Установка Tokyo Electron TEL MARK 8 — это устройство для нанесения покрытий и проявления фоторезистов на кремниевые пластины, предназначенное для обработки фоторезистов в полупроводниковой фотолитографии. В списке доступного оборудования указано, что она предназначена для обработки 6-дюймовых и 8-дюймовых пластин в конфигурации 2C+2D.
Система предназначена для нанесения покрытия на пластины перед экспонированием и проявления рисунка резиста после экспонирования. Поскольку используемые системы MARK 8 могут различаться по технологическим модулям, тепловым блокам, подаче химических реагентов и интерфейсам с пластинами, перед покупкой следует проверить установленную конфигурацию.
Основные характеристики telmark 8
| Производитель | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Бренд | ТЕЛ |
| Модель | МАРК 8 |
| Тип оборудования | Система направляющих для нанесения покрытия на вафли и проявителя |
| Поддерживаемые размеры кремниевых пластин | Вафли диаметром 6 и 8 дюймов, согласно имеющемуся списку. |
| Конфигурация перечисленного процесса | 2C+2D; необходимо подтвердить фактическое количество установленных модулей. |
| Первичный процесс | Нанесение фоторезиста и проявление |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Поддерживается обработка кремниевых пластин диаметром 150 мм и 200 мм.
Сочетает в себе операции нанесения фоторезиста и проявления.
Указано с технологической конфигурацией 2C+2D.
Подходит для использования в существующих производственных линиях фотолитографии.
Отдельные модули бывших в употреблении машин и комплект поставки могут различаться.
Типичные области применения
Прибор TEL MARK 8 может использоваться для подготовки пластин, нанесения фоторезиста, термической обработки и проявления в рамках последовательности фотолитографии. Точный поддерживаемый технологический процесс зависит от установленных технологических и термических модулей.
Потенциальные области применения включают изготовление интегральных схем, обработку MEMS-устройств, производство дискретных полупроводниковых компонентов и другие процессы обработки 150-мм или 200-мм пластин, требующие автоматизированного нанесения резистивного покрытия и проявления.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
В описании системы указано обозначение 2C+2D, но это не включает в себя все нагревательные плиты, охлаждающие плиты, кассетные станции, химические линии или опции автоматизации, установленные на оборудовании. Эти элементы следует подтвердить по актуальным фотографиям оборудования и списку компонентов.
Перед предоставлением коммерческого предложения клиентам следует проверить серийный номер, конфигурацию размеров пластин, кассетные станции, робот для нанесения покрытий на пластины, емкости для нанесения покрытий, модули проявки, термоблоки, химический шкаф, систему контроля окружающей среды, состояние программного обеспечения и текущее состояние питания.
Запросить информацию о TEL MARK 8
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении фоторезистов TEL MARK 8. Пожалуйста, укажите диаметр вашей пластины, требования к фоторезисту и проявителю, необходимые технологические модули, устройство экспонирования, страну назначения и предполагаемый график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить актуальные фотографии, информацию об установленном оборудовании, объеме поставки, статусе проверки и коммерческом предложении.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин может обрабатывать TEL MARK 8?
В представленном каталоге указана система для 6-дюймовых и 8-дюймовых пластин. Необходимо проверить установленное оборудование для обработки пластин на соответствие требуемому размеру.
Что означает указанная конфигурация 2C+2D?
В описании товара продавца указаны модули процесса нанесения покрытия и проявления. Точное количество модулей, их компоновка и условия эксплуатации должны быть подтверждены при осмотре.
Можно ли установить MARK 8 на имеющийся шаговый двигатель?
Установка зависит от размера пластины, стандартов кассет, интерфейса между дорожкой и шаговым двигателем, программного обеспечения и компоновки помещения. Совместимость следует оценить для конкретного экспонирующего устройства.
Что следует проверить перед покупкой подержанного фотоаппарата MARK 8?
Важные проверки включают в себя проверку механизма переноса пластин, вращающихся двигателей, чашек для нанесения покрытия и проявления, термопластин, подачи химикатов, контроля температуры, блокировок безопасности и системного программного обеспечения.
