Il DNS SCW60A è un sistema di rivestimento e sviluppo per wafer, destinato alla lavorazione di fotoresist nella fotolitografia dei semiconduttori. L'elenco delle apparecchiature disponibili lo identifica come un sistema da 6 pollici con una configurazione di processo 2C e 2D.
La macchina può essere considerata per il rivestimento del fotoresist prima dell'esposizione e per lo sviluppo del wafer dopo l'esposizione. Il numero esatto e le condizioni delle vasche di rivestimento, dei moduli di sviluppo, delle unità termiche e dei componenti di trasferimento devono essere verificati sulla macchina disponibile.
Specifiche principali del DNS SCW60A
| Produttore | DNS |
|---|---|
| Modello | SCW60A |
| Nome alternativo dell'inserzione | DNS SCW60 |
| Tipo di apparecchiatura | Rivestitore e sviluppatore di wafer |
| Dimensioni del wafer supportate | Secondo l'elenco disponibile, si tratta di wafer da 6 pollici. |
| Configurazione del processo elencato | 2C e 2D; è necessario confermare la configurazione effettivamente installata. |
| Processo primario | Rivestimento e sviluppo del fotoresist |
| Condizione | Usato apparecchiature per semiconduttori |
| Disponibilità | Salvo disponibilità di magazzino e conferma della configurazione |
Caratteristiche principali dell'apparecchiatura
Progettato per wafer di semiconduttori da 150 mm
Supporta i processi di rivestimento e sviluppo del fotoresist
L'elenco delle fonti identifica la capacità di processo 2C e 2D
Adatto all'integrazione in linee di fotolitografia già esistenti.
Le condizioni del modulo della macchina usata possono essere verificate prima del preventivo.
Applicazioni tipiche
Il sistema DNS SCW60A può essere utilizzato per la deposizione per centrifugazione di fotoresist su wafer da 150 mm prima dell'esposizione. Dopo la fase di esposizione, la sezione di sviluppo rimuove le regioni di resist appropriate per formare il pattern litografico desiderato.
La compatibilità del processo dipende dalle coppette di rivestimento installate, dagli ugelli di sviluppo, dalle linee di resist e di prodotti chimici, dalle piastre riscaldanti, dalle piastre di raffreddamento, dai supporti per wafer e dalle ricette disponibili.
Configurazione e ispezione delle apparecchiature usate
La descrizione 2C e 2D fornita dal venditore offre solo un'indicazione di base del modulo. Non conferma il flusso di processo completo, il numero di unità termiche, il sistema chimico, la configurazione delle cassette o l'interfaccia di automazione della singola macchina.
Prima dell'acquisto, i clienti devono verificare l'etichetta del modello, il numero di serie, le dimensioni del wafer, i moduli di rivestimento e sviluppo, il funzionamento del motore di rotazione, il movimento del robot, il controllo della temperatura, l'armadio chimico, i requisiti di aspirazione e lo stato attuale dell'alimentazione.
Richiesta di informazioni DNS SCW60A
Contatta il nostro team per verificare la disponibilità attuale del sistema DNS SCW60A usato. Ti preghiamo di fornire le dimensioni del wafer, i requisiti relativi al resist e allo sviluppatore, il flusso di processo richiesto, il paese di destinazione e il programma di installazione.
Contattateci per ricevere foto aggiornate delle apparecchiature, informazioni sui moduli installati, stato delle ispezioni e un preventivo.
Domande frequenti
Quali dimensioni di wafer supporta il DNS SCW60A?
L'elenco disponibile identifica il sistema per wafer da 6 pollici. La configurazione della cassetta e della modalità di manipolazione deve essere comunque verificata prima dell'acquisto.
Cosa significano le configurazioni 2C e 2D elencate?
Nell'elenco disponibile sono indicate le capacità di processo di rivestimento e sviluppo. Il numero preciso, la posizione e lo stato dei moduli di processo installati devono essere verificati sulla macchina.
La SCW60A è in grado di eseguire uno specifico processo di fotoresist?
La compatibilità dipende dalle linee chimiche installate, dalle tazze di rivestimento, dal sistema di dosaggio, dai moduli termici e dalle ricette disponibili. I requisiti di processo devono essere esaminati prima di richiedere un preventivo.
È possibile verificare le condizioni di funzionamento consultando la descrizione del prodotto?
No. L'elenco identifica il modello e la configurazione di base, ma il trasferimento dei wafer, il funzionamento della rotazione, il controllo della temperatura e l'erogazione di sostanze chimiche richiedono un'ispezione dell'apparecchiatura.
