도쿄 일렉트론 TEL MARK 8은 반도체 포토리소그래피에서 포토레지스트 처리를 위해 설계된 웨이퍼 코팅 및 현상 장비입니다. 장비 목록에 따르면 이 장비는 2C+2D 구성으로 6인치 및 8인치 웨이퍼 처리가 가능합니다.
이 시스템은 노광 전에 웨이퍼를 코팅하고 노광 후 레지스트 패턴을 현상하도록 설계되었습니다. 중고 MARK 8 시스템은 공정 모듈, 열 장치, 화학 물질 공급 장치 및 웨이퍼 인터페이스가 다를 수 있으므로 구매 전에 설치된 구성을 확인해야 합니다.
텔 마크 8 주요 사양
| 제조업체 | 도쿄 전자 유한회사 |
|---|---|
| 상표 | 전화 |
| 모델 | 마가복음 8장 |
| 장비 유형 | 웨이퍼 코팅기 및 현상기 트랙 시스템 |
| 지원되는 웨이퍼 크기 | 공개된 목록에 따르면 6인치 및 8인치 웨이퍼입니다. |
| 나열된 프로세스 구성 | 2C+2D; 실제로 설치된 모듈은 확인해야 합니다. |
| 1차 프로세스 | 포토레지스트 코팅 및 현상 |
| 상태 | 사용된 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 및 구성 확인 후 변동될 수 있습니다. |
주요 장비 특징
150mm 및 200mm 웨이퍼 가공을 지원합니다.
감광성 레지스트 코팅 및 현상 작업을 결합합니다.
2C+2D 공정 구성으로 등록됨
기존 포토리소그래피 생산 라인에 사용하기에 적합합니다.
개별 중고 기계 모듈 및 납품 범위는 다를 수 있습니다.
일반적인 적용 사례
TEL MARK 8은 포토리소그래피 공정의 일부로 웨이퍼 프라이밍, 포토레지스트 코팅, 열처리 및 현상에 사용될 수 있습니다. 지원되는 정확한 공정 흐름은 설치된 공정 및 열 모듈에 따라 달라집니다.
잠재적 응용 분야로는 집적 회로 제조, MEMS 공정, 개별 반도체 제조 및 자동화된 레지스트 코팅 및 현상이 필요한 기타 150mm 또는 200mm 웨이퍼 공정이 있습니다.
중고 장비 구성 및 검사
출처 목록에는 시스템이 2C+2D로 설명되어 있지만, 이는 장비에 설치된 모든 가열판, 냉각판, 카세트 스테이션, 화학 약품 라인 또는 자동화 옵션을 나타내는 것은 아닙니다. 이러한 항목은 최신 장비 사진과 구성 요소 목록을 통해 확인해야 합니다.
견적을 받기 전에 고객은 시리얼 번호, 웨이퍼 크기 설정, 카세트 스테이션, 웨이퍼 로봇, 코팅 볼, 현상 모듈, 열처리 장치, 화학 약품 캐비닛, 환경 제어 장치, 소프트웨어 상태 및 현재 전원 공급 상태를 확인해야 합니다.
TEL MARK 8 정보 요청
TEL MARK 8 중고 제품의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 웨이퍼 직경, 포토레지스트 및 현상액 요구 사항, 필요한 공정 모듈, 노광 장비, 구매 국가 및 예상 설치 일정을 알려주시기 바랍니다.
최신 사진, 설치 구성, 납품 범위, 검사 현황 및 견적에 대해서는 당사로 문의하십시오.
자주 묻는 질문
TEL MARK 8은 어떤 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있습니까?
제공된 목록에는 6인치 및 8인치 웨이퍼용 시스템이 명시되어 있습니다. 설치된 웨이퍼 처리 하드웨어가 필요한 크기를 충족하는지 확인해야 합니다.
표시된 2C+2D 구성은 무엇을 의미합니까?
판매자 목록에는 코팅 및 현상 공정 모듈이 표시되어 있습니다. 정확한 모듈 수, 배치 및 작동 상태는 현장 방문 시 확인해야 합니다.
MARK 8은 기존 스테퍼 모터와 함께 설치할 수 있습니까?
설치는 웨이퍼 크기, 카세트 표준, 트랙-스테퍼 인터페이스, 소프트웨어 통신 및 설비 배치에 따라 달라집니다. 특정 노광 장비와의 호환성을 평가해야 합니다.
중고 MARK 8을 구매하기 전에 무엇을 점검해야 할까요?
중요 점검 사항에는 웨이퍼 이송, 스핀 모터, 코팅 및 현상 컵, 열판, 화학 물질 공급, 온도 제어, 안전 인터록 및 시스템 소프트웨어가 포함됩니다.
