DNS SCW60A コーティング＆現像機

DNS SCW60Aは、半導体フォトリソグラフィにおけるフォトレジスト処理を目的としたウェハーコーター兼現像装置です。製品リストによると、6インチシステムであり、2Cおよび2Dプロセス構成に対応しています。

この装置は、露光前のフォトレジスト塗布と露光後のウェハ現像に使用できます。塗布ボウル、現像モジュール、加熱ユニット、転写コンポーネントの正確な数と状態は、使用可能な装置で確認する必要があります。

DNS SCW60Aの主な仕様

主な機器機能

• 150mm半導体ウェハー向けに設計されています。

• フォトレジストの塗布および現像プロセスをサポートします。

• ソースリストには、2Cおよび2Dプロセス能力が記載されています。

• 既存のフォトリソグラフィラインへの統合に適しています

• 中古機械モジュールの状態は、見積もり前に確認できます。

代表的な用途

DNS SCW60Aは、露光前に150mmウェハ上にフォトレジストをスピンコートするのに使用できます。露光工程後、現像部が適切なレジスト領域を除去し、必要なリソグラフィパターンを形成します。

プロセスの互換性は、設置されているコーティングカップ、現像ノズル、レジストおよび薬品ライン、ホットプレート、クールプレート、ウェハーキャリア、および利用可能なレシピによって異なります。

中古機器の構成と検査

販売者が記載する2Cおよび2Dの説明は、基本的なモジュール情報のみを示しています。個々の機械の完全なプロセスフロー、熱ユニット数、化学システム、カセット構成、または自動化インターフェースについては確認できません。

購入前に、お客様はモデルラベル、シリアル番号、ウェハサイズ、コーティングおよび現像モジュール、スピンモーターの動作、ロボットの動作、温度制御、薬品キャビネット、排気要件、および現在の電源オン状態を確認する必要があります。

DNS SCW60A情報のリクエスト

中古のDNS SCW60Aの在庫状況については、弊社までお問い合わせください。ウェハサイズ、レジストおよび現像液の要件、必要なプロセスフロー、納入先国、設置スケジュールをお知らせください。

最新の機器写真、設置済みモジュール情報、検査状況、および見積もりについては、当社までお問い合わせください。

よくある質問

DNS SCW60Aはどのサイズのウェハーに対応していますか？

掲載されている情報は、6インチウェハー用システムを示しています。カセットと搬送構成については、購入前に必ずご確認ください。

記載されている2Cおよび2D構成は何を意味しますか？

利用可能なリストには、コーティングおよび現像処理能力が記載されています。設置されている処理モジュールの正確な数、位置、状態は、機械上で確認する必要があります。

SCW60Aは特定のフォトレジストプロセスを実行できますか？

互換性は、設置済みの薬品ライン、コーティングカップ、ディスペンスシステム、サーマルモジュール、および使用可能なレシピによって異なります。見積もり前に、プロセス要件を確認する必要があります。

製品一覧から動作条件を確認できますか？

いいえ。リストにはモデルと基本構成が記載されていますが、ウェーハ搬送、スピン操作、温度制御、薬品供給については装置の検査が必要です。