマップ情報に基づいたソートをサポートしています。使用前に、ファイル形式、座標、向き、およびビニングロジックを確認してください。

個々のデバイスのテストとレーザーマーキングは含まれていますか？

これらの機能は、特定の機械に搭載されているモジュールによって異なります。見積書に記載されている試験装置、接触式治具、レーザーマーキング部品のみが含まれます。

点検や警報への対応を手伝っていただけますか？

はい。機械の機種名、アラーム情報、製品と搬送装置の写真、可能であれば短い動作動画をお送りください。初期故障診断、部品の適合確認、修理に関するご相談を承ります。

ASMPT SUNBIRDについてのお問い合わせ

製品と搬送装置の写真、該当する場合は現在お使いの検査装置または試験装置の機種名、および必要な検査、選別、試験、またはマーキング工程の簡単な説明をお送りください。まずは基本的な用途について確認し、その後、必要な機械構成、画像処理、インターフェース、交換部品、または修理の詳細についてご説明いたします。