Überkopfplattform aus massivem Granit
Der Bestückungskopf wird von oben ohne Auslegermechanismen gestützt, was dazu beiträgt, die mechanische und thermische Stabilität während der Präzisionsfertigung aufrechtzuerhalten.
Die MRSI-705 ist eine hochpräzise, konfigurierbare Chipbond-Plattform für Epoxid-Chipbefestigung, eutektisches Bonden, Flip-Chip-Montage, In-situ-UV-Härtung, Wafer-Level-Materialhandhabung und komplexe Multi-Chip-Gehäuse. Bitte prüfen Sie die veröffentlichten Spezifikationen, Konfigurationsoptionen und Projektanforderungen, bevor Sie eine Maschine anfordern.
Der MRSI-705 ist ein konfigurierbarer, hochpräziser Die-Bonder, der auf einer massiven Granitplattform basiert. Die Abstützung des Bestückungskopfes von oben vermeidet freitragende Mechanismen und verbessert die thermische und mechanische Stabilität sowie das Setzverhalten.
Die X- und Y-Achse nutzen aktiv gekühlte, eisenlose Linearmotoren mit hochauflösenden Linear-Encodern, während die Z-Achse auf Luftlagertechnik setzt. Diese Architektur ermöglicht die wiederholgenaue Platzierung von Bauteilen, die Hochgeschwindigkeitspositionierung und die kontrollierte Handhabung empfindlicher Halbleiterbauelemente.
Die Plattform lässt sich für Entwicklungs-, Prototypen-, Mischprodukt- oder Produktionsumgebungen konfigurieren. Typische Prozesse umfassen Epoxid-Die-Attach, eutektisches Bonden, Flip-Chip-Platzierung, Thermokompression, In-situ-UV-Härtung und integriertes Dosieren.
Diese Seite konzentriert sich ausschließlich auf die MRSI-705 Modell, technische Spezifikationen und verfügbare KonfigurationenFür eine umfassendere Marken- und Modellvorstellung besuchen Sie unsere Übersicht über das MRSI-Die-Bonder-System.
Die nachfolgenden Spezifikationen basieren auf dem referenzierten technischen Dokument MRSI-705. Abweichungen zwischen einzelnen Maschinen können je nach Produktionsjahr, Software, Werkzeugbanken, Bondköpfen, Materialhandhabungsgeräten und Prozessoptionen auftreten.
| Spezifikation | Veröffentlichter Wert | Bewertungsnotiz |
|---|---|---|
| Plattformstruktur | Solide Granit-Überkopfplattform ohne freitragende Mechanismen | Entwickelt zur Verbesserung der mechanischen und thermischen Stabilität. |
| Platzierungsgenauigkeit | ±5 μm bei 3σ | Die tatsächliche Leistungsfähigkeit sollte durch Kalibrierungs- und Abnahmetests bestätigt werden. |
| Wiederholbarkeit der Platzierung | ±1,5 μm bei 3σ | Die Ergebnisse hängen von den Werkzeugen, der Bauteilgeometrie und dem Maschinenzustand ab. |
| Vermittlungsquote | Bis zu 1.000 U/min | Referenzrate; die tatsächliche Leistung hängt von den Prozessschritten, der Sicht, der Fahrstrecke und dem Materialeinsatz ab. |
| Konfigurierbarer Arbeitsbereich | Ungefähr 700 Quadratzoll. | Die nutzbare Fläche ändert sich je nach installierten Zuführungen, Wafer-Handlern, Stationen und Vorrichtungen. |
| X/Y-Antriebskonstruktion | Eisenlose, kraftfreie, aktiv gekühlte Linearmotoren | Geschlossene Positionsregelung mittels hochauflösender linearer Encoder. |
| X/Y-Encoder-Auflösung | 0,1 μm | Die Encoderauflösung sollte nicht als Platzierungsgenauigkeit interpretiert werden. |
| X/Y-Geschwindigkeit | 1 m/s oder ungefähr 40 Zoll/s | Die maximale Achsengeschwindigkeit entspricht nicht der gesamten Prozesszykluszeit. |
| Z-Achsen-Platzierungsmodus | Platzieren, um Kraft auszuüben oder auf Höhe zu bringen | Der anwendbare Modus hängt vom Rezept und der installierten Kopfkonfiguration ab. |
| Kraftsteuerung | Programmierbar pro Platzierung mit Echtzeit-Rückkopplung im geschlossenen Regelkreis | Unterstützt separate Kraftwerte für verschiedene Komponententypen. |
| Platzierungskraftbereich | 10 g bis 2.000 g | Prüfen Sie, ob Wägezelle, Bondkopf und Kalibrierung den erforderlichen Messbereich abdecken. |
| Achse | Veröffentlichte Reiseberichte | Veröffentlichte Resolution |
|---|---|---|
| X-Achse | 20,00 Zoll / 508 mm | 0,1 μm |
| Y-Achse | 25,00 Zoll / ca. 635 mm | 0,1 μm |
| Z-Achse | 1,25 Zoll / ca. 32 mm | 0,4 μm |
| Theta-Achse | 360°-Drehung | 0.004° |
| Spezifikation | Veröffentlichte Konfiguration | Funktion |
|---|---|---|
| Visuelle Erkennung | Grenzerkennung und Mustererkennung | Lokalisiert die Mittelpunkte, Kanten, Applikationsmerkmale und Substratmarkierungen. |
| Chipausrichtung | Vollständige 360°-Erkennung und -Orientierung | Unterstützt orientierungskritische MMIC-, Laser- und Strahlführungskomponenten. |
| Nach unten gerichtete Kameras | Zwei nach unten gerichtete Kameras mit hoher und niedriger Vergrößerung | Wird zur Inspektion und Ausrichtung von Bauteilen und Substraten verwendet. |
| Aufwärtskamera | Eine nach oben gerichtete Kamera | Unterstützt die Inspektion und Ausrichtung der Unterseite, sofern konfiguriert. |
| Beleuchtung | Programmierbare rote, grüne und blaue Ring- oder Koaxialbeleuchtung | Verbessert den Kontrast bei schwierigen Oberflächen, wie z. B. Goldstrukturen auf Aluminiumoxid. |
| Remote-Prozessansicht | Echtzeit-Netzwerkkamera | Ermöglicht die Fernbeobachtung des Betriebsprozesses. |
| Benutzeroberfläche | Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche | Unterstützt Einrichtung, Produktionsprogrammierung und Prozessbetrieb. |
| Programmierdaten | XML-Datenbank, CAD-Download und Offline-Programmierunterstützung | Ermöglicht die Programmverwaltung und die Integration von Produktionsdaten. |
| Bewegungssteuerung | Bis zu 32 gesteuerte Bewegungsachsen | Eine gemeinsame Steuerung kann Maschinenachsen und Förderbänder verwalten. |
| Rückverfolgbarkeit | Auswahl des Barcode-Programms, Materialrückverfolgbarkeit und Netzwerkanbindung | Die Konfiguration und die Softwareversion müssen auf dem tatsächlichen Gerät überprüft werden. |
| Spezifikation | Veröffentlichte Konfiguration | Fähigkeit |
|---|---|---|
| Doppelte Epoxidharz-Dosierung | Zweikartuschen-Drehverdrängerpumpen oder Zeit-/Druckpumpen | Unterstützt die Materialdosierung mittels Düsenbefestigung, Damm- und Füllsystem sowie Deckelbefestigung. |
| Höhensensor | Dreipunkt-Laserhöhenmessung | Misst die Neigung der Oberfläche vor der Abgabe. |
| Dosierkontrolle | Servomotorsteuerung mit geschlossenem Regelkreis | Verbessert die Kontrolle von Materialvolumen und Klebefuge. |
| Nadelmanagement | Automatische Reinigung, Ausrichtung, Kalibrierung und Grundierung | Verringert den Einrichtungsaufwand und verbessert die Wiederholgenauigkeit zwischen den Mustern. |
| Abgabemuster | Kleine Punkte, Linien und Flächenfüllung | Die geeignete Konfiguration hängt von der Pumpe, der Nadel und der Rheologie des Materials ab. |
| Mindestmenge an Epoxidharz | Ungefähr 0,004 Zoll / 100 μm | Zur Auswahl der passenden Dosier- oder Stempelkonfiguration. |
| Spezifikation | Veröffentlichte Konfiguration | Konfigurationshinweis |
|---|---|---|
| Werkzeuge zum Aufsammeln | Saugaufsauger für Oberflächen | Die Geometrie des Werkzeugs muss den Abmessungen der Matrize, der Oberfläche und der Empfindlichkeit entsprechen. |
| Spannzangentypen | Umfangs-, zweiseitige und vierseitige umgekehrte Pyramiden-Spannzangen | Es können auch kundenspezifische Spannzangenkonstruktionen verwendet werden. |
| Standard-Werkzeugbank | Automatischer Werkzeugwechsler mit 13 Positionen | Es können zusätzliche Werkzeugspeicher installiert werden, um mehr Werkzeuge aufzunehmen. |
| Epoxidstempelwerkzeuge | Aufbewahrt im standardmäßigen 13-Positionen-Werkzeugblock | Aufnahme- und Stanzwerkzeuge sind automatisch austauschbar. |
| Optionale Bondköpfe | Bis zu sechs Platzierungsköpfe | Jeder konfigurierte Kopf kann über eine unabhängige Kraftregelung verfügen. |
| Optionaler Hochleistungs-Turm | Bis zu 12 Werkzeuge mit Werkzeugwechsel im laufenden Betrieb, ohne Zeitaufwand | Dies ist eine separate, optionale Konfiguration, nicht der standardmäßige Werkzeugblock mit 13 Positionen. |
| Spezifikation | Veröffentlichte Kapazität | Konfigurationshinweis |
|---|---|---|
| Waffelpackungen und Gel-Packs | Präsentation mit gleitendem Shuttle | Die verfügbaren Layouts hängen vom installierten Sektorplatten-Shuttle ab. |
| Waffelpackungskapazität | Bis zu 90 Packungen × 2 Zoll × 2 Zoll | Alternativ sind bis zu 24 × 4 Zoll × 4 Zoll-Packungen oder eine kombinierte Anordnung möglich. |
| Bandzuführer | 8 mm, 16 mm oder 24 mm | Es können mehrere Zuführungsbasen konfiguriert werden. |
| 8 mm Zuführungskapazität | Bis zu 30 Futterstellen | Die genaue Kapazität hängt von der Konfiguration des Arbeitsbereichs ab. |
| Wafer-Eingang | Unterstützung für Wafer bis zu 8 Zoll | Verwendet motorisierte Auswerferhardware und Theta-Kompensation für Rahmen oder Ring. |
| Waferfunktionen | Wafer-Mapping und Tintenpunkterkennung | Hilft dabei, nachweislich funktionierende Chips aus dem Wafer auszuwählen. |
| Dünnmatrizenhandhabung | Servo-synchronisierte Aufnahmekopf- und Auswerferbewegung | Für ultradünne Geräte könnte eine nadellose Auswurfoption verfügbar sein. |
| Mindestgröße des Werkzeugs | Dokumentiert als ungefähr 0,006 Quadratzoll. | Prüfen Sie die Eignung von Werkzeug, Bildverarbeitung, Auswerfer und Prozess für sehr kleine Matrizen. |
| Maximale Werkzeuggröße | Es wurde keine praktische feste Grenze angegeben. | Die tatsächliche Grenze hängt von Arbeitsbereich, Masse, Werkzeugen, Koplanarität und Handhabung ab. |
| Mindestwerkzeugdicke | ungefähr 0,001 Zoll | Die Eignung für Dünnmatrizen hängt vom Auswerfer, der Werkzeugkonstruktion und der Matrizenstruktur ab. |
| Typische Materialien | GaAs, InP, Silizium und Lötvorformen | Weitere Unterlagen können nach der Antragsprüfung bearbeitet werden. |
| Produkttransport | Förderband für Boote, Tabletts, Träger, Vorrichtungen, Leadframes oder Boards | Erhältlich als Einzelgerät, als Kassetten-zu-Kassette-System oder als Inline-System. |
| Kommunikation | SMEMA-kompatible Schnittstelle | Unterstützt die Integration mit Öfen und anderen Produktionsanlagen. |
Die Basisplattform vereint mechanische Stabilität, programmierbare Kraft, fortschrittliche Bildverarbeitung und flexible Materialpräsentation, bevor anwendungsspezifische Optionen hinzugefügt werden.
Der Bestückungskopf wird von oben ohne Auslegermechanismen gestützt, was dazu beiträgt, die mechanische und thermische Stabilität während der Präzisionsfertigung aufrechtzuerhalten.
Aktiv gekühlte eisenlose Linearmotoren und eine Encoderauflösung von 0,1 μm unterstützen schnelle Bewegungen, kontrolliertes Einschwingen und wiederholbare Achsenpositionierung.
Die Platzierungskraft kann nach Bauteiltyp programmiert werden, mit Echtzeit-Feedback für empfindliche III-V-Halbleiter, MEMS und dünne Bauelemente.
Grenzenerkennung, Mustererkennung, Referenzmarkenausrichtung und 360-Grad-Orientierung unterstützen komplexe optische, HF- und Multi-Chip-Baugruppen.
Ring- und koaxiale rote, grüne und blaue Beleuchtung können für kontrastarme Bauteile und schwierige reflektierende Oberflächen angepasst werden.
Waffel-, Gel-Pak-, Waffelverpackungs-, Bandzuführungs- und Förderbandeingänge können je nach gewünschtem Produkt und Produktionsablauf kombiniert werden.
Die MRSI-705 ist eine offene Plattform. Diese Funktionen sind nicht automatisch auf jeder Maschine enthalten und müssen vor der Angebotserstellung überprüft werden.
Unterstützt das konfigurierte Epoxidharz-Stanzen oder -Dosieren vor dem Einsetzen der Form. Mehrere Epoxidharzmaterialien und Formgrößen können auf derselben Plattform verarbeitet werden.
Verfügbare Konfigurationen unterstützen möglicherweise AuSi, AuSn and AuGe Bonding auf Submounts, TO-Headern und Butterfly-Gehäusen.
Die Materialförderung mittels Förderbändern kann Vorwärmen, pulsierendes Erhitzen beim Verbinden, programmierbares Waschen, Schutzgaszufuhr und kontrollierte Kühlung kombinieren.
Konfigurierte Flip-Chip-Prozesse nutzen die Chipausrichtung, die visuelle Ausrichtung und die kontrollierte Platzierung für Bump-, Löt- oder Klebebaugruppen.
Die Komponenten können während des Aushärtens des UV-Klebstoffs in Position gehalten werden, wodurch Bewegungen nach der präzisen Platzierung in optischen und AOC-Baugruppen reduziert werden.
Verdränger- oder Zeitdruckpumpen unterstützen Punkt-, Linien-, Damm- und Füllmaterial-, Die-Attach-Klebstoff- und Deckelbefestigungsprozesse.
Mit einer rotierenden Stempelkammer und austauschbaren Stempelwerkzeugen lassen sich Epoxidpunkte bis zu einer Größe von ca. 100 μm erzeugen.
Anwendungsspezifische Konfigurationen ermöglichen die Kontrolle von Druck, Höhe und Koplanarität bei großen Bauteilen oder Bauteilen mit hohem Aspektverhältnis.
Die Maschine kann entsprechend dem erforderlichen Produktionsvolumen, dem Produktfluss und der Materialzuführungsmethode konfiguriert werden.
Eigenständige Werkzeuge bieten mehr Flexibilität für Entwicklung, Prototyping, Konstruktionsänderungen und Kleinserienfertigung.
Die Magazin- oder kassettenbasierte Beladung reduziert die manuelle Handhabung und unterstützt die wiederholte Verarbeitung von Trägern, Trays oder Verpackungsvorrichtungen.
Durch SMEMA-kompatible Materialtransportsysteme lässt sich der MRSI-705 in vorgelagerte und nachgelagerte Anlagen integrieren.
Die Waferzuführung reduziert die manuelle Die-Handhabung und unterstützt die automatisierte Auswahl von kartierten oder mit Tinte markierten Wafern.
Es handelt sich hierbei um zwei unterschiedliche MRSI-705-Konfigurationen, die nicht zu einer einzigen Spezifikation zusammengefasst werden sollten.
Der standardmäßige automatische Werkzeugwechsler fasst Spannzangen und Werkzeuge für die Epoxidharz-Stanzung. Zusätzliche Werkzeugwechsler können hinzugefügt werden, wenn ein Prozess komponentenbezogenere Werkzeuge erfordert.
Der optionale patentierte Revolverkopf trägt bis zu 12 Werkzeuge und ermöglicht Werkzeugwechsel ohne Zeitverlust, um den Output für Produkte mit mehreren Werkzeugen und gemischten Prozessen zu steigern.
Die Plattform wird dort eingesetzt, wo Platzierungsgenauigkeit, konfigurierbare Prozesse, Materialflexibilität und kontrolliertes Komponentenhandling wichtig sind.
Anwendungen für fortschrittliche Gehäuselösungen mit mehreren Chips, gestapelten Bauelementen und Wafer-Ebene.
Laserdioden, Linsen, optische Module, Transceiver und aktive optische Kabel.
MMICs, HF-Leistungsverstärker, Strahlführungsbauelemente und hybride Mikrowellenbaugruppen.
Drucksensoren, Infrarotsensoren und Geräte mit empfindlichen Mikrostrukturen.
Präzisionsmontage von LED-Bauelementen und zugehörigen optoelektronischen Gehäusen.
Komplexe Produkte, die mehrere Werkzeugtypen, Abmessungen und Verbindungsprozesse umfassen.
Medizinische Bildgebung, Hörgeräte, Herzschrittmacherkomponenten und andere Präzisionsbaugruppen.
Hochzuverlässige Hybridschaltungen und missionskritische Halbleitergehäuse.
Die Modellbezeichnung MRSI-705 allein gibt nicht alle installierten Funktionen an. Bitte geben Sie unten die Anwendungsinformationen an, damit die verfügbare Maschine anhand Ihres Prozesses bewertet werden kann.
Unser Fokus liegt darauf, die verfügbare Gerätekonfiguration auf den beabsichtigten Prozess abzustimmen, anstatt einfach nur eine nicht näher spezifizierte Maschine anhand des Modellnamens anzubieten.
Bitte überprüfen Sie das Typenschild, die Seriennummer, das Produktionsjahr, die Software und die installierte Hardware.
Prüfen Sie Bondköpfe, Werkzeugbänke, Bildverarbeitungssysteme, Waferhandhabung, Zuführungen, Bühnen und Prozessmodule.
Prüfen Sie aktuelle Fotos, den Einschaltstatus, Kalibrierungsinformationen und bekannte Fehler.
Unterstützung bei Verpackung, Versand, Installationsplanung, Teilevorbereitung und technischer Nachbetreuung.
Jede Seite erfüllt eine separate Such- und Beschaffungsanforderung, wodurch inhaltliche Überschneidungen zwischen der MRSI-Markenseite und den einzelnen Modellseiten reduziert werden.
Senden Sie uns Ihre Prozess- und Komponenteninformationen, damit wir die verfügbare MRSI-705-Konfiguration mit den erforderlichen Bonding-, Handhabungs- und Produktionsbedingungen abgleichen können.
Bitte geben Sie so viele Anwendungsinformationen wie möglich an, um eine genauere Gerätebewertung zu ermöglichen.