Le Tokyo Electron TEL MARK 8 est un système de revêtement et de développement de plaquettes conçu pour le traitement des résines photosensibles en photolithographie pour semi-conducteurs. Il est compatible avec le traitement de plaquettes de 6 et 8 pouces en configuration 2C+2D.
Ce système est conçu pour revêtir les plaquettes avant exposition et développer le motif de résine photosensible après exposition. Les systèmes MARK 8 d'occasion pouvant différer au niveau des modules de traitement, des unités thermiques, de l'alimentation en produits chimiques et des interfaces avec les plaquettes, il est recommandé d'inspecter la configuration installée avant tout achat.
Caractéristiques principales du TEL MARK 8
| Fabricant | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marque | TÉLÉPHONE |
| Modèle | MARC 8 |
| Type d'équipement | Système de revêtement et de développement de plaquettes |
| Tailles de plaquettes prises en charge | Des plaquettes de 6 et 8 pouces, selon la liste disponible |
| Configuration du processus répertorié | 2C+2D ; les modules réellement installés doivent être confirmés |
| Processus primaire | Revêtement et développement de la résine photosensible |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
Prend en charge le traitement des plaquettes de 150 mm et 200 mm.
Combine les opérations de dépôt et de développement de la résine photosensible
Répertorié avec une configuration de processus 2C+2D
Convient pour une utilisation dans les lignes de production de photolithographie établies
Les modules de machines d'occasion et le périmètre de livraison peuvent varier individuellement.
Applications typiques
Le TEL MARK 8 peut être utilisé pour l'apprêtage des plaquettes, le dépôt de résine photosensible, le traitement thermique et le développement dans le cadre d'une séquence de photolithographie. Le flux de processus exact pris en charge dépend des modules de traitement et thermiques installés.
Les applications potentielles comprennent la fabrication de circuits intégrés, le traitement MEMS, la fabrication de semi-conducteurs discrets et d'autres procédés sur plaquettes de 150 mm ou 200 mm nécessitant un revêtement et un développement automatisés de résine.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
La fiche technique décrit le système comme étant de type 2C+2D, mais elle n'indique pas l'ensemble des plaques chauffantes, plaques froides, stations de cassettes, lignes de produits chimiques ni options d'automatisation installées sur la machine. Ces éléments doivent être vérifiés à partir des photos de l'équipement actuel et de la liste des composants.
Avant d'établir un devis, les clients doivent vérifier le numéro de série, la configuration de la taille des plaquettes, les stations de cassettes, le robot de plaquettes, les bols de revêtement, les modules de développement, les unités thermiques, l'armoire chimique, les contrôles environnementaux, l'état du logiciel et l'état actuel de l'alimentation électrique.
Demande d'informations TEL MARK 8
Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du TEL MARK 8 d'occasion. Veuillez indiquer le diamètre de votre plaquette, vos exigences en matière de photorésine et de révélateur, les modules de traitement requis, l'outil d'exposition, le pays de destination et le calendrier d'installation prévu.
Contactez-nous pour obtenir des photos actuelles, la configuration installée, le contenu de la livraison, l'état de l'inspection et un devis.
Foire aux questions
Quelles sont les tailles de plaquettes que le TEL MARK 8 peut traiter ?
La fiche technique disponible décrit le système pour les plaquettes de 6 et 8 pouces. Il convient de vérifier que le matériel de manipulation des plaquettes installé est compatible avec les dimensions requises.
Que signifie la configuration 2C+2D indiquée ?
L'annonce du vendeur mentionne les modules de traitement de revêtement et de développement. Le nombre exact de modules, leur disposition et leur état de fonctionnement doivent être vérifiés lors de l'inspection.
Le MARK 8 peut-il être installé avec un moteur pas à pas existant ?
L'installation dépend de la taille de la plaquette, des normes des cassettes, de l'interface entre la piste et le système de projection, de la communication logicielle et de la configuration de l'installation. La compatibilité doit être évaluée pour l'outil d'exposition spécifique.
Quels sont les points à vérifier avant d'acheter une MARK 8 d'occasion ?
Les contrôles importants comprennent le transfert des plaquettes, les moteurs de rotation, les godets de revêtement et de développement, les plaques thermiques, l'alimentation en produits chimiques, le contrôle de la température, les dispositifs de sécurité et le logiciel système.
