DNS SCW60A to urządzenie do powlekania i wywoływania płytek półprzewodnikowych przeznaczone do obróbki fotorezystu w fotolitografii półprzewodnikowej. W dostępnym spisie sprzętu jest ono opisane jako system 6-calowy z konfiguracją procesu 2C i 2D.
Można rozważyć zakup maszyny do powlekania fotorezystu przed naświetlaniem i wywoływania płytki po naświetlaniu. Dokładną liczbę i stan mis powlekających, modułów wywoływania, jednostek termicznych i komponentów transferowych należy potwierdzić na dostępnej maszynie.
Główne specyfikacje DNS SCW60A
| Producent | DNS |
|---|---|
| Model | SCW60A |
| Alternatywna nazwa oferty | DNS SCW60 |
| Typ sprzętu | Powlekarka i wywoływacz płytek |
| Obsługiwany rozmiar wafla | Wafle 6-calowe, zgodnie z dostępnym spisem |
| Wyświetlona konfiguracja procesu | 2C i 2D; należy potwierdzić rzeczywisty układ instalacji |
| Proces podstawowy | Powłoka fotorezystu i wywoływanie |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego i potwierdzenia konfiguracji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Zaprojektowany dla płytek półprzewodnikowych o średnicy 150 mm
Obsługuje procesy powlekania fotorezystem i wywoływania
Lista źródeł identyfikuje możliwości procesu 2C i 2D
Nadaje się do integracji z istniejącymi liniami fotolitograficznymi
Przed wyceną można sprawdzić stan używanego modułu maszynowego
Typowe zastosowania
Urządzenie DNS SCW60A może być używane do nakładania fotorezystu spin-coating na płytki o średnicy 150 mm przed naświetlaniem. Po naświetlaniu sekcja wywoływacza usuwa odpowiednie obszary rezystu, aby utworzyć wymagany wzór litograficzny.
Zgodność procesu zależy od zainstalowanych kubków powlekających, dysz wywoływacza, przewodów ochronnych i chemicznych, płyt grzewczych, płyt chłodzących, nośników płytek i dostępnych receptur.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Opis 2C i 2D podany przez sprzedającego zawiera jedynie podstawowe informacje o module. Nie potwierdza on pełnego przepływu procesu, ilości jednostek termicznych, systemu chemicznego, konfiguracji kaset ani interfejsu automatyki danej maszyny.
Przed zakupem klienci powinni sprawdzić etykietę modelu, numer seryjny, rozmiar wafla, moduły powlekania i wywoływania, działanie silnika wirującego, ruch robota, kontrolę temperatury, szafę chemiczną, wymagania dotyczące odprowadzania spalin i aktualny stan zasilania.
Poproś o informacje DNS SCW60A
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego DNS SCW60A. Prosimy o podanie rozmiaru płytki, wymagań dotyczących rezystora i wywoływacza, wymaganego przebiegu procesu, kraju docelowego oraz harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia sprzętu, informacje o zainstalowanych modułach, informacje o stanie kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie rozmiary płytki obsługuje DNS SCW60A?
Dostępna oferta dotyczy systemu przeznaczonego do płytek 6-calowych. Przed zakupem należy potwierdzić konfigurację kasety i obsługi.
Co oznaczają wymienione konfiguracje 2C i 2D?
Wskazują one możliwości procesu powlekania i wywoływania w dostępnej liście. Dokładną liczbę, lokalizację i stan zainstalowanych modułów procesowych należy sprawdzić na maszynie.
Czy SCW60A może być wykorzystywany w konkretnym procesie fotorezystu?
Kompatybilność zależy od zainstalowanych linii chemicznych, kubków do powlekania, systemu dozowania, modułów termicznych i dostępnych receptur. Przed złożeniem oferty należy zapoznać się z wymaganiami procesowymi.
Czy stan techniczny można potwierdzić na podstawie opisu produktu?
Nie. W opisie podano model i podstawową konfigurację, ale przenoszenie płytek, wirowanie, kontrola temperatury i dostarczanie substancji chemicznych wymagają przeprowadzenia kontroli sprzętu.
