Plasma-reinigingsapparatuur

Plasmareinigingsmachines

Een plasmareinigingsmachine verwijdert geselecteerde oppervlakteverontreinigingen en activeert wafers, leadframes, substraten en verpakte componenten vóór cruciale assemblagestappen. Bekijk de beschikbare vacuüm-, batch- en automatische plasmareinigingssystemen voor chipbevestiging, draadverbindingen, onderlaagvorming, spuitgieten en wafer-level packaging.

Voorbereiding voor hechting

Verbeter de gereedheid van het oppervlak

Bereid leadframes, substraten en verpakkingsoppervlakken voor vóór het bevestigen van de chip of het verbinden van draden, wanneer verontreiniging de processtabiliteit kan beïnvloeden.

Hechtingsondersteuning

Ondersteuning van bevochtiging en inkapseling

Activeer oppervlakken vóór het aanbrengen van onderlaag, lijm, gieten of coaten, aangezien oppervlakte-energie de materiaalstroom en hechting beïnvloedt.

Productie-integratie

Passende batch-, strip- of waferverwerking

Selecteer de kamer en de automatisering op basis van het daadwerkelijke productformaat, de beoogde doorvoer en de daaropvolgende productiestap.

Begin met het procesprobleem.

Wat gebeurt er na een plasmabehandeling?

De meeste klanten gaan pas op zoek naar een plasmareiniger als er een probleem met hechting, bevochtiging of adhesie optreedt. De snelste manier om de juiste apparatuur te vinden, is door het product, de vermoedelijke oppervlakteconditie en de volgende stap te bepalen.

Geef aan of het om wafers, strips, leadframes, substraten of verpakte componenten gaat, en of er een behandeling nodig is vóór het bevestigen van de chip, draadverbindingen, onderlaag, gieten of coaten.

Plasmabehandeling kan bepaalde organische verontreinigingen verwijderen en de oppervlakte-energie verhogen, maar het is geen universeel alternatief voor het verwijderen van deeltjes, ionenreiniging of natte reiniging van zware resten.
01 / BOND

Zwakke of instabiele binding

Controleer de plasmareiniging vóór het bevestigen van de chip of het verbinden van draden wanneer verontreiniging van de pad, leadframe of het substraat de hechting en procesconsistentie kan beïnvloeden.

02 / BEVOCHTIGING

Langzame onderlaag of bevochtiging van de lijm

Oppervlakteactivering kan helpen om onderlaagvulling, lijm of coating gelijkmatiger te verspreiden wanneer slechte bevochtiging verband houdt met oppervlakte-energie of organische resten.

03 / LIJSTWERK

Risico op delaminatie of inkapseling

Overweeg een plasmabehandeling vóór het vormen of inkapselen wanneer een betere voorbereiding nodig is voor de hechting tussen het oppervlak van de verpakking en het beschermende materiaal.

04 / WLP

Oppervlaktevoorbereiding op waferniveau

Controleer bij wafer- en paneelprocessen de apparaatgevoeligheid, de dragermethode, de uniformiteit en of de vereiste behandeling compatibel is met het daadwerkelijke plasmaplatform.

Beschikbare apparatuur

Bekijk plasma-reinigingsapparatuur

Bekijk de Eachines plasmareinigers die momenteel in deze categorie worden aangeboden. Open de productpagina om het beschikbare model te bekijken en controleer vervolgens de daadwerkelijke kamer, plasmabron, gasregelaars, vacuümpomp, transportsysteem, software en meegeleverde accessoires voordat u bestelt.

Heeft u een specifieke vacuümplasmareiniger, automatisch stripsysteem of wafer-level platform nodig? Stuur ons de fabrikant, het model, het productformaat en de gewenste uitvoering voor een gerichte beschikbaarheidscontrole.
Apparatuurroute

Batch-, automatische strip- of waferniveau-plasma?

De machineroute moet afgestemd zijn op de productdrager, het productievolume en de vereiste oppervlaktebehandeling. Apparatuur met vergelijkbare plasmaspecificaties kan alsnog ongeschikt zijn als de kamer of het transportsysteem de daadwerkelijke productstroom niet aankan.

01

Flexibele batch vacuüm plasma reiniger

+

Batchvacuümsystemen ondersteunen gemengde producten, procesontwikkeling en productie in kleine tot middelgrote volumes met behulp van trays, rekken, dragers, leadframes, verpakkingen of wafers.

Bevestigen: kamerinhoud, elektrode-opstelling, laadinrichting, plasmabron, gaskanalen, pomp en receptregeling.

02

Automatisch strip- of magazijnplasmasysteem

+

Geautomatiseerde strip- en magazijnsystemen zijn ontworpen voor herhaalbare halfgeleiderproductie, waarbij handling, receptcontrole en traceerbaarheid onderdeel uitmaken van de lijn.

Bevestigen: Stripafmetingen, magazijntype, transportrichting, cyclusdoel, communicatieprotocol en configuratie van lader/losser.

03

Inline substraat- of printplaatplasmareiniger

+

Inline-systemen kunnen substraten of elektronische assemblages behandelen vóór coating-, bonding- of doseerprocessen, zonder de productiestroom te onderbreken.

Bevestigen: paneelafmetingen, transportbandhoogte, behandelingsuniformiteit, lijnsnelheid, productdoorvoer en interface tussen boven- en onderstroom.

04

Wafer- en wafer-level verpakkingsplatform

+

Systemen op waferniveau vereisen een nauwkeurigere controle van de wafergrootte, de dragermethode, de randbescherming, de blootstelling van de achterzijde, de uniformiteit van de behandeling en de gevoeligheid van het apparaat.

Bevestigen: wafer- of paneelgrootte, drager, laadpoort of cassette, procesuniformiteit, plasmamodus en toegestane ionen- of UV-blootstelling.

Productafhandeling

Kies de plasmareiniger die bij het productformaat past.

De kamer en de automatisering moeten afgestemd zijn op het daadwerkelijke product. Plasma-capaciteit alleen garandeert niet dat een machine de vereiste strip, wafer, substraat of drager kan verwerken.

ProductformaatTypische route voor apparatuurWat te bevestigen
Leadframes, strips en magazijnen

IC-, discrete, vermogens- en sensorpakketten.

Batch- of automatische stripplasma-installatie

Stripbreedte, magazijntype, spoed, elektrodeafstand, productspeling, transportrichting en cyclustijd.

Wafers en wafer-level pakketten

WLP, geavanceerde verpakking en voorbereiding van het waferoppervlak.

Wafer-/paneelplasmaplatform

Wafer- of paneelgrootte, drager, randbescherming, uniformiteit, blootstelling van de achterzijde en apparaatgevoeligheid.

Substraten en printplaatassemblages

Voorbereiding vóór het aanbrengen, hechten of coaten.

Inline of batch vacuümplasma

Paneelafmetingen, behandelingsgebied, transportbandinterface, bevestigingsmaterialen, lijnsnelheid en vervolgproces van het materiaal.

Gemengde dragers en procesontwikkeling

Onderzoek en ontwikkeling, kwalificatie en flexibele productie.

Flexibel batchvacuümsysteem

Rackontwerp, monsterhouder, receptflexibiliteit, kruisbesmettingspreventie, gasopties en onderhoudstoegang.

Offerte-inputs

Wat we nodig hebben om de apparatuur te matchen

Je hebt geen kant-en-klaar plasma-recept nodig voordat je een machine aanvraagt. Een nuttige review begint met het product, het vervolgproces en het gewenste resultaat van de oppervlaktebehandeling.

Deel de reeds beschikbare informatie. Zo kunnen we vaststellen welke details met betrekking tot de kamer, gasleiding, plasmabron, handlingsysteem en automatisering nog bevestiging behoeven.

Product- en laadformaat

Wafer, strip, leadframe, substraat, paneel, drager, magazijn of verpakt apparaat, inclusief afmetingen en laadrichting.

Oppervlakteobjectief

Selectieve verwijdering van resten, reductie van oxiden, oppervlakteactivering, verbeterde bevochtiging of voorbereiding vóór hechting, onderlaag, vorming of coating.

Materiaal- en apparaatgevoeligheid

Identificeer blootgestelde metalen, polymeren, optische oppervlakken, MEMS-structuren of andere materialen die de blootstelling aan ionen, warmte of UV-straling kunnen beperken.

Productie en traceerbaarheid

Batchhoeveelheid, cyclusdoel, receptopslag, barcode, registratie, SECS/GEM en inline communicatievereisten.

Nutsvoorzieningen en installatie

Beschikbare procesgassen, elektriciteitsvoorziening, perslucht, koeling, vacuümafvoer, vloeroppervlak en lokale veiligheidsvoorschriften.

Review van gebruikte apparatuur

Controleer het daadwerkelijke plasmasysteem, niet alleen de modelnaam.

Hetzelfde plasmareiniger-model kan verschillende kamers, RF-generatoren, elektroden, gasverdeelstukken, pompen, software en automatiseringsmodules hebben. In een offerte moet worden vermeld welke machine daadwerkelijk wordt geleverd.

01 / IdentiteitModel, bouwjaar en serienummer

Bevestig het exacte platform, het bouwjaar, de serienummers en de huidige locatie.

02 / ProceshardwareKamer, RF-bron en elektroden

Bepaal de afmetingen van de kamer, de elektrodenopstelling, de RF-frequentie en de vermogensconfiguratie.

03 / Gas & VacuümGasleidingen, MFC's en pomp

Controleer de gaskanalen, debietregelaars, het pompmodel, de spoelinrichting en de afvoerroute.

04 / AutomatiseringLader, software en communicatie

Controleer de bedieningsmodules, receptsoftware, licenties, barcodes, logboekregistratie en fabrieksinterfaces.

05 / ConditieReiniging en onderhoud van de behandelkamer

Controleer de slijtage van de elektroden, afzettingen in de kamer, de onderhoudshistorie van de pomp, de afdichtingen, de kleppen en de omvang van de revisie.

06 / BezorgingArmaturen, accessoires en nutsvoorzieningen

De lijst bevatte rekken, boten, dragers, handleidingen, reserveonderdelen, transformatoren en installatie-eisen.

Veelgestelde vragen

Veelgestelde vragen over de selectie van een plasmareiniger

Deze vragen helpen bij het onderscheiden van de apparatuurcategorie, het procesverloop en de daadwerkelijke configuratie voordat een offerte wordt opgesteld.

Kan een plasmareiniger de draadverbinding of chipbevestiging verbeteren?

Het kan nuttig zijn wanneer bepaalde organische verontreiniging, oxidatie of een lage oppervlakte-energie het proces beïnvloeden. Het productmateriaal, de bron van de verontreiniging en de hechtingsmethode moeten worden beoordeeld voordat de apparatuur of het recept wordt gekozen.

Wat is het verschil tussen batch- en automatische plasmareiniging?

Batchsystemen laden producten in een kamer met behulp van trays, rekken of dragers en worden vaak gekozen vanwege hun flexibiliteit. Automatische systemen voegen daar strip-, magazijn-, wafer- of transportbandverwerking aan toe voor herhaalbare productie en fabrieksintegratie.

Hoe kies ik zuurstof, argon of een ander procesgas?

Het gas is afhankelijk van de verontreiniging, het oppervlaktemateriaal, de gewenste reactie en de gevoeligheid van het product. De compatibiliteit met de machine hangt ook af van het geïnstalleerde gasverdeelsysteem, de debietregelaars, de materialen van de reactiekamer, de veiligheidsvoorzieningen en het afzuigsysteem.

Vervangt plasmareiniging natte reiniging?

Nee. Plasma is effectief voor veel organische resten en oppervlakte-activeringstaken, maar voor deeltjes, ionische verontreiniging en zware afzettingen kan nog steeds een natte of mechanische reinigingsprocedure nodig zijn.

Wat moet je controleren bij een gebruikte plasmareiniger?

Controleer het model, de kamer, de RF-generator, de elektroden, de gasregelaars, de vacuümpomp, de lader, de software, de procesgeschiedenis, de reinheid van de kamer, de onderhoudsgegevens, de meegeleverde hulpstukken en de vereisten voor de fabrieksvoorzieningen.

Welke informatie is nodig voor een offerte voor een plasmareiniger?

Vermeld het beoogde product, de afmetingen, de mate van verontreiniging of oppervlakteverontreiniging, het volgende proces, de gewenste automatisering, de vereiste gastoevoer, het productievolume, de staat van de apparatuur en het land van bestemming. Een modelnummer is nuttig, maar niet verplicht.

Vertel ons over het product en de volgende stappen.

Stuur ons het productformaat, het oppervlaktedoel, het volgende proces, het productievolume, de gewenste staat van de apparatuur en de bestemming. Wij bekijken de beschikbare plasmareinigingsmachines en de configuratiepunten die nog bevestiging behoeven.

Vraag een offerte aan voor een plasmareiniger