Ang Tokyo Electron TEL MARK 8 ay isang wafer coater at developer na idinisenyo para sa photoresist processing sa semiconductor photolithography. Ang listahan ng mga kagamitang magagamit ay tumutukoy dito para sa 6-pulgada at 8-pulgadang wafer processing sa isang nakalistang 2C+2D configuration.
Ang sistema ay nilayon upang pahiran ang mga wafer bago ang pagkakalantad at bumuo ng resist pattern pagkatapos ng pagkakalantad. Dahil ang mga ginagamit na sistema ng MARK 8 ay maaaring magkaiba sa mga process module, thermal unit, chemical delivery at wafer interface, dapat suriin ang naka-install na configuration bago bilhin.
TEL MARK 8 Pangunahing mga Espesipikasyon
| Tagagawa | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Tatak | TEL |
| Modelo | MARKA 8 |
| Uri ng Kagamitan | Sistema ng Wafer Coater at Developer Track |
| Mga Sinusuportahang Sukat ng Wafer | 6-pulgada at 8-pulgadang wafer, ayon sa magagamit na listahan |
| Nakalistang Pag-configure ng Proseso | 2C+2D; dapat kumpirmahin ang aktwal na naka-install na mga module |
| Pangunahing Proseso | Patong na photoresist at pagbuo |
| Kundisyon | Ginamit kagamitang semiconductor |
| Kakayahang magamit | Nakabatay sa kasalukuyang stock at kumpirmasyon ng configuration |
Mga Pangunahing Tampok ng Kagamitan
Sinusuportahan ang nakalistang 150 mm at 200 mm na pagproseso ng wafer
Pinagsasama ang mga operasyon ng photoresist coating at pagbuo
Nakalista gamit ang isang 2C+2D na konpigurasyon ng proseso
Angkop gamitin sa mga establisadong linya ng produksyon ng photolithography
Maaaring mag-iba ang mga indibidwal na module ng gamit nang makina at saklaw ng paghahatid
Karaniwang mga Aplikasyon
Ang TEL MARK 8 ay maaaring gamitin para sa wafer priming, photoresist coating, thermal treatment at development bilang bahagi ng isang photolithography sequence. Ang eksaktong sinusuportahang daloy ng proseso ay depende sa naka-install na proseso at mga thermal module.
Kabilang sa mga potensyal na aplikasyon ang integrated circuit fabrication, MEMS processing, discrete semiconductor manufacturing at iba pang 150 mm o 200 mm wafer processes na nangangailangan ng automated resist coating at development.
Konpigurasyon at Inspeksyon ng Gamit na Kagamitan
Inilalarawan ng listahan ng pinagmulan ang sistema bilang 2C+2D, ngunit hindi nito tinutukoy ang bawat hot plate, cool plate, cassette station, chemical line o opsyon sa automation na naka-install sa makina. Dapat kumpirmahin ang mga item na ito mula sa mga kasalukuyang larawan ng kagamitan at listahan ng mga bahagi.
Bago ang pagbibigay ng sipi, dapat beripikahin ng mga kostumer ang serial number, wafer-size setup, mga cassette station, wafer robot, mga coating bowl, mga developing module, mga thermal unit, chemical cabinet, mga environmental control, kondisyon ng software at kasalukuyang power-on status.
Humingi ng Impormasyon sa TEL MARK 8
Makipag-ugnayan sa aming koponan upang suriin ang kasalukuyang availability ng gamit nang TEL MARK 8. Mangyaring ibigay ang iyong wafer diameter, mga kinakailangan sa photoresist at developer, mga kinakailangang process module, exposure tool, bansang patutunguhan at inaasahang iskedyul ng pag-install.
Makipag-ugnayan sa amin para sa mga kasalukuyang larawan, naka-install na configuration, saklaw ng paghahatid, katayuan ng inspeksyon at sipi.
Mga Madalas Itanong
Anong mga laki ng wafer ang kayang iproseso ng TEL MARK 8?
Ang magagamit na listahan ay tumutukoy sa sistema para sa 6-pulgada at 8-pulgadang wafer. Dapat suriin ang naka-install na hardware sa paghawak ng wafer para sa kinakailangang laki.
Ano ang ipinahihiwatig ng nakalistang 2C+2D na konpigurasyon?
Ipinapahiwatig nito ang mga modyul ng proseso ng pagpapatong at pagbuo sa listahan ng nagbebenta. Ang eksaktong bilang ng modyul, layout at kondisyon ng pagpapatakbo ay dapat kumpirmahin sa panahon ng inspeksyon.
Maaari bang i-install ang MARK 8 kasama ng isang umiiral na stepper?
Ang pag-install ay depende sa laki ng wafer, mga pamantayan ng cassette, interface ng track-to-stepper, komunikasyon ng software at layout ng pasilidad. Dapat suriin ang compatibility para sa partikular na exposure tool.
Ano ang dapat suriin bago bumili ng segunda-manong MARK 8?
Kabilang sa mahahalagang pagsusuri ang wafer transfer, spin motors, coating at developing cups, thermal plates, chemical delivery, temperature control, safety interlocks at system software.
