De DNS SCW60A is een wafercoater en -ontwikkelaar bedoeld voor de verwerking van fotolak in halfgeleiderfotolithografie. Volgens de specificaties is het een 6-inch systeem met een vermelde 2C- en 2D-procesconfiguratie.
De machine kan worden gebruikt voor het aanbrengen van fotolak vóór de belichting en het ontwikkelen van de wafer na de belichting. Het exacte aantal en de staat van de coatingkommen, ontwikkelmodules, thermische eenheden en transfercomponenten moeten worden gecontroleerd op de beschikbare machine.
Belangrijkste specificaties van de DNS SCW60A
| Fabrikant | DNS |
|---|---|
| Model | SCW60A |
| Alternatieve naam voor de vermelding | DNS SCW60 |
| Apparaattype | Wafercoater en ontwikkelaar |
| Ondersteunde wafergrootte | 6-inch wafers, volgens de beschikbare lijst. |
| Vermelde procesconfiguratie | 2C en 2D; de daadwerkelijke installatie moet worden bevestigd. |
| Primair proces | Fotolakcoating en -ontwikkeling |
| Voorwaarde | Gebruikt halfgeleiderapparatuur |
| Beschikbaarheid | Onder voorbehoud van actuele voorraad en configuratiebevestiging. |
Belangrijkste kenmerken van de apparatuur
Ontworpen voor halfgeleiderwafels van 150 mm.
Ondersteunt het aanbrengen en ontwikkelen van fotolak.
De bronnenlijst geeft de 2C- en 2D-procescapaciteit aan.
Geschikt voor integratie in bestaande fotolithografielijnen.
De staat van de gebruikte machinemodule kan vóór de offerte worden gecontroleerd.
Typische toepassingen
De DNS SCW60A kan worden gebruikt voor het spincoaten van fotolak op 150 mm wafers vóór de belichting. Na de belichting verwijdert het ontwikkelgedeelte de juiste laklagen om het gewenste lithografische patroon te vormen.
De procescompatibiliteit hangt af van de geïnstalleerde coatingbekers, ontwikkelmondstukken, resist- en chemische leidingen, verwarmingsplaten, koelplaten, waferdragers en beschikbare recepten.
Configuratie en inspectie van gebruikte apparatuur
De door de verkoper vermelde 2C- en 2D-beschrijving geeft slechts een basisindicatie van de module. Deze bevestigt niet het volledige procesverloop, het aantal thermische eenheden, het chemische systeem, de cassetteconfiguratie of de automatiseringsinterface van de betreffende machine.
Voor aankoop dienen klanten het modelnummer, het serienummer, de wafergrootte, de coating- en ontwikkelmodules, de werking van de spinmotor, de robotbeweging, de temperatuurregeling, de chemische kast, de afzuigvereisten en de huidige inschakelstatus te controleren.
DNS-aanvraag SCW60A-informatie
Neem contact op met ons team om de actuele beschikbaarheid van de gebruikte DNS SCW60A te controleren. Vermeld hierbij uw waferformaat, resist- en developervereisten, de gewenste processtroom, het land van bestemming en de installatieplanning.
Neem contact met ons op voor actuele foto's van de apparatuur, informatie over geïnstalleerde modules, de status van inspecties en een offerte.
Veelgestelde vragen
Welke waferformaten ondersteunt de DNS SCW60A?
De beschikbare specificaties geven aan dat het systeem geschikt is voor 6-inch wafers. De cassette- en handlingconfiguratie dienen echter nog vóór aankoop te worden bevestigd.
Wat betekenen de vermelde 2C- en 2D-configuraties?
In de beschikbare lijst wordt de mogelijkheid tot coating en ontwikkelprocessen aangegeven. Het precieze aantal, de positie en de staat van de geïnstalleerde procesmodules moeten op de machine worden gecontroleerd.
Kan de SCW60A een specifiek fotolakproces uitvoeren?
De compatibiliteit is afhankelijk van de geïnstalleerde chemische leidingen, coatingbekers, doseersysteem, thermische modules en beschikbare recepten. Procesvereisten dienen te worden beoordeeld voordat een offerte wordt uitgebracht.
Kan de bedrijfsomstandigheden worden bevestigd aan de hand van de productbeschrijving?
Nee. De beschrijving vermeldt het model en de basisconfiguratie, maar voor het overbrengen van wafers, het centrifugeren, de temperatuurregeling en de chemische toevoer is een inspectie van de apparatuur vereist.
