Il Tokyo Electron TEL MARK 8 è un sistema di rivestimento e sviluppo per wafer progettato per la lavorazione di fotoresist nella fotolitografia dei semiconduttori. L'elenco delle apparecchiature disponibili lo identifica per la lavorazione di wafer da 6 e 8 pollici in una configurazione 2C+2D.
Il sistema è progettato per rivestire i wafer prima dell'esposizione e per sviluppare il pattern di resist dopo l'esposizione. Poiché i sistemi MARK 8 usati possono differire per moduli di processo, unità termiche, erogazione di sostanze chimiche e interfacce wafer, la configurazione installata deve essere verificata prima dell'acquisto.
Specifiche principali del TEL MARK 8
| Produttore | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marca | TEL |
| Modello | MARCO 8 |
| Tipo di apparecchiatura | Sistema di rivestimento wafer e pista di sviluppo |
| Dimensioni dei wafer supportate | Secondo l'elenco disponibile, si tratta di wafer da 6 e 8 pollici. |
| Configurazione del processo elencato | 2C+2D; i moduli effettivamente installati devono essere confermati |
| Processo primario | Rivestimento e sviluppo del fotoresist |
| Condizione | Usato apparecchiature per semiconduttori |
| Disponibilità | Salvo disponibilità di magazzino e conferma della configurazione |
Caratteristiche principali dell'apparecchiatura
Supporta la lavorazione di wafer da 150 mm e 200 mm.
Combina le operazioni di rivestimento con fotoresist e di sviluppo.
Elencato con una configurazione di processo 2C+2D
Adatto all'impiego in linee di produzione di fotolitografia già consolidate.
I singoli moduli delle macchine usate e l'ambito di fornitura possono variare
Applicazioni tipiche
Il TEL MARK 8 può essere utilizzato per la preparazione dei wafer, il rivestimento con fotoresist, il trattamento termico e lo sviluppo nell'ambito di una sequenza di fotolitografia. Il flusso di processo supportato dipende dai moduli di processo e termici installati.
Le potenziali applicazioni includono la fabbricazione di circuiti integrati, la lavorazione di MEMS, la produzione di semiconduttori discreti e altri processi su wafer da 150 mm o 200 mm che richiedono la deposizione e lo sviluppo automatizzati di resist.
Configurazione e ispezione delle apparecchiature usate
La descrizione del sistema lo definisce come 2C+2D, ma non specifica tutte le piastre riscaldanti, le piastre di raffreddamento, le stazioni a cassetta, le linee chimiche o le opzioni di automazione installate sulla macchina. Questi elementi devono essere verificati tramite foto aggiornate dell'apparecchiatura e l'elenco dei componenti.
Prima di richiedere un preventivo, i clienti devono verificare il numero di serie, la configurazione delle dimensioni dei wafer, le stazioni per le cassette, il robot per i wafer, le vasche di rivestimento, i moduli di sviluppo, le unità termiche, l'armadio chimico, i controlli ambientali, le condizioni del software e lo stato di accensione corrente.
Richiedi informazioni TEL MARK 8
Contatta il nostro team per verificare la disponibilità attuale del TEL MARK 8 usato. Ti preghiamo di fornire il diametro del wafer, i requisiti relativi al fotoresist e allo sviluppatore, i moduli di processo richiesti, lo strumento di esposizione, il paese di destinazione e la data di installazione prevista.
Contattateci per foto aggiornate, configurazione installata, fornitura, stato di ispezione e preventivo.
Domande frequenti
Quali dimensioni di wafer può elaborare il TEL MARK 8?
L'elenco disponibile identifica il sistema per wafer da 6 e 8 pollici. È necessario verificare che l'hardware di movimentazione dei wafer installato sia delle dimensioni richieste.
Cosa indica la configurazione 2C+2D riportata?
Nell'inserzione del venditore sono indicati i moduli relativi al processo di rivestimento e sviluppo. Il numero esatto dei moduli, la loro configurazione e le condizioni operative devono essere verificati durante l'ispezione.
È possibile installare il MARK 8 con un motore passo-passo già esistente?
L'installazione dipende dalle dimensioni del wafer, dagli standard delle cassette, dall'interfaccia tra la pista e il motore passo-passo, dalla comunicazione software e dalla configurazione dell'impianto. La compatibilità deve essere valutata per lo specifico strumento di esposizione.
Cosa bisogna controllare prima di acquistare un MARK 8 usato?
Tra i controlli importanti figurano il trasferimento dei wafer, i motori di rotazione, le coppette di rivestimento e sviluppo, le piastre termiche, l'erogazione dei prodotti chimici, il controllo della temperatura, i dispositivi di sicurezza e il software di sistema.
