ThinkLaser SigmaDSC Automatisiertes Hartmarkierungssystem für Halbleiterwafer

Entdecken Sie das automatisierte Wafer-Lasermarkierungssystem ThinkLaser SigmaDSC für die dauerhafte Halbleiter-Wafermarkierung.

Das ThinkLaser SigmaDSC ist ein automatisiertes Lasermarkierungssystem, das für die dauerhafte Identifizierung und Rückverfolgbarkeitsmarkierung von Halbleiterwafern entwickelt wurde.

Im Gegensatz zu herkömmlichen Lasergravurmaschinen integriert die SigmaDSC präzise Lasermarkierung, optische Waferausrichtung, automatisiertes Waferhandling und Produktionsdatenkontrolle in eine auf Halbleiter ausgerichtete Plattform.

Das System erzeugt dauerhafte Punktmatrixmarkierungen direkt auf der Waferoberfläche. Diese Markierungen helfen Herstellern, die Waferidentifizierung während der gesamten Produktions-, Inspektions-, Handhabungs- und Logistikprozesse sicherzustellen.

Der ThinkLaser SigmaDSC eignet sich für Halbleiterfabriken, Siliziumwaferhersteller, Gießereien, Wafer-Rückgewinnungsanlagen, Forschungslabore und andere Produktionsumgebungen, die eine zuverlässige Wafer-Identifizierung erfordern.

ThinkLaser SigmaDSC Wafer Laser Marking Machine

Permanente Halbleiter-Wafer-Identifizierung

Halbleiterwafer durchlaufen zahlreiche Verarbeitungs-, Inspektions- und Materialhandhabungsstufen. Eine zuverlässige Identifizierung ermöglicht die Zuordnung jedes Wafers zu seiner Fertigungscharge, Prozesshistorie, Inspektionsdaten und Produktionsaufzeichnungen.

Das SigmaDSC bringt permanente Lasermarkierungen direkt auf der Waferoberfläche an, ohne Etiketten, Tinte oder andere temporäre Kennzeichnungsmethoden zu verwenden.

Typische Bewertungsinhalte können Folgendes umfassen:

  • Wafer-Identifikationsnummern

  • Losnummern

  • Batch-Informationen

  • Seriennummern

  • Produktionsverfolgungscodes

  • Punktmatrixzeichen

  • Wafer-ID-Codes

  • Kundenspezifische Identifikationsformate

  • Maschinenlesbare Markierungsstrukturen

Die permanente Waferkennzeichnung hilft Herstellern, die Rückverfolgbarkeit zu verbessern und das Risiko zu verringern, dass Wafer verwechselt, falsch verarbeitet oder mit falschen Produktionsdaten verknüpft werden.

Hartmarkierung von Halbleiterwafern

Der ThinkLaser SigmaDSC ist primär für die dauerhafte Punktmatrix-Hartmarkierung konzipiert.

Durch die Hartmarkierung werden kontrollierte Laserpunkte auf der Waferoberfläche erzeugt. Diese Punkte bilden Zeichen, Zahlen und andere Identifikationsmuster, die während der Halbleiterfertigung und der Waferhandhabung lesbar bleiben.

Das System unterstützt verschiedene Markierungslayouts, darunter:

  • geradlinige Markierung

  • Bogenförmige Markierung

  • Mehrere Markierungsgruppen

  • Unterschiedliche Markierungsausrichtungen

  • Wafer-Randidentifizierung

  • Individuelle Charakterarrangements

Markierungspositionen und -formate können entsprechend dem Produktionsrezept und den Anforderungen an die Waferidentifizierung programmiert werden.

Programmierbare Markierungstiefe

Der SigmaDSC ermöglicht die programmierbare Steuerung der Lasermarkierungstiefe.

Die Markierungstiefe kann je nach Wafermaterial, Markierungsformat, Prozessanforderungen und gewünschtem Grad an Beständigkeit angepasst werden.

Repräsentative Konfigurationen unterstützen Markierungstiefen von ca. 5 μm bis 110 μm. Der tatsächlich verfügbare Bereich hängt von der installierten Laserquelle, dem optischen System, der Software und der Gerätekonfiguration ab.

Programmierbare Tiefensteuerung unterstützt Folgendes:

  • Konsequente Markierungsbildung

  • Permanente Wafer-Kennzeichnung

  • Wiederholbare Markierungsergebnisse

  • Kontrollierte Laserpenetration

  • Unterschiedliche Anforderungen an Waferprodukte

  • Stabile Ergebnisse über alle Produktionschargen hinweg

Die endgültigen Markierungsparameter sollten unter Verwendung des vorgesehenen Wafermaterials und des nachgelagerten Produktionsprozesses getestet und qualifiziert werden.

Konfigurierbare Laserfleckgröße

Das SigmaDSC kann mit verschiedenen Laserfleckgrößen für unterschiedliche Anforderungen an die Wafermarkierung konfiguriert werden.

Je nach installierter optischer Konfiguration können die typischen Spotdurchmesser zwischen etwa 50 μm und 110 μm liegen.

Unterschiedliche Spotgrößen können verwendet werden, um Variationen in folgenden Bereichen zu unterstützen:

  • Charakterdimensionen

  • Punktmatrixdichte

  • Markierungstiefe

  • Wafer-Oberflächenzustand

  • Lesbarkeit markieren

  • Standards zur Kundenidentifizierung

  • Produktionsanforderungen

Bei einigen Konfigurationen kann die Spotgröße per Software ausgewählt werden, sodass die Bediener die Markierungsparameter ändern können, ohne das gesamte optische System austauschen zu müssen.

Gleichmäßige Punktform und Markierungsqualität

Eine zuverlässige Waferidentifizierung hängt von der Qualität und Konsistenz jedes einzelnen lasererzeugten Punktes ab.

Das SigmaDSC kombiniert eine stabile Laserquelle, Präzisionsoptik und kontrollierte Prozessparameter, um eine gleichbleibende Punkttiefe, einen gleichmäßigen Punktdurchmesser und eine gleichmäßige Punktform zu gewährleisten.

Eine gleichmäßige Punktbildung kann Folgendes verbessern:

  • Lesbarkeit der Zeichen

  • Maschinelle Bilderkennung

  • Markierungswiederholbarkeit

  • Prozessstabilität

  • Wafer-Rückverfolgbarkeit

  • Qualitätskontrolle der Produktion

  • Erkennung von Wafer-Identifikationscodes

Die Markierungsqualität hängt vom Wafermaterial, dem Oberflächenzustand, den Laserparametern, der Spotgröße, der Markierungstiefe und dem Zustand der Anlage ab.

Automatisierte Waferhandhabung

Der ThinkLaser SigmaDSC kombiniert Lasermarkierung mit automatisiertem Waferladen, Ausrichten, Positionieren und Entladen.

Eine typische Gerätekonfiguration kann Folgendes umfassen:

  • Hochauflösender optischer Wafer-Ausrichter

  • Automatisierter Wafer-Handling-Roboter

  • Pick-and-Place-Transfermechanismus

  • Einzel- oder Doppelroboter-Endeffektor

  • Mehrere Kassettenladeöffnungen

  • Automatisches Be- und Entladen von Wafern

  • Optionale Wafer-Wendehardware

  • Programmierbare Jobdateiverwaltung

  • Integrierte Gerätesteuerungsschnittstelle

Die automatisierte Handhabung trägt dazu bei, den direkten Kontakt des Bedieners mit den Wafern zu reduzieren und eine gleichmäßigere Waferpositionierung während der Produktion zu unterstützen.

Die tatsächliche Wafer-Handling-Konfiguration kann je nach Herstellungsjahr des Systems, installierten Optionen und ursprünglicher Produktionsanwendung variieren.

Unterstützung mehrerer Wafergrößen

Die SigmaDSC-Plattform kann für verschiedene Halbleiterwafergrößen konfiguriert werden.

Je nach installierten Kassettenanschlüssen, Roboterhardware, Ausrichtungs- und Handhabungskomponenten können typische Konfigurationen Wafer von 100 mm bis 300 mm unterstützen.

Mögliche Wafergrößen sind:

  • 100-mm-Wafer

  • 125-mm-Wafer

  • 150 mm Wafer

  • 200 mm Wafer

  • 300 mm Wafer

Nicht jedes System unterstützt alle Wafergrößen. Käufer sollten die tatsächlich installierte Handhabungshardware überprüfen, bevor sie eine gebrauchte oder generalüberholte Maschine erwerben.

Wichtige Punkte, die zu bestätigen sind:

  • Kassettentyp

  • Kassettenanschlussgröße

  • Roboter-Endeffektor

  • Wafer-Ausrichtungsfähigkeit

  • Waferdickenbereich

  • Waferkantenprofil

  • Wafer-Flip-Fähigkeit

  • Software-Rezeptunterstützung

Optische Wafer-Ausrichtung

Für eine präzise Markierungsplatzierung ist eine genaue Positionierung und Ausrichtung des Wafers erforderlich.

Das SigmaDSC verwendet ein optisches Wafer-Ausrichtungssystem, um die Wafer-Orientierung zu ermitteln und die korrekte Markierungsreferenz vor der Laserbearbeitung festzulegen.

Der Ausrichtungsprozess hilft bei der Kontrolle von:

  • Markierungsposition

  • Markierungsorientierung

  • Abstand vom Waferrand

  • Wiederholbarkeit zwischen Wafern

  • Platzierung mehrerer Notengruppen

  • Ausrichtung an Waferflächen oder Kerben

Repräsentative Konfigurationen können nach der Waferausrichtung ein Markierungsfeld von etwa 50 × 50 mm ergeben.

Die tatsächliche Positionierungsleistung hängt vom Zustand des Ausrichtsystems, dem Wafertyp, der Softwarekonfiguration und dem Wartungsstatus ab.

Hochdurchsatz-Wafermarkierung

Das SigmaDSC ist für die automatisierte Produktion und nicht für die manuelle Markierung einzelner Wafer konzipiert.

Das integrierte Wafer-Roboter-, Ausrichtungs- und Lasermarkierungssystem ermöglicht es, Wafer mit minimalem Bedienereingriff durch eine koordinierte Bearbeitungssequenz zu bewegen.

Mit typischen Produktionskonfigurationen kann unter bestimmten Markierungsbedingungen ein Durchsatz von bis zu ca. 240 Wafern pro Stunde erreicht werden.

Der tatsächliche Durchsatz hängt ab von:

  • Anzahl der Zeichen

  • Punktmatrixformat

  • Markierungstiefe

  • Wafergröße

  • Anzahl der Bewertungsgruppen

  • Wafer-Ausrichtungszeit

  • Roboterkonfiguration

  • Lade- und Entladesequenz

  • Produktionsrezept

  • Gerätezustand

Die endgültige Produktionsleistung sollte anhand des tatsächlichen Markierungsmusters und der Anforderungen an die Waferhandhabung bewertet werden.

Produktionsdaten- und Rezeptverwaltung

Das SigmaDSC verwendet programmierbare Jobdateien zur Steuerung von Wafermarkierungsprozessen.

Die Bediener können verschiedene Rezepturen für unterschiedliche Waffelprodukte, Markierungslayouts und Kundenanforderungen erstellen und speichern.

Je nach installierter Softwareversion unterstützt das Gerät möglicherweise Folgendes:

  • Rezeptspeicher kennzeichnen

  • Auftragsdateiverwaltung

  • Zeichenformatauswahl

  • Markierungstiefeneinstellungen

  • Spotgrößenauswahl

  • Auswahl der Wafergröße

  • Markierungspositionseinstellungen

  • Produktionsmengenverfolgung

  • Gerätestatusüberwachung

  • Fehler- und Alarmprotokolle

  • Prozessdatenprotokollierung

Die Rezeptverwaltung trägt zur Verbesserung der Konsistenz bei, wenn dasselbe Waffelprodukt wiederholt hergestellt wird.

Laserüberwachung im geschlossenen Regelkreis

Das SigmaDSC kann eine geschlossene Laserüberwachung und eine automatische Leistungsdatenaufzeichnung umfassen.

Diese Funktionen helfen den Produktionsteams, den Laserbetrieb zu überwachen und Veränderungen in der Markierungsleistung zu erkennen.

Systemdaten können zur Unterstützung folgender Zwecke verwendet werden:

  • Laserleistungsüberwachung

  • Prozessstabilitätsanalyse

  • Vorbeugende Wartung

  • Fehlerdiagnose

  • Produktionsdokumentationsverwaltung

  • Untersuchung der Notenqualität

  • Statistische Prozesskontrolle

Die verfügbaren Überwachungsfunktionen hängen von der installierten Steuerung, der Softwareversion und der Laserkonfiguration ab.

Integration der Fabrikautomation

Der ThinkLaser SigmaDSC kann für die Integration in Automatisierungssysteme von Halbleiterfabriken konfiguriert werden.

Zu den verfügbaren Kommunikationsfunktionen gehört unter anderem die SECS II/GEM-Konnektivität, die es kompatiblen Host-Systemen in der Fabrik ermöglicht, Informationen mit der Wafer-Lasermarkierungsmaschine auszutauschen.

Mögliche Funktionen der Fabrikintegration umfassen:

  • Gerätestatusüberwachung

  • Produktionsjobverlagerung

  • Rezeptauswahl

  • Verarbeitungsbefehlssteuerung

  • Alarmmeldung

  • Produktionsdatenerfassung

  • Wafer-Tracking

  • Wirtskommunikation

  • Anlagenmanagement auf Werksebene

Die Kommunikationsschnittstelle und die Softwarelizenz sollten vor dem Kauf eines gebrauchten Systems überprüft werden.

Laser- und optische Konfiguration

Repräsentative SigmaDSC-Systeme verwenden beispielsweise eine diodengepumpte, gütegeschaltete Nd:YLF-Laserquelle mit einer Wellenlänge von etwa 1053 nm.

Eine typische Laser- und Optikkonfiguration kann Folgendes umfassen:

  • Diodengepumpte Laserquelle

  • Q-geschaltete Impulssteuerung

  • Nd:YLF-Lasertechnologie

  • Flachfeld-Fokussieroptik

  • Konfigurierbare Laserfleckgröße

  • Programmierbare Markierungstiefe

  • Leistungsüberwachung im geschlossenen Regelkreis

  • Präzisionskomponenten für die Strahlführung

Das genaue Lasermodell, die optische Hardware und die Betriebsbedingungen können von Gerät zu Gerät variieren.

Vor dem Kauf sollten Käufer Folgendes überprüfen:

  • Lasermodell

  • Laserherstellungsjahr

  • Betriebsstunden des Lasers

  • Laserausgangszustand

  • Strahlqualität

  • Zustand der optischen Linse

  • Markierungstiefenfähigkeit

  • Spotgrößenkonfiguration

  • Zustand des Kühlsystems

  • Controller-Kompatibilität

Unterstützte Wafermaterialien

Der ThinkLaser SigmaDSC ist primär für die Markierung von Siliziumwafern vorgesehen.

Beispielhafte Anwendungsfälle sind beispielsweise:

  • Polierte Siliziumwafer

  • Unpolierte Siliziumwafer

  • Prime Siliziumwafer

  • Testwafer

  • Monitor-Wafer

  • Wiederverwertete Waffeln

  • Prozessentwicklungs-Wafer

Die Bewertungsergebnisse können je nach folgenden Faktoren variieren:

  • Wafermaterial

  • Oberflächenbeschaffenheit

  • Waferbeschichtung

  • Laserwellenlänge

  • Laserleistung

  • Pulseinstellungen

  • Markierungstiefe

  • Spotdurchmesser

  • Nachgelagerte Verarbeitungsbedingungen

Vor dem Einsatz der Maschine für Spezialsubstrate, Verbindungshalbleiterwafer oder nicht standardmäßige Wafermaterialien wird eine Anwendungsprüfung empfohlen.

Typische Anwendungen

Der ThinkLaser SigmaDSC kann in Halbleiterproduktionsprozessen eingesetzt werden, die eine permanente Wafer-Level-Identifizierung erfordern.

Siliziumwafer-Herstellung

Siliziumwafer-Hersteller können Identifikationscodes anbringen, bevor die Wafer in nachgelagerte Halbleiterfertigungsprozesse gelangen.

Die permanente Kennzeichnung hilft dabei, jeden Wafer mit seiner Fertigungscharge, den Materialspezifikationen, den Inspektionsergebnissen und den Produktionsaufzeichnungen zu verknüpfen.

Rückverfolgbarkeit der Halbleiterfertigung

Halbleiterfabriken können die Waferidentifikation nutzen, um jeden physischen Wafer zuzuordnen:

  • Prozessrezepte

  • Produktionsgeschichte

  • Inspektionsdaten

  • Geräteaufzeichnungen

  • Informationen zur Produktionscharge

  • Ergebnisse der Qualitätskontrolle

Wafer-Chargenidentifizierung

Die Maschine kann permanente Chargen-, Los- und Seriennummerninformationen auf Wafer aufbringen, um die Produktionsverfolgung zu verbessern.

Wafer-Rückgewinnungsprozesse

Anlagen zur Wafer-Rückgewinnung können eine dauerhafte Markierung verwenden, um eingehende Wafer, Verarbeitungsstufen und fertige Wafer-Chargen zu kennzeichnen.

Forschung und Entwicklung

Halbleiterforschungszentren und Prozessentwicklungslabore können die automatisierte Markierung nutzen, um Proben, Experimente und Qualifizierungswafer zu identifizieren.

Pilotproduktion

Das System kann Pilotproduktionslinien unterstützen, die eine wiederholbare Waferidentifizierung und automatisierte Handhabung erfordern.

Waferverarbeitung in großen Stückzahlen

Die automatisierte Kassettenbeladung und der robotergestützte Wafertransfer machen das System für wiederholte Produktionsmarkierungsaufgaben geeignet.

Hauptmerkmale der Ausrüstung

  • Automatisierte Lasermarkierung von Halbleiterwafern

  • Permanente Markierung auf Hartmetallscheiben

  • Punktmatrix-Zeichenmarkierung

  • geradlinige Markierung

  • Bogenförmige Markierung

  • Programmierbare Markierungstiefe

  • Konfigurierbare Laserfleckgröße

  • Optische Wafer-Ausrichtung

  • Automatische Waferbeladung

  • Automatisches Wafer-Entladen

  • Robotergestützter Wafertransfer

  • Mehrere Kassettenanschlusskonfigurationen

  • Wafer-ID-Markierung

  • Speicher für Produktionsrezepte

  • Auftragsdateiverwaltung

  • Prozessdatenprotokollierung

  • Gerätealarmprotokolle

  • Fabrikautomatisierung

  • Rückverfolgbarkeit der Halbleiterproduktion

  • Unterstützung für mehrere Wafergrößen

  • Geeignet für polierte und unpolierte Siliziumwafer

Repräsentative technische Spezifikationen

Die folgenden Spezifikationen sind nur beispielhaft. Die tatsächliche Maschinenkonfiguration sollte vor dem Kauf überprüft werden.

  • Markierungsverfahren: Punktmatrix-Laser-Hartmarkierung

  • Markierungsanordnung: Gerade Linie oder Bogen

  • Wafergröße: Ungefähr 100 mm bis 300 mm, abhängig von der Konfiguration

  • Wafermaterial: Poliertes und unpoliertes Silizium

  • Punktdurchmesser: Ungefähr 50 μm bis 110 μm

  • Markierungstiefe: Ungefähr 5 μm bis 110 μm

  • Maximale Zeichenanzahl: Konfigurationsabhängig

  • Markierungsfeld: Ungefähr 50 × 50 mm

  • Wafer-Ausrichtung: Optischer Wafer-Ausrichter

  • Wafertransport: Automatisierter Pick-and-Place-Roboter

  • Lasertyp: Diodengepumpter, gütegeschalteter Nd:YLF-Laser

  • Laserwellenlänge: Ungefähr 1053 nm

  • Werkskommunikation: SECS II/GEM, konfigurationsabhängig

  • Produktionsdurchsatz: Bis zu ca. 240 Wafer pro Stunde unter bestimmten Bedingungen

  • Geräteanwendung: Identifizierung und Rückverfolgbarkeit von Halbleiterwafern

Die tatsächliche Leistung hängt vom Laser, der Optik, der Software, dem Wafer-Handling-System und dem Produktionsprozess ab.

Zu bestätigende Gerätekonfiguration

ThinkLaser SigmaDSC-Systeme können je nach Herstellungsjahr, Wafergröße und ursprünglicher Produktionsanwendung unterschiedliche Konfigurationen aufweisen.

Vor dem Kauf sollten Käufer Folgendes bestätigen:

  • Herstellungsjahr der Ausrüstung

  • Maschinenseriennummer

  • Aktueller Betriebszustand

  • Unterstützte Wafergrößen

  • Unterstützte Waferdicke

  • Kassettenanschlusskonfiguration

  • Kassettenkompatibilität

  • Robotertyp

  • Roboter-Endeffektor

  • Wafer-Aligner-Zustand

  • Wafer-Flipping-Option

  • Lasermodell

  • Betriebsstunden des Lasers

  • Laserausgangszustand

  • Zustand des optischen Systems

  • Verfügbare Spotgrößen

  • Markierungstiefenfähigkeit

  • Markierungsformatfähigkeit

  • Computerkonfiguration

  • Betriebssystemversion

  • Steuerungssoftwareversion

  • Rezeptverfügbarkeit

  • SECS II/GEM-Verfügbarkeit

  • Hardware für die Fabrikkommunikation

  • Wartungshistorie

  • Beiliegende Handbücher

  • Mitgeliefertes Zubehör

  • Mitgelieferte Ersatzteile

  • Leistungsbedarf

  • Kühlbedarf

  • Abgasanforderungen

  • Druckluftbedarf

  • Deinstallation status

  • Verpackungs- und Versandumfang

Die Modellbezeichnung allein gibt keine Auskunft über die vollständige Wafergröße, den Laser, die Handhabung oder die Softwarekonfiguration einer einzelnen Maschine.

Geräteinspektion und Lieferdienstleistungen

Zu den verfügbaren Dienstleistungen gehören unter anderem:

  • Beschaffung gebrauchter Halbleiteranlagen

  • Gerätezustandsprüfung

  • Überprüfung der Wafer-Größenkonfiguration

  • Laserquelleninspektion

  • Inspektion des optischen Systems

  • Wafer-Handler-Bewertung

  • Funktionsprüfung des Roboters

  • Wafer-Ausrichterprüfung

  • Softwareversionsprüfung

  • Überprüfung der Kommunikationsschnittstelle

  • Deinstallation coordination

  • Exportverpackung

  • Internationaler Transport

  • Installationskoordination

  • Ersatzteilbeschaffung

  • Technische Beratung

Der endgültige Leistungsumfang hängt vom Zustand der Ausrüstung, dem Standort und den Projektanforderungen ab.

Warum sollten Sie sich für den ThinkLaser SigmaDSC entscheiden?

Der ThinkLaser SigmaDSC ist speziell für die Markierung von Halbleiterwafern und nicht für allgemeine industrielle Gravuren konzipiert.

Die Kombination aus dauerhafter Hartmarkierung, automatisierter Waferhandhabung, optischer Ausrichtung, programmierbarer Markierungstiefe und Produktionsdatenmanagement macht es für Anlagen geeignet, die eine kontrollierte Waferidentifizierung erfordern.

Das System kann Herstellern helfen, die manuelle Waferhandhabung zu reduzieren und gleichzeitig wiederholbare Markierungspositionen, Zeichenformate und Produktionsrezepte beizubehalten.

Es eignet sich besonders für Halbleiterfertigungsumgebungen, in denen die Rückverfolgbarkeit der Wafer, die Automatisierung der Anlagen und die Konsistenz der Kennzeichnung von großer Bedeutung sind.

Häufig gestellte Fragen

Wozu wird der ThinkLaser SigmaDSC verwendet?

Der ThinkLaser SigmaDSC wird verwendet, um Halbleiterwafer mit permanenten Identifikationsmarkierungen für die Produktionsverfolgung, das Chargenmanagement und die Rückverfolgbarkeit auf Wafer-Ebene zu versehen.

Ist die SigmaDSC eine Maschine für harte Markierungen?

Ja. Der SigmaDSC ist primär für die dauerhafte Punktmatrix-Hartmarkierung auf Halbleiterwafern konzipiert.

Welche Wafergrößen kann das SigmaDSC-System verarbeiten?

Je nach installierter Handhabungskonfiguration kann die Maschine Wafergrößen von etwa 100 mm bis 300 mm verarbeiten.

Kann die Maschine 300-mm-Wafer verarbeiten?

Einige SigmaDSC-Konfigurationen unterstützen möglicherweise 300-mm-Wafer. Die Kassettenanschlüsse, der Roboter, der Aligner und die Softwarekonfiguration müssen überprüft werden.

Lässt sich die Markierungstiefe einstellen?

Ja. Die Markierungstiefe kann entsprechend dem Wafermaterial und den Produktionsanforderungen programmiert werden.

Welchen Lasertyp verwendet das System?

Repräsentative Systeme verwenden beispielsweise einen diodengepumpten, gütegeschalteten Nd:YLF-Laser mit einer Wellenlänge von ungefähr 1053 nm.

Kann es polierte Siliziumwafer markieren?

Repräsentative Konfigurationen können sowohl polierte als auch unpolierte Siliziumwafer unterstützen. Anwendungstests werden für den vorgesehenen Wafertyp empfohlen.

Unterstützt das System die automatisierte Waferhandhabung?

Ja. Die Maschine kann das Laden von Waferkassetten, den robotergestützten Transfer, die optische Ausrichtung, die Lasermarkierung und das automatische Entladen integrieren.

Lässt sich das System mit der Fabrikautomation verbinden?

Einige Konfigurationen unterstützen möglicherweise die SECS II/GEM-Kommunikation zur Verbindung mit kompatiblen Hostsystemen in Halbleiterfabriken.

Was sollte vor dem Kauf eines gebrauchten SigmaDSC überprüft werden?

Käufer sollten die Wafergrößenkonfiguration, den Zustand des Lasers, die Roboterfunktion, die Kassettenanschlüsse, den Wafer-Ausrichter, das optische System, die Softwareversion, die Werksschnittstelle, die Wartungshistorie und das mitgelieferte Zubehör überprüfen.

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