เครื่องเคลือบและพัฒนาสารไวแสงสำหรับเวเฟอร์ Tokyo Electron TEL MARK 8 ออกแบบมาสำหรับการประมวลผลสารไวแสงในกระบวนการพิมพ์ภาพด้วยแสงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ รายการอุปกรณ์ที่มีจำหน่ายระบุว่าสามารถใช้กับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว ในการกำหนดค่า 2C+2D ตามที่ระบุไว้
ระบบนี้มีจุดประสงค์เพื่อเคลือบแผ่นเวเฟอร์ก่อนการฉายแสงและพัฒนาลวดลายของสารต้านทานแสงหลังจากฉายแสงแล้ว เนื่องจากระบบ MARK 8 มือสองอาจมีความแตกต่างกันในโมดูลกระบวนการ หน่วยความร้อน การจ่ายสารเคมี และส่วนต่อประสานกับแผ่นเวเฟอร์ จึงควรตรวจสอบการกำหนดค่าที่ติดตั้งก่อนซื้อ
ข้อมูลจำเพาะหลักของ TEL MARK 8
| ผู้ผลิต | บริษัท โตเกียว อิเล็กตรอน จำกัด |
|---|---|
| ยี่ห้อ | โทรศัพท์ |
| แบบอย่าง | มาร์ค 8 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบเคลือบเวเฟอร์และระบบติดตามการพัฒนา |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | ตามรายการสินค้าที่มีอยู่ ระบุว่าเป็นเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว |
| การกำหนดค่ากระบวนการที่ระบุไว้ | 2C+2D; ต้องตรวจสอบโมดูลที่ติดตั้งจริงอีกครั้ง |
| กระบวนการหลัก | การเคลือบและการพัฒนาสารต้านทานแสง |
| เงื่อนไข | ใช้แล้ว อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบันและการยืนยันการกำหนดค่า |
คุณสมบัติหลักของอุปกรณ์
รองรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม.
รวมกระบวนการเคลือบโฟโตเรซิสต์และการล้างฟิล์มเข้าด้วยกัน
ระบุไว้ด้วยการกำหนดค่ากระบวนการ 2C+2D
เหมาะสำหรับใช้ในสายการผลิตโฟโตลิโทกราฟีที่มีอยู่แล้ว
แต่ละโมดูลของเครื่องจักรมือสองและขอบเขตการส่งมอบอาจแตกต่างกันไป
การใช้งานทั่วไป
เครื่อง TEL MARK 8 สามารถใช้สำหรับการเตรียมพื้นผิวเวเฟอร์ การเคลือบสารไวแสง การอบชุบด้วยความร้อน และการล้างฟิล์ม ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี ขั้นตอนการทำงานที่รองรับจะขึ้นอยู่กับโมดูลกระบวนการและโมดูลความร้อนที่ติดตั้งไว้
การประยุกต์ใช้งานที่เป็นไปได้ ได้แก่ การผลิตวงจรรวม การประมวลผล MEMS การผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบแยกชิ้น และกระบวนการเวเฟอร์ขนาด 150 มม. หรือ 200 มม. อื่นๆ ที่ต้องการการเคลือบและการพัฒนาสารต้านทานแบบอัตโนมัติ
การกำหนดค่าและการตรวจสอบอุปกรณ์มือสอง
ข้อมูลแหล่งที่มาอธิบายระบบว่าเป็น 2C+2D แต่ไม่ได้ระบุรายละเอียดของแผ่นความร้อน แผ่นทำความเย็น สถานีตลับ สายส่งสารเคมี หรือตัวเลือกการทำงานอัตโนมัติทั้งหมดที่ติดตั้งในเครื่อง ควรตรวจสอบรายการเหล่านี้จากภาพถ่ายอุปกรณ์ปัจจุบันและรายการส่วนประกอบ
ก่อนขอใบเสนอราคา ลูกค้าควรตรวจสอบหมายเลขซีเรียล การตั้งค่าขนาดเวเฟอร์ สถานีตลับเวเฟอร์ หุ่นยนต์เวเฟอร์ อ่างเคลือบ โมดูลการพัฒนา หน่วยความร้อน ตู้เคมี การควบคุมสภาพแวดล้อม สภาพซอฟต์แวร์ และสถานะการเปิดเครื่องในปัจจุบัน
ขอข้อมูลเกี่ยวกับ TEL MARK 8
โปรดติดต่อทีมงานของเราเพื่อตรวจสอบความพร้อมของเครื่อง TEL MARK 8 มือสองในปัจจุบัน โปรดระบุขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ ความต้องการสารไวแสงและสารเร่งปฏิกิริยา โมดูลกระบวนการที่ต้องการ เครื่องมือฉายแสง ประเทศปลายทาง และกำหนดการติดตั้งที่คาดไว้
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรูปภาพปัจจุบัน การกำหนดค่าการติดตั้ง ขอบเขตการส่งมอบ สถานะการตรวจสอบ และใบเสนอราคา
คำถามที่พบบ่อย
เครื่อง TEL MARK 8 สามารถประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใดได้บ้าง?
รายการที่มีอยู่ระบุว่าระบบนี้รองรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว ควรตรวจสอบฮาร์ดแวร์สำหรับจัดการเวเฟอร์ที่ติดตั้งไว้ว่ามีขนาดที่ต้องการหรือไม่
การกำหนดค่า 2C+2D ที่ระบุไว้หมายถึงอะไร?
เอกสารของผู้ขายระบุถึงโมดูลกระบวนการเคลือบและพัฒนาภาพ ควรตรวจสอบจำนวนโมดูล รูปแบบ และสภาพการใช้งานอย่างละเอียดอีกครั้งระหว่างการตรวจสอบ
สามารถติดตั้ง MARK 8 ร่วมกับสเต็ปเปอร์มอเตอร์ที่มีอยู่แล้วได้หรือไม่?
การติดตั้งขึ้นอยู่กับขนาดของเวเฟอร์ มาตรฐานของตลับ การเชื่อมต่อระหว่างแทร็กกับสเต็ปเปอร์ การสื่อสารของซอฟต์แวร์ และรูปแบบของโรงงาน ควรประเมินความเข้ากันได้สำหรับเครื่องมือฉายแสงเฉพาะนั้นๆ
ควรตรวจสอบอะไรบ้างก่อนซื้อรถ MARK 8 มือสอง?
การตรวจสอบที่สำคัญ ได้แก่ การลำเลียงเวเฟอร์ มอเตอร์หมุน ถ้วยเคลือบและพัฒนาภาพ แผ่นความร้อน ระบบจ่ายสารเคมี การควบคุมอุณหภูมิ ระบบล็อคเพื่อความปลอดภัย และซอฟต์แวร์ของระบบ
