Le DNS SCW60A est un système de revêtement et de développement de plaquettes destiné au traitement de la résine photosensible en photolithographie pour semi-conducteurs. La fiche technique le décrit comme un système de 6 pouces compatible avec les procédés 2C et 2D.
Cette machine peut être utilisée pour le dépôt de résine photosensible avant exposition et le développement de la plaquette après exposition. Le nombre exact et l'état des cuves de dépôt, des modules de développement, des unités thermiques et des composants de transfert doivent être vérifiés sur la machine disponible.
Spécifications principales du DNS SCW60A
| Fabricant | DNS |
|---|---|
| Modèle | SCW60A |
| Nom alternatif de l'annonce | DNS SCW60 |
| Type d'équipement | Revêtement et développement de plaquettes |
| Taille de plaquette prise en charge | des plaquettes de 6 pouces, selon la liste disponible |
| Configuration du processus répertorié | 2C et 2D ; la configuration installée réelle doit être confirmée. |
| Processus primaire | Revêtement et développement de la résine photosensible |
| Condition | Utilisé équipement semi-conducteur |
| Disponibilité | Sous réserve de disponibilité des stocks et de confirmation de configuration |
Principales caractéristiques de l'équipement
Conçu pour les plaquettes de semi-conducteurs de 150 mm
Prend en charge les procédés de revêtement et de développement de la résine photosensible
La liste des sources identifie les capacités des processus 2C et 2D
Adapté à l'intégration dans les lignes de photolithographie existantes
L'état des modules de machines d'occasion peut être vérifié avant l'établissement du devis.
Applications typiques
Le système DNS SCW60A permet le dépôt par centrifugation de résine photosensible sur des plaquettes de 150 mm avant exposition. Après l'exposition, la section de développement élimine les zones de résine nécessaires à la formation du motif lithographique requis.
La compatibilité du procédé dépend des godets de revêtement installés, des buses de développement, des lignes de résine et de produits chimiques, des plaques chauffantes, des plaques froides, des porte-plaquettes et des recettes disponibles.
Configuration et inspection du matériel d'occasion
La description 2C et 2D fournie par le vendeur ne donne qu'une indication sommaire du module. Elle ne précise ni le flux de processus complet, ni le nombre d'unités thermiques, ni le système chimique, ni la configuration des cassettes, ni l'interface d'automatisation de la machine.
Avant l'achat, les clients doivent vérifier l'étiquette du modèle, le numéro de série, la taille de la plaquette, les modules de revêtement et de développement, le fonctionnement du moteur de rotation, le mouvement du robot, le contrôle de la température, l'armoire chimique, les exigences d'évacuation et l'état actuel de l'alimentation électrique.
Demande d'informations DNS SCW60A
Contactez notre équipe pour vérifier la disponibilité actuelle du DNS SCW60A d'occasion. Veuillez indiquer la taille de votre plaquette, vos exigences en matière de résine et de révélateur, le flux de processus souhaité, le pays de destination et le calendrier d'installation.
Contactez-nous pour obtenir des photos de l'équipement actuel, des informations sur les modules installés, l'état de l'inspection et un devis.
Foire aux questions
Quelle est la taille des plaquettes prises en charge par le DNS SCW60A ?
L'annonce disponible décrit le système pour plaquettes de 6 pouces. La configuration de la cassette et du système de manipulation doit être confirmée avant l'achat.
Que signifient les configurations 2C et 2D listées ?
Ces informations indiquent les capacités de traitement de revêtement et de développement décrites dans la liste disponible. Il convient de vérifier sur la machine le nombre précis, la position et l'état des modules de traitement installés.
Le SCW60A peut-il exécuter un processus de photorésine spécifique ?
La compatibilité dépend des lignes de produits chimiques installées, des godets d'enrobage, du système de dosage, des modules thermiques et des recettes disponibles. Les exigences du processus doivent être examinées avant l'établissement du devis.
Les conditions de fonctionnement peuvent-elles être confirmées à partir de la fiche produit ?
Non. La fiche technique identifie le modèle et la configuration de base, mais le transfert de plaquettes, le fonctionnement par rotation, le contrôle de la température et l'alimentation en produits chimiques nécessitent une inspection de l'équipement.
