Tokyo Electron TEL MARK 8 ialah penyalut dan pembangun wafer yang direka untuk pemprosesan fotoresis dalam fotolitografi semikonduktor. Senarai peralatan yang tersedia mengenal pasti ia untuk pemprosesan wafer 6 inci dan 8 inci dalam konfigurasi 2C+2D yang disenaraikan.
Sistem ini bertujuan untuk menyalut wafer sebelum terdedah dan membangunkan corak rintangan selepas terdedah. Memandangkan sistem MARK 8 yang digunakan boleh berbeza dalam modul proses, unit terma, penghantaran kimia dan antara muka wafer, konfigurasi yang dipasang harus diperiksa sebelum dibeli.
TEL MARK 8 Spesifikasi Utama
| Pengilang | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Jenama | TEL |
| Model | MARKAH 8 |
| Jenis Peralatan | Sistem Pelapis Wafer dan Trek Pembangun |
| Saiz Wafer yang Disokong | Wafer 6 inci dan 8 inci, mengikut senarai yang tersedia |
| Konfigurasi Proses Tersenarai | 2C+2D; modul sebenar yang dipasang mesti disahkan |
| Proses Utama | Salutan fotoresis dan pembangunan |
| Keadaan | Digunakan peralatan semikonduktor |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa dan pengesahan konfigurasi |
Ciri-ciri Peralatan Utama
Menyokong pemprosesan wafer 150 mm dan 200 mm yang disenaraikan
Menggabungkan operasi salutan fotoresis dan pembangunan
Disenaraikan dengan konfigurasi proses 2C+2D
Sesuai untuk digunakan dalam barisan pengeluaran fotolitografi yang mantap
Modul mesin terpakai individu dan skop penghantaran boleh berbeza-beza
Aplikasi Lazim
TEL MARK 8 boleh digunakan untuk penyebuan wafer, salutan fotoresis, rawatan haba dan pembangunan sebagai sebahagian daripada jujukan fotolitografi. Aliran proses yang disokong dengan tepat bergantung pada proses yang dipasang dan modul haba.
Aplikasi yang berpotensi termasuk fabrikasi litar bersepadu, pemprosesan MEMS, pembuatan semikonduktor diskret dan proses wafer 150 mm atau 200 mm lain yang memerlukan salutan dan pembangunan rintangan automatik.
Konfigurasi dan Pemeriksaan Peralatan Terpakai
Senarai sumber menggambarkan sistem sebagai 2C+2D, tetapi ini tidak mengenal pasti setiap plat panas, plat sejuk, stesen kaset, talian kimia atau pilihan automasi yang dipasang pada mesin. Item ini harus disahkan daripada foto peralatan semasa dan senarai komponen.
Sebelum sebut harga, pelanggan perlu mengesahkan nombor siri, persediaan saiz wafer, stesen kaset, robot wafer, mangkuk salutan, modul pembangunan, unit terma, kabinet kimia, kawalan persekitaran, keadaan perisian dan status penghidupan semasa.
Minta Maklumat TEL MARKAH 8
Hubungi pasukan kami untuk menyemak ketersediaan semasa TEL MARK 8 terpakai. Sila berikan diameter wafer, keperluan fotoresis dan pembangun anda, modul proses yang diperlukan, alat pendedahan, negara destinasi dan jadual pemasangan yang dijangkakan.
Hubungi kami untuk gambar semasa, konfigurasi yang dipasang, skop penghantaran, status pemeriksaan dan sebut harga.
Soalan Lazim
Apakah saiz wafer yang boleh diproses oleh TEL MARK 8?
Senarai yang tersedia mengenal pasti sistem untuk wafer 6 inci dan 8 inci. Perkakasan pengendalian wafer yang dipasang hendaklah diperiksa untuk saiz yang diperlukan.
Apakah yang ditunjukkan oleh konfigurasi 2C+2D yang disenaraikan?
Ia menunjukkan modul proses salutan dan pembangunan dalam senarai penjual. Kiraan modul, susun atur dan keadaan operasi yang tepat hendaklah disahkan semasa pemeriksaan.
Bolehkah MARK 8 dipasang dengan stepper sedia ada?
Pemasangan bergantung pada saiz wafer, piawaian kaset, antara muka trek-ke-stepper, komunikasi perisian dan susun atur kemudahan. Keserasian harus dinilai untuk alat pendedahan khusus.
Apakah yang perlu diperiksa sebelum membeli MARK 8 terpakai?
Pemeriksaan penting termasuk pemindahan wafer, motor putaran, cawan salutan dan pembangunan, plat haba, penghantaran bahan kimia, kawalan suhu, saling kunci keselamatan dan perisian sistem.
