DNS SCW60A 是一款晶圓塗佈顯影一體機，專為半導體光刻製程的光阻處理而設計。現有設備清單顯示，它是一款 6 吋系統，並列出了 2C 和 2D 製程配置。
本設備可用於曝光前塗覆光阻以及曝光後顯影晶圓。塗覆碗、顯影模組、熱敏單元和轉印組件的特定數量和狀況應在現有設備上進行確認。
DNS SCW60A 主要規格
| 製造商 | DNS |
|---|---|
| 模型 | SCW60A |
| 備選上市名稱 | DNS SCW60 |
| 設備類型 | 晶圓塗覆機和顯影機 |
| 支援的晶圓尺寸 | 根據現有清單，是6吋晶圓。 |
| 列出的流程配置 | 圖2C和圖2D；實際安裝情況需確認 |
| 初級過程 | 光阻塗覆及顯影 |
| 狀態 | 用過的 半導體設備 |
| 可用性 | 以當前庫存和配置確認為準 |
主要設備特性
專為 150 毫米半導體晶圓設計
支援光阻塗覆和顯影工藝
供應商清單中列明了 2C 和 2D 製程能力
適用於整合到現有的光刻生產線中
報價前可以對二手設備模組的狀況進行評估。
典型應用
DNS SCW60A 可用於在曝光前將光阻旋塗到 150 mm 晶圓上。曝光完成後，顯影部分會移除對應的光阻區域，從而形成所需的圖案。
製程相容性取決於所安裝的塗佈杯、顯影噴嘴、光阻和化學品管線、加熱板、冷卻板、晶圓載體和可用配方。
二手設備配置和檢驗
賣家提供的2C和2D描述僅包含基本模組信息，並未確認特定機器的完整工藝流程、熱單元數量、化學系統、卡盒配置或自動化介面。
購買前，客戶應確認型號標籤、序號、晶圓尺寸、塗佈和顯影模組、旋轉馬達運轉、機器人運動、溫度控制、化學櫃、排氣要求和當前通電狀態。
請求 DNS SCW60A 訊息
請聯絡我們的團隊查詢二手DNS SCW60A的當前供貨情況。請提供您的晶圓尺寸、光阻和顯影劑要求、所需工藝流程、目的地國家/地區以及安裝計劃。
請聯絡我們以取得當前設備照片、已安裝模組資訊、檢驗狀態和報價。
常見問題解答
DNS SCW60A 支援哪一種晶圓尺寸？
現有產品清單顯示該系統適用於 6 吋晶圓。購買前仍需確認晶圓盒及處理配置。
所列的 2C 和 2D 配置分別代表什麼意思？
清單中列出了塗層和顯影工藝能力。必須在機器上檢查已安裝工藝模組的確切數量、位置和狀態。
SCW60A 能否運作特定的光阻製程？
相容性取決於已安裝的化學生產線、塗佈杯、分配系統、熱模組和可用配方。報價前應審核製程要求。
能否從產品清單中確認其運作條件？
不。清單中列出了型號和基本配置，但晶圓轉移、旋塗操作、溫度控制和化學品輸送都需要進行設備檢查。
