Wafer dicing equipment for blade and laser semiconductor cutting
Schneid-, Laser- und fortschrittliche Trenntechnologien

Arten von Wafer-Zerkleinerungsanlagen und Schneidtechnologien

Vergleichen Sie Wafer-Trennanlagen nach Schneidverfahren, Material, Waferformat, Trennbreite, Kantenqualitätsvorgaben und Produktionsablauf. Semimachine liefert Sägeblätter und Lasertrennsysteme und unterstützt Hersteller dabei, den benötigten Prozess mit verfügbaren Maschinen, modellspezifischen Ersatzteilen und praktischer Lieferunterstützung abzustimmen.

Sägeblätter zum Trennen Laser-Trennsysteme Wafer- und Substratverarbeitung Automatische und halbautomatische Geräte
Geräteübersicht

Was ist eine Waffelschneideanlage?

Die Gerätekategorie umfasst verschiedene Schneidtechnologien. Die richtige Wahl hängt vom Material und dem gewünschten Ergebnis ab, nicht nur vom Waferdurchmesser oder der Maschinenmarke.

Wafer-Sägegeräte Dient zur Herstellung kontrollierter Nuten oder zur Trennung von Wafern, Gehäusen und ausgewählten Substraten in einzelne Bauelemente. Je nach Anwendung kann der Schneidmechanismus ein Hochgeschwindigkeits-Schleifblatt, ein Laserverfahren, eine interne Lasermodifikation, Plasmaätzen oder ein anderes qualifiziertes Vereinzelungsverfahren sein. Die Anlage muss außerdem Ausrichtung, Werkstückspannung, Schnittposition, Späneabfuhr, Reinigung und Inspektion steuern.

SchneidemethodeKlingen-, Laser-, Stealth-, Plasma- und Ritzverfahren erzeugen den Schnitt auf unterschiedliche Weise.
WerkstücksteuerungRahmen, Klebeband, Spanntische, Vorrichtungen und Handhabungsmethoden sorgen dafür, dass das Material während des gesamten Prozesses stabil bleibt.
Position und InspektionFunktionen für Sichtprüfung, Ausrichtung, Fokussierung und Schnittfugeninspektion tragen dazu bei, die erforderliche Straßenposition beizubehalten.
WerksintegrationVersorgungseinrichtungen, Beladung, Reinigung, Software und die dazugehörige Ausrüstung beeinflussen die Installation und die Produktionsnutzung.
Die Bezeichnung der Geräte garantiert keine Prozesskompatibilität. Die gewählte Plattform sollte mit den tatsächlichen Anforderungen an Material, Dicke, Werkzeuganordnung, Schnittfugenvorgabe, Schnitttiefe, Durchsatz und Qualität abgeglichen werden.
Vergleich der Schneidtechnologien

Haupttypen von Wafer-Sägegeräten

Jede Technologie verwendet einen anderen Schneidmechanismus und stellt unterschiedliche Anforderungen an die Werkstückspannung, die Prozesssteuerung, das Kontaminationsmanagement und die Weiterverarbeitung.

01

Sägeblatt-Würfelsäge

Eine Hochgeschwindigkeitsspindel treibt eine dünne Schleifklinge durch den Wafer oder das Substrat, während die Maschine Ausrichtung, Vorschub, Tiefe und Kühlwasser steuert.

  • Etablierte Halbleiterproduktionsplattform
  • Vollschnitt-, Nut- und Stufenschnittverfahren
  • Einzel- oder Doppelspindelkonfigurationen
Sägeblätter für Trennschleifer ansehen →
02

Laser-Trennsystem

Laseranlagen nutzen einen kontrollierten optischen Prozess zum Nutenfräsen, Abtragen, vollständigen Schneiden oder für andere qualifizierte Materialabtragsverfahren.

  • Berührungslose Energieübertragung
  • Anwendungsspezifische Laserquelle und Optik
  • Material- und Wärmeeinflusszonenbewertung
Verfügbare Lasersysteme ansehen →
03

Stealth-Würfelausrüstung

Ein fokussierter Laser erzeugt vor der kontrollierten Trennung eine modifizierte Schicht im Inneren eines geeigneten Wafers, wodurch der Bedarf an herkömmlicher Oberflächenschnittentfernung reduziert wird.

  • Interne Materialmodifikation
  • Erfordert kompatibles Material und entsprechende Dicke
  • Trennung und Bandausdehnung müssen kontrolliert werden
Besprechen Sie die Anwendung →
04

Plasmatrennanlagen

Das Plasmatrennverfahren trennt freiliegende Straßenabschnitte durch einen Ätzprozess und eignet sich für schmale Straßenabschnitte oder die Serienverarbeitung in qualifizierten Anwendungen.

  • Erfordert eine geeignete Masken- und Waferpräparation
  • Trockenverfahren ohne rotierende Klinge
  • Der Prozessablauf unterscheidet sich vom herkömmlichen Sägen.
Anforderungen an den Überprüfungsprozess →
05

Schreib- und Bruchausrüstung

Durch das Anritzen wird eine kontrollierte Linie vor der mechanischen Trennung erzeugt. Es kann für ausgewählte spröde Werkstoffe und Gerätestrukturen verwendet werden.

  • Mechanische oder Laser-Ritzrouten
  • Die Bruchqualität hängt vom Materialverhalten ab
  • Vorrichtungs- und Trennkontrolle sind wichtig
Materialinformationen senden →
06

Integrierte Trennautomatisierung

Die automatische Handhabung verbindet Beladung, Identifizierung, Ausrichtung, Schneiden, Reinigen, Trocknen und Entladen zu einem kontrollierten Produktionsablauf.

  • Kassetten-, Rahmen- oder Werkstückhandhabung
  • Optionen zur Rezeptkontrolle und Rückverfolgbarkeit
  • Durchsatz- und Leitungsschnittstellenanpassung
Maschinenkonfigurationen vergleichen →
Technologieauswahl

Vergleichen Sie den Prozess, bevor Sie die Maschine vergleichen.

Eine praxisorientierte Geräteentscheidung beginnt mit dem Werkstück und den Qualitätsvorgaben. Technologische Vorteile spielen erst dann eine Rolle, wenn der gesamte Prozess für das Gerät und den Produktionsablauf qualifiziert werden kann.

  • Material und Schichtaufbau bestätigen.
  • Straßenbreite und Geometrie festlegen.
  • Zulässige Absplitterungen und Hitzeeinwirkung festlegen.
  • Kontaminations- und Reinigungsgrenzwerte prüfen.
  • Passen Sie Durchsatz und Automatisierungsanforderungen aneinander an.
GerätetypSchneidprinzipGemeinsame StärkenWichtige Bedingungen
Sägeblatt-WürfelsägeEine rotierende Schleifscheibe entfernt mechanisch Material entlang der programmierten Straße.Etablierte Produktionsmethoden, sichtbare Schnittfugenkontrolle, breite Maschinenverfügbarkeit und vielfältige Schnittformate.Klingenauswahl, Spindelzustand, Montage, Vakuum, Vorschub, Kühlwasser und Schmutzkontrolle.
Laserablation oder -rillenDurch fokussierte Laserenergie wird Material von der Oberfläche entlang des Schnittpfades entfernt oder verändert.Berührungslose Energieübertragung, flexible Mustersteuerung und ausgewählte Anwendungen in engen Straßen.Materialabsorption, Laserquelle, Optik, Wärmeeinfluss, Ablagerungen und Prozessqualifizierung.
Heimliches WürfelnEin Laser erzeugt eine interne modifizierte Schicht, bevor der Wafer entlang der vorbereiteten Linie getrennt wird.Reduzierte herkömmliche Oberflächenschnittfuge und potenzielle Vorteile bei geeigneten dünnen oder spröden Wafern.Materialtransparenz, Dicke, Fokustiefe, Kontrolle der inneren Schichten und Trennverfahren.
PlasmaschneidenFreiliegendes Straßenmaterial wird durch ein kontrolliertes Trockenätzverfahren entfernt.Batch-Verarbeitungspotenzial, enge Straßen und keine rotierende Klinge in qualifizierten Strömungen.Maskierung, Waferpräparation, Plasmaverträglichkeit, Ätzgleichmäßigkeit und Integration in den Fabrikprozess.
Schreiber und BrecherDurch einen mechanischen oder Laserritzer wird vor der Trennung eine kontrollierte Schwachstelle erzeugt.Einfaches Trennverfahren für ausgewählte spröde Strukturen und Materialien.Anreißqualität, Materialverhalten, Vorrichtungsdesign, Bruchkraft und Kantenkonsistenz.
Bewerbungsvoraussetzungen

Passen Sie die Wafer-Sägeausrüstung an das Material und das Gerät an.

Unterschiedliche Werkstücke stellen unterschiedliche Anforderungen an den Schneidmechanismus, die Montage, die Kühlung, die Späneabfuhr, die Inspektion und die Weiterverarbeitung.

01 / SILIZIUM

Silizium-IC-Wafer

Für Siliziumbauteile mit qualifizierten Oberflächen, Rahmen, Bändern und Reinigungsbedingungen werden etablierte Sägeblatt-Trennverfahren häufig eingesetzt.

Prüfen Sie Waferdurchmesser, Dicke, Straßenbreite, Chipgröße und Schnittformat.
02 / STROM

SiC-, GaN- und Leistungsbauelemente

Bei harten, spröden oder hochwertigen Werkstoffen kann eine sorgfältige Bewertung des Klingenverschleißes, der Laserinteraktion, des Absplitterns und des Durchsatzes erforderlich sein.

Bitte senden Sie das vollständige Material und die Schichtstruktur, bevor Sie das Verfahren auswählen.
03 / MEMS

MEMS und Sensorwafer

Bei Hohlräumen, empfindlichen Strukturen und schmutzempfindlichen Oberflächen kann die Montage sowie die Kontrolle von Wasser und Reinigung besonders wichtig sein.

Freiliegende Strukturen, Beschichtungen und Einschränkungen bei der Flüssigkeitsverarbeitung identifizieren.
04 / OPTISCH

Glas und optische Substrate

Spröde, transparente Werkstoffe können je nach Struktur und Kantenanforderungen mit Klingen-, Laser-, Stealth- oder Ritztechniken bearbeitet werden.

Prüfen Sie Transparenz, Dicke, Beschichtungen und den Zustand der Kanten auf Eignung.
05 / KERAMIK

Keramische und LTCC-Werkstoffe

Keramische Werkstücke erfordern unter Umständen geeignete Klingen, Vorrichtungen, Kühlung und Vorschubsteuerung, um Verschleiß und Kantenbeschädigungen zu minimieren.

Materialgüte, Abmessungen, Dicke und das gewünschte Trennergebnis angeben.
06 / PAKET

Verpackungen und Substrate

Die Vereinzelung von Streifen, Paneelen und Verpackungen kann über die Standardausrüstung für Rundwafer hinaus spezielle Vorrichtungen, Handhabungs- und Prozesskontrollen erfordern.

Format, Verkapselungsmaterial, Substrat, Gerätelayout und Produktionsablauf bestätigen.
07 / DÜNNE WAFER

Dünne und Hintergrund-Wafer

Dünne Wafer stellen höhere Anforderungen an die Bandunterstützung, die Werkstückspannung, die Verzugskontrolle, die Schnitttiefe und die Handhabung nach dem Vereinzeln.

Geben Sie die endgültige Dicke, die Trägermethode und die Anforderungen an die Werkzeugaufnahme an.
08 / SPEZIALITÄT

Spezial- und F&E-Werkstücke

Bei kleinen Chargen oder ungewöhnlichen Materialien können flexible Beladungs-, Rezeptur- und Vorrichtungsoptionen wichtiger sein als maximale Automatisierung.

Ausgehend von den Abmessungen der Probe, dem Materialverhalten und dem zu bewertenden Ergebnis.
Verfügbare Ausrüstung

Schneid- und Laser-Wafertrenngeräte

Entdecken Sie unsere aktuellen Trennsägen und Laserbearbeitungssysteme. Öffnen Sie ein Produkt, um das jeweilige Modell anzusehen, und kontaktieren Sie uns anschließend, um die genaue Maschine, die installierte Konfiguration, den Zustand, das Zubehör, die Inspektionsinformationen und die Lieferverfügbarkeit zu bestätigen.

Die benötigte Ausrüstung wird möglicherweise nicht angezeigt. Bitte senden Sie uns den Hersteller, das vollständige Modell, das Typenschild der vorhandenen Maschine oder die Prozessanforderungen, damit wir weitere Lager- und Beschaffungsoptionen prüfen können.

DISCO DAD3241 Dicing Saw
Sägeblatt-Würfelsäge

DISCO DAD3241 Würfelsäge

DISCO DAD3241 Trennsäge zum Schneiden von Wafern und Substraten. Prüfen Sie Spindel, Spanntisch, installierte Optionen, Maschinenkonfiguration usw.

DISCO DAD324 Dicing Saw
Sägeblatt-Würfelsäge

DISCO DAD324 Würfelsäge

DISCO DAD324 Trennsägeblatt für Wafer und Substrate. Maschinenidentität, Prozesstauglichkeit, Testumfang, Werkzeuge prüfen…

DISCO DAD3230 Dicing Saw
Sägeblatt-Würfelsäge

DISCO DAD3230 Würfelsäge

DISCO DAD3230 Trennsäge für Scheibenvereinzelung und Präzisionsschnitte. Spindel, Spanntisch, Optionen und Zustand prüfen...

DISCO DAD323 Dicing Saw
Sägeblatt-Würfelsäge

DISCO DAD323 Würfelsäge

DISCO DAD323 Sägeblatt-Trennsäge für die Wafer- und Substratvereinzelung. Lebenszyklusstatus, Maschinenprüfungen, Prozesseingaben überprüfen...

ASM LS100-2 Laser Cutting Machine
Sägeblatt-Würfelsäge

ASM LS100-2 Laserschneidmaschine

ASM LS100-2 Laserschneidmaschine für Halbleiteranlagen. Bestätigen Sie die Prozesskonfiguration, Laserquelle usw.

Maschinensysteme und Funktionen

Vergleichen Sie die komplette Geräteplattform

Die Schneidtechnologie ist nur ein Aspekt bei der Ausrüstungswahl. Werkstückspannung, Ausrichtung, Versorgungseinrichtungen, Inspektion und Automatisierung bestimmen, wie der Prozess in der Produktion abläuft.

01

Schneidmodul

Spindel, Schaufel, Flansch und Wasserzufuhr für Schaufelanlagen oder Laserquelle, Optik, Fokussier- und Prozesskopf für Lasersysteme.

02

Werkstückspannung

Spanntisch, Vakuum, Rahmen, Klebeband, Vorrichtung, Klemme und Stützmethode für das jeweilige Wafer- oder Substratformat.

03

Vision und Ausrichtung

Kamera-, Beleuchtungs-, Mustererkennungs-, Straßenausrichtungs-, Fokus- und Positionskorrekturfunktionen.

04

Bewegungs- und Tiefensteuerung

Achsenleistung, Vorschub, Schnitttiefe, Fokusposition, Wiederholgenauigkeit und rezeptgesteuerte Bewegung.

05

Reinigung und Abfallbeseitigung

Kühlwasser-, Sprüh-, Absaug-, Reinigungs-, Trocknungs- und Kontaminationskontrollfunktionen, die für den Prozess erforderlich sind.

06

Inspektion

Optionen zur Schnittfugenprüfung, Schnittpositionsprüfung, Fokusverifizierung, Fehlerbeobachtung und Prozessüberwachung.

07

Automatisierung und Handhabung

Manuelle Beladung, Rahmenhandhabung, Kassettentransfer, Identifizierung, automatische Reinigungs- und Entladefunktionen.

08

Dienstprogramme und Software

Stromversorgung, Luft, Wasser, Kühlung, Abgas, Platzbedarf, Rezepturen, Rückverfolgbarkeit und Schnittstellen zu angrenzenden Anlagen.

Eine bestehende Maschine ersetzen?

Senden Sie das vollständige Typenschild und geben Sie die Funktionen an, die kompatibel bleiben müssen. Die Suche kann mit dem exakten Modell beginnen und nur bei Bedarf auf verwandte Konfigurationen ausgeweitet werden.

Auswahl der Auswahl der Prüfmaschine
Geräteauswahl und -versorgung

Wandeln Sie die Prozessanforderungen in eine Maschinenspezifikation um

Semimachine kann mit einem Zielmodell, einer installierten Maschine, einem Wafermuster, einer Zeichnung oder einem gewünschten Schneidergebnis beginnen. Die Anfrage kann die aktuelle Ausstattung, die Suche nach nicht aufgeführten Modellen, maschinenspezifische Teile, Prüfinformationen, Verpackung und internationale Lieferung umfassen.

Exaktes ModellSuchen Sie nach dem gleichen Hersteller, Modell und installierten Produktionsformat.
Prozessbasierter AbgleichMaterial, Abmessungen, Straße, Schnittart, Qualität und Durchsatz berücksichtigen.
KapazitätserweiterungFinden Sie eine andere Maschine, die zum bestehenden Bediener und Produktionsablauf passt.
ProduktionsrückgewinnungPrüfen Sie Teile, Reparaturen, Modultausch oder Ersatzgeräte gemeinsam.
Werkstückinformationen

Material, Format und Montage

Bitte geben Sie Material-, Wafer- oder Panelabmessungen, Dicke, Rahmen, Klebeband, Vorrichtung und etwaige Verformungs- oder Handhabungsprobleme an.

Erforderliches Ergebnis

Schnittart und Qualitätsziel

Geben Sie bitte die Art des Einschnitts (Vollausschnitt, Rilleneinschnitt, Stufeneinschnitt oder andere Vorgehensweise) sowie die Straßenbreite, den Randzustand, die Tiefe und den Durchsatz an.

Maschinenanforderung

Funktionen und Werksschnittstelle

Identifizieren Sie den Bedarf an Spindeln oder Lasern, Tischen, Bildverarbeitungssystemen, Handhabungssystemen, Reinigungs- und Inspektionssystemen, Versorgungseinrichtungen, Software und Automatisierungslösungen.

Kommerzieller Umfang

Zustand, Menge und Bestimmungsort

Bitte bestätigen Sie Ihre Präferenz (neu, gebraucht oder generalüberholt), die Menge, den Liefertermin, das Zubehör, die Inspektion, die Verpackung und das Lieferland.

Fragen zur Geräteauswahl

FAQ zu Geräten zum Schneiden von Wafern

Diese Antworten umfassen Schneidtechnologien, Geräteauswahl, Maschinenkonfiguration und die Informationen, die vor der Angebotserstellung benötigt werden.

Welche Ausrüstung wird zum Wafer-Vereinzeln verwendet?

Das Wafer-Vereinzeln kann mittels Trennsägen, Laserablation, Nutenschneidanlagen, Stealth-Vereinzelungsanlagen, Plasma-Vereinzelungsanlagen oder durch Ritz- und Bruchverfahren erfolgen. Die geeignete Technologie hängt vom Material, der Dicke, der Gerätestruktur, der Schnittbreite, den Qualitätsanforderungen und dem Produktionsablauf ab.

Worin besteht der Unterschied zwischen einer Wafer-Säge und einer Wafer-Zerkleinerungsanlage?

Unter einer Wafer-Säge versteht man üblicherweise eine Schneidemaschine mit Klinge. Wafer-Vereinzelungsanlagen bilden die umfassendere Kategorie und können neben Sägeblättern auch Lasersysteme, Stealth-Vereinzelungsanlagen, Plasmaschneidanlagen und andere qualifizierte Vereinzelungsplattformen umfassen.

Worin unterscheiden sich Sägeblatt- und Lasertrennsysteme?

Eine Trennsäge entfernt Material mechanisch mit einem rotierenden Trennblatt. Ein Lasersystem nutzt fokussierte optische Energie zum Abtragen oder Bearbeiten von Material. Die Eignung des Verfahrens muss hinsichtlich Werkstück, Wärmeeinfluss, Spänen, Schnittfuge, Durchsatz und qualifiziertem Produktionsergebnis geprüft werden.

Kann eine einzige Maschine jedes Wafermaterial verarbeiten?

Nein. Maschinenbereich, Spindel- oder Laserkonfiguration, Werkstückspannung, Vorrichtungen, Kühlung, Optik und Prozessrezepte können die Materialverträglichkeit einschränken. Ein für Silizium geeignetes Verfahren ist ohne zusätzliche Qualifizierung möglicherweise nicht für SiC, Glas, Keramik oder Mehrschichtgehäuse geeignet.

Wodurch wird der erforderliche Automatisierungsgrad bestimmt?

Produktionsvolumen, Werkstückformat, Arbeitsablauf des Bedieners, Rezepturkontrolle, Rückverfolgbarkeit, Reinigung, Entladung und Schnittstellen zur umgebenden Produktionslinie bestimmen, ob manuelle, halbautomatische oder vollautomatische Anlagen praktikabel sind.

Kann Semimachine auch Geräte finden, die nicht angezeigt werden?

Ja. Bitte geben Sie, falls bekannt, Hersteller und Modell an oder alternativ Material, Abmessungen, Montageart, Schnittergebnis, gewünschte Funktionen, bevorzugten Zustand, Menge und Lieferort. Wir prüfen Ihre Anfrage anhand bestehender und weiterer Bezugsquellen.

Lässt sich die gebrauchte Wafer-Sägeanlage allein anhand der Modellnummer vergleichen?

Nein. Maschinen desselben Modells können sich in Spindeln, Tischen, Optiken, Handhabung, Software, Zubehör und Zustand unterscheiden. Für den abschließenden Vergleich sollten die tatsächliche Maschine mit der Seriennummer und die verfügbaren Prüfinformationen herangezogen werden.

Welche Informationen sollten für die Gerätezuordnung übermittelt werden?

Bitte geben Sie das Material, die Wafer- oder Substratabmessungen, die Dicke, die Straßenbreite, die Schnittart, das Qualitätsziel, den Durchsatz, die Vorrichtung oder den Rahmen, die erforderliche Automatisierung, die aktuelle Maschinenreferenz, die bevorzugten Bedingungen, die Menge und den Bestimmungsort an.

Wählen Sie die Trenntechnologie passend zum Werkstück aus.

Bitte senden Sie uns Material, Abmessungen, Dicke, Montageart, Straßenbreite, Schnittergebnis, aktuelle Maschine, benötigte Funktionen und Bestimmungsort. Semimachine prüft dann Klinge und Laserausrüstung, zusätzliche Maschinenoptionen sowie die benötigten Teile und Unterstützung für Ihr Projekt.

Geräteanpassung anfordern