De Tokyo Electron TEL MARK 8 is een wafercoater en -ontwikkelaar ontworpen voor de verwerking van fotolak in halfgeleiderfotolithografie. Volgens de specificaties is het apparaat geschikt voor de verwerking van 6-inch en 8-inch wafers in een 2C+2D-configuratie.
Het systeem is bedoeld om wafers te coaten vóór belichting en het resistpatroon te ontwikkelen na belichting. Omdat gebruikte MARK 8-systemen kunnen verschillen in procesmodules, thermische eenheden, chemische toevoer en waferinterfaces, dient de geïnstalleerde configuratie vóór aankoop te worden gecontroleerd.
Belangrijkste specificaties van de TEL MARK 8
| Fabrikant | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Merk | TEL |
| Model | MARKUS 8 |
| Apparaattype | Wafercoater- en ontwikkelaarsysteem |
| Ondersteunde waferformaten | 6-inch en 8-inch wafers, volgens de beschikbare lijst. |
| Vermelde procesconfiguratie | 2C+2D; de daadwerkelijk geïnstalleerde modules moeten worden bevestigd. |
| Primair proces | Fotolakcoating en -ontwikkeling |
| Voorwaarde | Gebruikt halfgeleiderapparatuur |
| Beschikbaarheid | Onder voorbehoud van actuele voorraad en configuratiebevestiging. |
Belangrijkste kenmerken van de apparatuur
Ondersteunt waferverwerking van 150 mm en 200 mm
Combineert het aanbrengen van fotolak en de ontwikkelingsprocessen.
Vermeld met een 2C+2D-procesconfiguratie
Geschikt voor gebruik in bestaande fotolithografie-productielijnen.
De afzonderlijke modules van de gebruikte machine en de leveringsomvang kunnen variëren.
Typische toepassingen
De TEL MARK 8 kan worden gebruikt voor het primen van wafers, het aanbrengen van fotolak, thermische behandeling en ontwikkeling als onderdeel van een fotolithografieproces. De exacte ondersteunde processtroom is afhankelijk van de geïnstalleerde proces- en thermische modules.
Mogelijke toepassingen zijn onder meer de fabricage van geïntegreerde schakelingen, MEMS-verwerking, de productie van discrete halfgeleiders en andere processen met 150 mm of 200 mm wafers die geautomatiseerde resistcoating en -ontwikkeling vereisen.
Configuratie en inspectie van gebruikte apparatuur
De specificaties beschrijven het systeem als 2C+2D, maar hierin worden niet alle verwarmingsplaten, koelplaten, cassettestations, chemische leidingen en automatiseringsopties die op de machine zijn geïnstalleerd, vermeld. Deze onderdelen moeten worden gecontroleerd aan de hand van actuele foto's van de apparatuur en de onderdelenlijst.
Voordat een offerte wordt aangevraagd, dienen klanten het serienummer, de wafergrootte-instellingen, de cassettestations, de waferrobot, de coatingkommen, de ontwikkelmodules, de thermische eenheden, de chemische kast, de omgevingsregeling, de softwarestatus en de huidige inschakelstatus te controleren.
Informatie aanvragen TEL MARK 8
Neem contact op met ons team om de actuele beschikbaarheid van de gebruikte TEL MARK 8 te controleren. Vermeld hierbij uw waferdiameter, de gewenste fotolak en ontwikkelaar, de benodigde procesmodules, het belichtingsapparaat, het land van bestemming en de verwachte installatieplanning.
Neem contact met ons op voor actuele foto's, de geïnstalleerde configuratie, de leveringsomvang, de inspectiestatus en een offerte.
Veelgestelde vragen
Welke waferformaten kan de TEL MARK 8 verwerken?
De beschikbare specificaties geven aan dat het systeem geschikt is voor wafers van 6 inch en 8 inch. Controleer of de geïnstalleerde hardware voor waferverwerking de vereiste afmetingen ondersteunt.
Wat duidt de vermelde 2C+2D-configuratie aan?
In de productbeschrijving van de verkoper worden de modules voor het coating- en ontwikkelingsproces vermeld. Het exacte aantal modules, de lay-out en de werkingsstatus moeten tijdens de inspectie worden bevestigd.
Kan de MARK 8 worden geïnstalleerd met een bestaande stappenmotor?
De installatie is afhankelijk van de wafergrootte, cassettestandaarden, de interface tussen de sporen en de stappenmotor, de softwarecommunicatie en de lay-out van de faciliteit. De compatibiliteit moet worden beoordeeld voor het specifieke belichtingsapparaat.
Wat moet je controleren voordat je een gebruikte MARK 8 koopt?
Belangrijke controles omvatten de overdracht van wafers, spinmotoren, coating- en ontwikkelbekers, thermische platen, chemische toevoer, temperatuurregeling, veiligheidsvergrendelingen en systeemsoftware.
