Die DNS SCW60A ist eine Wafer-Beschichtungs- und Entwicklungsanlage für die Fotolackverarbeitung in der Halbleiter-Fotolithografie. Laut der verfügbaren Geräteliste handelt es sich um ein 6-Zoll-System mit einer aufgeführten 2C- und 2D-Prozesskonfiguration.
Die Maschine eignet sich zum Auftragen von Fotolack vor der Belichtung und zum Entwickeln des Wafers nach der Belichtung. Die genaue Anzahl und der Zustand der Beschichtungsbehälter, Entwicklungsmodule, Wärmeeinheiten und Transferkomponenten der vorhandenen Maschine sollten überprüft werden.
DNS SCW60A Hauptspezifikationen
| Hersteller | DNS |
|---|---|
| Modell | SCW60A |
| Alternativer Eintragsname | DNS SCW60 |
| Gerätetyp | Wafer-Beschichter und Entwickler |
| Unterstützte Wafergröße | 6-Zoll-Wafer, laut der verfügbaren Auflistung |
| Aufgelistete Prozesskonfiguration | 2C und 2D; die tatsächliche Installationsanordnung muss bestätigt werden. |
| Primärprozess | Fotolackbeschichtung und Entwicklung |
| Zustand | Gebraucht Halbleiteranlagen |
| Verfügbarkeit | Vorbehaltlich der aktuellen Lagerverfügbarkeit und Konfigurationsbestätigung |
Wichtigste Ausstattungsmerkmale
Konzipiert für 150-mm-Halbleiterwafer
Unterstützt Fotolackbeschichtungs- und Entwicklungsverfahren
Die Quellenangabe identifiziert die Prozessfähigkeit für 2C und 2D.
Geeignet zur Integration in etablierte Fotolithografielinien
Der Zustand des gebrauchten Maschinenmoduls kann vor der Angebotserstellung geprüft werden.
Typische Anwendungen
Die DNS SCW60A kann zum Aufbringen von Fotolack auf 150-mm-Wafer vor der Belichtung verwendet werden. Nach der Belichtung entfernt die Entwicklersektion die entsprechenden Fotolackbereiche, um das gewünschte lithografische Muster zu erzeugen.
Die Prozesskompatibilität hängt von den installierten Beschichtungsbechern, Entwicklerdüsen, Resist- und Chemikalienleitungen, Heizplatten, Kühlplatten, Waferträgern und verfügbaren Rezepturen ab.
Konfiguration und Inspektion gebrauchter Geräte
Die vom Verkäufer angegebene Beschreibung der Module 2C und 2D liefert lediglich eine grundlegende Modulinformation. Sie gibt weder Auskunft über den vollständigen Prozessablauf, die Anzahl der Wärmeeinheiten, das chemische System, die Kassettenkonfiguration noch die Automatisierungsschnittstelle der jeweiligen Maschine.
Vor dem Kauf sollten Kunden das Modelletikett, die Seriennummer, die Wafergröße, die Beschichtungs- und Entwicklungsmodule, den Betrieb des Spinmotors, die Roboterbewegung, die Temperaturregelung, den Chemikalienschrank, die Anforderungen an die Abluft und den aktuellen Betriebszustand überprüfen.
DNS-Informationen anfordern SCW60A
Kontaktieren Sie unser Team, um die aktuelle Verfügbarkeit der gebrauchten DNS SCW60A zu prüfen. Bitte geben Sie Ihre Wafergröße, Anforderungen an Resist und Entwickler, den gewünschten Prozessablauf, das Zielland und den Installationsplan an.
Kontaktieren Sie uns für aktuelle Fotos der Ausrüstung, Informationen zu den installierten Modulen, den Inspektionsstatus und ein Angebot.
Häufig gestellte Fragen
Welche Wafergröße unterstützt der DNS SCW60A?
Die verfügbare Produktbeschreibung weist das System für 6-Zoll-Wafer aus. Die Kassetten- und Handhabungskonfiguration sollte jedoch vor dem Kauf noch bestätigt werden.
Was bedeuten die aufgeführten 2C- und 2D-Konfigurationen?
Die verfügbaren Listen geben Auskunft über die Beschichtungs- und Entwicklungsprozesskapazitäten. Die genaue Anzahl, Position und der Zustand der installierten Prozessmodule müssen an der Maschine überprüft werden.
Kann der SCW60A ein bestimmtes Fotolackverfahren durchführen?
Die Kompatibilität hängt von den installierten Chemikalienleitungen, Beschichtungsbechern, Dosiersystemen, Thermomodulen und verfügbaren Rezepturen ab. Die Prozessanforderungen sollten vor der Angebotserstellung geprüft werden.
Lässt sich der Betriebszustand anhand der Produktbeschreibung bestätigen?
Nein. Die Auflistung nennt das Modell und die grundlegende Konfiguration, aber Wafertransfer, Spin-Operation, Temperaturkontrolle und Chemikalienzufuhr erfordern eine Geräteprüfung.
