TEL MARK 8 コーター＆デベロッパー

東京エレクトロンのTEL MARK 8は、半導体フォトリソグラフィにおけるフォトレジスト処理用に設計されたウェーハコーター兼現像装置です。製品リストによると、6インチおよび8インチウェーハの処理に対応し、2C+2D構成で提供されています。

本システムは、露光前にウェーハにコーティングを施し、露光後にレジストパターンを現像することを目的としています。中古のMARK 8システムは、プロセスモジュール、加熱ユニット、薬品供給装置、ウェーハインターフェースなどが異なる場合がありますので、購入前に設置されている構成を確認する必要があります。

TEL MARK 8の主な仕様

主な機器機能

• 記載されている150mmおよび200mmウェハ処理に対応

• フォトレジスト塗布と現像工程を組み合わせた

• 2C+2Dプロセス構成で記載されています

• 既存のフォトリソグラフィー生産ラインでの使用に適しています

• 個々の使用済み機械モジュールと納品範囲は異なる場合があります

代表的な用途

TEL MARK 8は、フォトリソグラフィ工程の一部として、ウェハプライミング、フォトレジスト塗布、熱処理、現像に使用できます。対応可能なプロセスフローは、搭載されているプロセスモジュールと熱処理モジュールによって異なります。

応用例としては、集積回路製造、MEMSプロセス、ディスクリート半導体製造、および自動レジスト塗布・現像を必要とするその他の150mmまたは200mmウェハプロセスなどが挙げられる。

中古機器の構成と検査

資料にはシステムが2C+2Dと記載されていますが、これは機械に搭載されているすべてのホットプレート、クールプレート、カセットステーション、薬品ライン、自動化オプションを特定するものではありません。これらの項目については、最新の機器写真と部品リストで確認する必要があります。

見積もり前に、お客様はシリアル番号、ウェハサイズ設定、カセットステーション、ウェハロボット、コーティングボウル、現像モジュール、サーマルユニット、薬品キャビネット、環境制御装置、ソフトウェアの状態、および現在の電源オン状態を確認する必要があります。

TEL MARK 8に関する情報をリクエストする

中古のTEL MARK 8の在庫状況については、弊社チームまでお問い合わせください。ウェハ径、フォトレジストおよび現像液の要件、必要なプロセスモジュール、露光装置、納入先国、および設置予定時期をお知らせください。

最新の写真、設置構成、納品範囲、検査状況、および見積もりについては、当社までお問い合わせください。

よくある質問

TEL MARK 8は、どのようなサイズのウェハーを処理できますか？

掲載されている製品リストには、6インチおよび8インチウェハーに対応したシステムが記載されています。設置済みのウェハー搬送装置が、必要なサイズに対応していることを確認してください。

記載されている2C+2D構成は何を示していますか？

これは、販売者リストに記載されているコーティングおよび現像プロセスモジュールを示しています。モジュールの正確な数、レイアウト、および動作状況は、検査時に確認する必要があります。

MARK 8は既存のステッピングモーターに取り付けることができますか？

設置方法は、ウェハサイズ、カセット規格、トラックとステッパーのインターフェース、ソフトウェア通信、および設備レイアウトによって異なります。特定の露光装置との互換性を評価する必要があります。

中古のMARK 8を購入する前に、どのような点を点検すべきでしょうか？

重要なチェック項目には、ウェハ搬送、スピンモーター、コーティングおよび現像カップ、サーマルプレート、薬品供給、温度制御、安全インターロック、およびシステムソフトウェアが含まれます。