Ang DNS SCW60A ay isang wafer coater at developer na inilaan para sa photoresist processing sa semiconductor photolithography. Ang listahan ng mga kagamitang magagamit ay tumutukoy dito bilang isang 6-pulgadang sistema na may nakalistang 2C at 2D na configuration ng proseso.
Maaaring isaalang-alang ang makina para sa coating photoresist bago ang exposure at pagbuo ng wafer pagkatapos ng exposure. Dapat kumpirmahin sa magagamit na makina ang eksaktong bilang at kondisyon ng mga coating bowl, developing module, thermal unit at transfer component.
Pangunahing mga Espesipikasyon ng DNS SCW60A
| Tagagawa | DNS |
|---|---|
| Modelo | SCW60A |
| Alternatibong Pangalan ng Listahan | DNS SCW60 |
| Uri ng Kagamitan | Tagapahid at Tagapag-develop ng Wafer |
| Sinusuportahang Sukat ng Wafer | 6-pulgadang wafer, ayon sa magagamit na listahan |
| Nakalistang Pag-configure ng Proseso | 2C at 2D; dapat kumpirmahin ang aktwal na naka-install na kaayusan |
| Pangunahing Proseso | Patong na photoresist at pagbuo |
| Kundisyon | Ginamit kagamitang semiconductor |
| Kakayahang magamit | Nakabatay sa kasalukuyang stock at kumpirmasyon ng configuration |
Mga Pangunahing Tampok ng Kagamitan
Dinisenyo para sa 150 mm semiconductor wafers
Sinusuportahan ang mga proseso ng photoresist coating at pagbuo
Tinutukoy ng listahan ng pinagmulan ang kakayahan sa proseso ng 2C at 2D
Angkop para sa pagsasama sa mga naitatag na linya ng photolithography
Maaaring suriin ang kondisyon ng modyul ng gamit nang makina bago ang pagbanggit
Karaniwang mga Aplikasyon
Maaaring gamitin ang DNS SCW60A para sa spin coating photoresist sa 150 mm wafers bago ang exposure. Pagkatapos ng exposure step, aalisin ng developer section ang mga naaangkop na resist region upang mabuo ang kinakailangang lithographic pattern.
Ang pagiging tugma ng proseso ay nakadepende sa mga naka-install na coating cup, developer nozzle, resist at chemical lines, hot plate, cool plate, wafer carrier at mga available na recipe.
Konpigurasyon at Inspeksyon ng Gamit na Kagamitan
Ang deskripsyon ng 2C at 2D na nakalista sa nagbebenta ay nagbibigay lamang ng isang pangunahing indikasyon ng modyul. Hindi nito kinukumpirma ang kumpletong daloy ng proseso, dami ng thermal-unit, sistemang kemikal, konfigurasyon ng cassette o interface ng automation ng indibidwal na makina.
Bago bumili, dapat kumpirmahin ng mga customer ang label ng modelo, serial number, laki ng wafer, mga module ng patong at pagbuo, operasyon ng spin motor, paggalaw ng robot, kontrol sa temperatura, chemical cabinet, mga kinakailangan sa tambutso at kasalukuyang katayuan ng pag-on.
Humingi ng Impormasyon sa DNS SCW60A
Makipag-ugnayan sa aming koponan upang suriin ang kasalukuyang availability ng gamit nang DNS SCW60A. Mangyaring ibigay ang laki ng iyong wafer, resist at mga kinakailangan ng developer, kinakailangang daloy ng proseso, bansang patutunguhan at iskedyul ng pag-install.
Makipag-ugnayan sa amin para sa mga larawan ng kasalukuyang kagamitan, impormasyon tungkol sa naka-install na module, katayuan ng inspeksyon, at sipi.
Mga Madalas Itanong
Anong laki ng wafer ang sinusuportahan ng DNS SCW60A?
Ang available na listahan ay tumutukoy sa sistema para sa 6-pulgadang wafer. Dapat pa ring kumpirmahin ang cassette at handling configuration bago bilhin.
Ano ang ibig sabihin ng nakalistang mga konpigurasyon ng 2C at 2D?
Ipinapahiwatig ng mga ito ang kakayahan sa proseso ng pagpapatong at pagbuo sa magagamit na listahan. Ang eksaktong bilang, posisyon, at kondisyon ng mga naka-install na modyul ng proseso ay dapat suriin sa makina.
Maaari bang magpatakbo ang SCW60A ng isang partikular na proseso ng photoresist?
Ang pagiging tugma ay nakadepende sa mga naka-install na linya ng kemikal, mga tasa ng patong, sistema ng dispense, mga thermal module at mga magagamit na recipe. Dapat suriin ang mga kinakailangan sa proseso bago ang pagbanggit.
Maaari bang kumpirmahin ang kondisyon ng pagpapatakbo mula sa listahan ng produkto?
Hindi. Tinutukoy ng listahan ang modelo at pangunahing konpigurasyon, ngunit ang wafer transfer, spin operation, pagkontrol ng temperatura at paghahatid ng kemikal ay nangangailangan ng inspeksyon ng kagamitan.
