Tokyo Electron TEL MARK 8 là máy phủ và xử lý wafer được thiết kế cho quá trình xử lý chất cản quang trong quang khắc bán dẫn. Danh sách thiết bị hiện có cho thấy máy này có thể xử lý wafer 6 inch và 8 inch với cấu hình 2C+2D đã được liệt kê.
Hệ thống này được thiết kế để phủ lớp lên tấm bán dẫn trước khi chiếu xạ và phát triển mẫu chất cản quang sau khi chiếu xạ. Vì các hệ thống MARK 8 đã qua sử dụng có thể khác nhau về các mô-đun xử lý, bộ phận nhiệt, hệ thống cung cấp hóa chất và giao diện với tấm bán dẫn, nên cấu hình đã lắp đặt cần được kiểm tra trước khi mua.
Thông số kỹ thuật chính của TEL MARK 8
| Nhà sản xuất | Công ty TNHH Điện tử Tokyo |
|---|---|
| Thương hiệu | ĐIỆN THOẠI |
| Người mẫu | MARK 8 |
| Loại thiết bị | Hệ thống theo dõi máy phủ và phát triển wafer |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, có các loại wafer 6 inch và 8 inch. |
| Cấu hình quy trình được liệt kê | 2C+2D; cần xác nhận số mô-đun đã lắp đặt thực tế. |
| Quá trình chính | Phủ lớp cản quang và quá trình phát triển |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
Hỗ trợ xử lý tấm wafer có kích thước 150 mm và 200 mm.
Kết hợp quá trình phủ chất cản quang và xử lý ảnh.
Được liệt kê với cấu hình quy trình 2C+2D
Thích hợp sử dụng trong các dây chuyền sản xuất quang khắc hiện có.
Các mô-đun máy đã qua sử dụng riêng lẻ và phạm vi giao hàng có thể khác nhau.
Ứng dụng điển hình
Máy TEL MARK 8 có thể được sử dụng cho quá trình chuẩn bị đế bán dẫn, phủ lớp chất cản quang, xử lý nhiệt và phát triển như một phần của quy trình quang khắc. Quy trình được hỗ trợ cụ thể phụ thuộc vào các mô-đun xử lý và nhiệt được cài đặt.
Các ứng dụng tiềm năng bao gồm chế tạo mạch tích hợp, xử lý MEMS, sản xuất chất bán dẫn rời rạc và các quy trình khác trên tấm wafer 150 mm hoặc 200 mm yêu cầu phủ và xử lý chất cản quang tự động.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Mô tả trong nguồn gốc hệ thống là 2C+2D, nhưng điều này không nêu rõ tất cả các tấm gia nhiệt, tấm làm mát, trạm khay, dây chuyền hóa chất hoặc tùy chọn tự động hóa được lắp đặt trên máy. Cần xác nhận các chi tiết này từ ảnh thiết bị hiện tại và danh sách linh kiện.
Trước khi báo giá, khách hàng nên kiểm tra số seri, cấu hình kích thước wafer, trạm khay, robot wafer, bát phủ, mô-đun phát triển, bộ phận nhiệt, tủ hóa chất, hệ thống điều khiển môi trường, tình trạng phần mềm và trạng thái hoạt động hiện tại của máy.
Yêu cầu thông tin TEL MARK 8
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy TEL MARK 8 đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp đường kính wafer, yêu cầu về chất cản quang và chất phát triển, các mô-đun quy trình cần thiết, công cụ chiếu sáng, quốc gia đích đến và lịch trình lắp đặt dự kiến.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh hiện tại, cấu hình đã lắp đặt, phạm vi giao hàng, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy TEL MARK 8 có thể xử lý các loại wafer có kích thước nào?
Danh sách hiện có xác định hệ thống dành cho tấm wafer 6 inch và 8 inch. Cần kiểm tra phần cứng xử lý wafer đã lắp đặt xem có phù hợp với kích thước yêu cầu hay không.
Cấu hình 2C+2D được liệt kê ở trên biểu thị điều gì?
Thông tin này thể hiện các mô-đun quy trình phủ và phát triển trong danh sách của người bán. Số lượng mô-đun chính xác, bố cục và tình trạng hoạt động cần được xác nhận trong quá trình kiểm tra.
Có thể lắp đặt MARK 8 với động cơ bước hiện có không?
Việc lắp đặt phụ thuộc vào kích thước wafer, tiêu chuẩn khay chứa, giao diện giữa rãnh và động cơ bước, giao tiếp phần mềm và bố trí cơ sở vật chất. Cần đánh giá khả năng tương thích đối với thiết bị chiếu xạ cụ thể.
Cần kiểm tra những gì trước khi mua súng MARK 8 đã qua sử dụng?
Các bước kiểm tra quan trọng bao gồm chuyển giao tấm bán dẫn, động cơ quay, cốc phủ và phát triển, tấm nhiệt, cung cấp hóa chất, kiểm soát nhiệt độ, khóa an toàn và phần mềm hệ thống.
