Tokyo Electron TEL MARK 8 to urządzenie do powlekania i wywoływania płytek półprzewodnikowych przeznaczone do obróbki fotorezystu w fotolitografii półprzewodnikowej. Dostępny sprzęt identyfikuje je do obróbki płytek 6- i 8-calowych w konfiguracji 2C+2D.
System przeznaczony jest do powlekania płytek przed naświetlaniem i wywoływania wzoru rezystu po naświetlaniu. Ponieważ używane systemy MARK 8 mogą różnić się modułami procesowymi, jednostkami termicznymi, systemem dostarczania substancji chemicznych i interfejsami płytek, przed zakupem należy sprawdzić zainstalowaną konfigurację.
Główne dane techniczne TEL MARK 8
| Producent | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Marka | TEL |
| Model | MARK 8 |
| Typ sprzętu | System powlekania płytek i torów wywoływania |
| Obsługiwane rozmiary płytek | Podkłady 6-calowe i 8-calowe według dostępnego spisu |
| Wyświetlona konfiguracja procesu | 2C+2D; należy potwierdzić faktycznie zainstalowane moduły |
| Proces podstawowy | Powłoka fotorezystu i wywoływanie |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Obsługuje wymienione przetwarzanie płytek o średnicy 150 mm i 200 mm
Łączy w sobie procesy powlekania fotorezystem i wywoływania
Wymienione z konfiguracją procesu 2C+2D
Nadaje się do stosowania w istniejących liniach produkcyjnych fotolitografii
Poszczególne moduły maszyn używanych i zakres dostawy mogą się różnić
Typowe zastosowania
Urządzenie TEL MARK 8 może być używane do gruntowania płytek, nakładania powłoki fotorezystowej, obróbki cieplnej i wywoływania w ramach sekwencji fotolitografii. Dokładny przebieg procesu zależy od zainstalowanych modułów procesowych i termicznych.
Potencjalne zastosowania obejmują produkcję układów scalonych, przetwarzanie MEMS, produkcję dyskretnych półprzewodników i inne procesy obróbki płytek o średnicy 150 mm lub 200 mm wymagające zautomatyzowanego powlekania i rozwoju warstwy ochronnej.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
W opisie źródłowym system jest opisany jako 2C+2D, ale nie identyfikuje on wszystkich płyt grzejnych, płyt chłodzących, stacji kasetowych, linii chemicznych ani opcji automatyki zainstalowanych w maszynie. Elementy te należy potwierdzić na podstawie aktualnych zdjęć sprzętu i listy komponentów.
Przed złożeniem wyceny klienci powinni sprawdzić numer seryjny, konfigurację rozmiaru wafli, stacje kasetowe, robota do wafli, miski powlekające, moduły wywołujące, jednostki termiczne, szafę na chemikalia, elementy sterujące środowiskiem, stan oprogramowania i aktualny stan zasilania.
Poproś o informacje TEL MARK 8
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego TEL MARK 8. Podaj średnicę płytki, wymagania dotyczące fotorezystu i wywoływacza, wymagane moduły procesowe, narzędzie do naświetlania, kraj docelowy i przewidywany harmonogram instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia, zainstalowaną konfigurację, zakres dostawy, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie rozmiary płytek może przetwarzać maszyna TEL MARK 8?
Dostępna lista identyfikuje system dla płytek 6-calowych i 8-calowych. Należy sprawdzić zainstalowany sprzęt do obsługi płytek pod kątem wymaganego rozmiaru.
Co oznacza podana konfiguracja 2C+2D?
W ofercie sprzedawcy wskazano moduły procesu powlekania i wywoływania. Dokładną liczbę modułów, ich układ i stan działania należy potwierdzić podczas inspekcji.
Czy MARK 8 można zamontować z istniejącym silnikiem krokowym?
Instalacja zależy od rozmiaru płytki, standardów kasety, interfejsu ścieżka-krok, komunikacji z oprogramowaniem i układu obiektu. Kompatybilność należy ocenić pod kątem konkretnego narzędzia do naświetlania.
Na co należy zwrócić uwagę przed zakupem używanego MARK 8?
Do ważnych kontroli zalicza się przenoszenie płytek, silniki wirujące, kubki do powlekania i wywoływania, płyty termiczne, dostarczanie chemikaliów, kontrolę temperatury, blokady bezpieczeństwa i oprogramowanie systemu.
