DNS SCW60A là máy phủ và xử lý wafer được thiết kế cho quá trình xử lý chất cản quang trong quang khắc bán dẫn. Danh sách thiết bị hiện có cho biết đây là hệ thống 6 inch với cấu hình xử lý 2C và 2D được liệt kê.
Máy này có thể được xem xét để phủ chất cản quang trước khi chiếu xạ và xử lý tấm bán dẫn sau khi chiếu xạ. Số lượng và tình trạng chính xác của các khay phủ, mô-đun xử lý, bộ phận gia nhiệt và các bộ phận truyền tải cần được xác nhận trên máy hiện có.
Thông số kỹ thuật chính của DNS SCW60A
| Nhà sản xuất | DNS |
|---|---|
| Người mẫu | SCW60A |
| Tên niêm yết thay thế | DNS SCW60 |
| Loại thiết bị | Máy phủ và phát triển wafer |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, đó là các tấm wafer 6 inch. |
| Cấu hình quy trình được liệt kê | 2C và 2D; cần xác nhận cách bố trí lắp đặt thực tế. |
| Quá trình chính | Phủ lớp cản quang và quá trình phát triển |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại và xác nhận cấu hình. |
Các tính năng chính của thiết bị
Được thiết kế cho tấm bán dẫn 150 mm.
Hỗ trợ các quy trình phủ và phát triển chất cản quang.
Danh sách nguồn xác định khả năng xử lý 2C và 2D.
Thích hợp để tích hợp vào các dây chuyền quang khắc hiện có.
Tình trạng của mô-đun máy đã qua sử dụng có thể được kiểm tra trước khi báo giá.
Ứng dụng điển hình
Máy DNS SCW60A có thể được sử dụng để phủ lớp cản quang lên các tấm wafer 150 mm trước khi chiếu xạ. Sau bước chiếu xạ, bộ phận phát triển sẽ loại bỏ các vùng cản quang thích hợp để tạo thành mẫu quang khắc cần thiết.
Khả năng tương thích của quy trình phụ thuộc vào các cốc phủ, vòi phun chất phát triển, đường dẫn chất cản quang và hóa chất, tấm gia nhiệt, tấm làm mát, giá đỡ wafer và các công thức có sẵn được lắp đặt.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Mô tả 2C và 2D do người bán cung cấp chỉ mang tính chất tham khảo cơ bản. Nó không xác nhận quy trình vận hành hoàn chỉnh, số lượng bộ phận gia nhiệt, hệ thống hóa chất, cấu hình khay hoặc giao diện tự động hóa của từng máy riêng lẻ.
Trước khi mua, khách hàng nên xác nhận nhãn hiệu sản phẩm, số sê-ri, kích thước wafer, mô-đun phủ và phát triển, hoạt động của động cơ quay, chuyển động của robot, điều khiển nhiệt độ, tủ hóa chất, yêu cầu hút khí và trạng thái hoạt động hiện tại của máy.
Yêu cầu thông tin DNS SCW60A
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy DNS SCW60A đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp kích thước wafer, yêu cầu về chất cản quang và chất phát triển, quy trình sản xuất cần thiết, quốc gia đích đến và lịch trình lắp đặt.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh thiết bị hiện tại, thông tin về các mô-đun đã lắp đặt, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
DNS SCW60A hỗ trợ kích thước wafer nào?
Thông tin hiện có cho biết hệ thống này dành cho tấm wafer 6 inch. Cấu hình khay và hệ thống xử lý cần được xác nhận trước khi mua.
Các cấu hình 2C và 2D được liệt kê có ý nghĩa gì?
Danh sách các thông số kỹ thuật hiện có cho biết khả năng xử lý phủ và phát triển. Cần kiểm tra chính xác số lượng, vị trí và tình trạng của các mô-đun xử lý đã lắp đặt trên máy.
Máy SCW60A có thể thực hiện quy trình xử lý chất cản quang cụ thể nào không?
Khả năng tương thích phụ thuộc vào các đường dẫn hóa chất, cốc phủ, hệ thống phân phối, mô-đun nhiệt và công thức hiện có đã được lắp đặt. Các yêu cầu về quy trình cần được xem xét trước khi báo giá.
Có thể xác nhận điều kiện hoạt động từ thông tin sản phẩm không?
Không. Thông tin trong danh sách chỉ nêu kiểu máy và cấu hình cơ bản, nhưng việc chuyển phôi, vận hành quay ly tâm, kiểm soát nhiệt độ và cung cấp hóa chất cần phải được kiểm tra thiết bị.
