DNS SCW60A — это устройство для нанесения покрытия и проявления фоторезистов на подложки, предназначенное для обработки полупроводниковых пластин в фотолитографии. В списке доступного оборудования указано, что это 6-дюймовая система с заявленной конфигурацией для двухцветного и двухмерного процессов.
Данная установка может использоваться для нанесения фоторезиста перед экспонированием и проявления пластины после экспонирования. Точное количество и состояние чаш для нанесения покрытия, модулей проявления, термоблоков и компонентов переноса следует уточнить на имеющейся установке.
Основные технические характеристики DNS SCW60A
| Производитель | DNS |
|---|---|
| Модель | SCW60A |
| Альтернативное название объявления | DNS SCW60 |
| Тип оборудования | Установка для нанесения покрытия на вафли и проявителя |
| Поддерживаемые размеры пластин | Согласно имеющемуся списку, вафли диаметром 6 дюймов. |
| Конфигурация перечисленного процесса | 2C и 2D; фактическое расположение установленного оборудования должно быть подтверждено. |
| Первичный процесс | Нанесение фоторезиста и проявление |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе и подтверждения конфигурации. |
Основные характеристики оборудования
Предназначен для полупроводниковых пластин диаметром 150 мм.
Поддерживает процессы нанесения фоторезиста и проявления фоторезиста.
В списке исходных материалов указаны возможности 2C и 2D технологических процессов.
Подходит для интеграции в существующие линии фотолитографии.
Состояние модулей бывших в употреблении машин можно проверить перед составлением коммерческого предложения.
Типичные области применения
Установка DNS SCW60A может использоваться для нанесения фоторезиста методом центрифугирования на 150-мм пластины перед экспонированием. После этапа экспонирования секция проявителя удаляет соответствующие участки резиста для формирования необходимого литографического рисунка.
Совместимость процесса зависит от установленных емкостей для нанесения покрытия, форсунок проявителя, линий подачи резиста и химикатов, нагревательных и охлаждающих плит, держателей пластин и доступных рецептур.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Указанное продавцом описание модулей 2C и 2D содержит лишь базовую информацию о каждом модуле. Оно не подтверждает полный технологический процесс, количество тепловых блоков, химическую систему, конфигурацию кассет или интерфейс автоматизации конкретной машины.
Перед покупкой клиентам следует проверить маркировку модели, серийный номер, размер пластины, модули нанесения покрытия и проявления, режим работы вращающегося двигателя, перемещение робота, контроль температуры, химический шкаф, требования к вытяжной вентиляции и текущее состояние питания.
Запрос информации о DNS SCW60A
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении панелей DNS SCW60A. Пожалуйста, укажите размер вашей пластины, требования к резисту и проявителю, необходимый технологический процесс, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить фотографии текущего оборудования, информацию об установленных модулях, статус проверки и коммерческое предложение.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин поддерживает DNS SCW60A?
В описании указана система для 6-дюймовых пластин. Конфигурацию кассеты и способа подачи материала следует уточнить перед покупкой.
Что означают указанные конфигурации 2C и 2D?
В доступном списке указаны возможности процесса нанесения покрытия и проявления. Точное количество, расположение и состояние установленных технологических модулей необходимо проверить на оборудовании.
Может ли SCW60A выполнять определенный процесс обработки фоторезиста?
Совместимость зависит от установленных линий подачи химикатов, емкостей для нанесения покрытия, системы дозирования, термомодулей и доступных рецептур. Требования к технологическому процессу следует уточнить перед составлением коммерческого предложения.
Можно ли подтвердить работоспособность товара по его описанию?
Нет. В описании указана модель и базовая конфигурация, но для переноса пластин, центрифугирования, контроля температуры и подачи химических реагентов требуется проверка оборудования.
