銅製フリーエアボール
銅球の形成には、形成段階における酸化を抑制するために、適切なEFO設定と制御された雰囲気が必要である。
銅線ボンディングプラットフォーム
K&S ICONN ProCu 銅線ボンダー
K&S ICONN ProCu自動銅線ボンダープラットフォーム、銅フリーエアボール形成に必要なプロセス制御、ProCuとProCu PLUSの違い、機械構成のポイント、および中古半導体ボンディング装置の実地点検について概説します。
モデル概要
K&S ICONN ProCuとは何ですか？
K&S ICONN ProCuは、銅線半導体パッケージングの要件に基づいて開発された、ICONN自動ボールボンダーの構成を示しています。
銅線は、自由空気ボールの形成、保護雰囲気、毛細管の選択、ボンディングパラメータ、パッド間の相互作用、およびプロセス認定に関する要件を変更します。
ProCuは単なるソフトウェア名ではありません。実際の機械にインストールされているEFO、ガス供給装置、ボンドヘッド、超音波システム、ワイヤーキット、ソフトウェア、およびプロセス履歴を確認してください。
第一債券管理
接合力、超音波エネルギー、タイミング、および毛細管形状は、銅線と半導体パッドの構造に適合させる必要がある。
ループ形成
プログラム可能なループ動作は、過度の応力、干渉、またはパッケージのクリアランスの問題を回避しながら、ワイヤの軌道を制御する必要があります。
第二結合の安定性
連続生産中は、ステッチ形成、テール制御、ワイヤー分離、およびパッケージ表面との相互作用が安定して維持されなければならない。
銅製造プロセスの基礎
銅線ボンディングには完全なプロセスシステムが必要です
安定した銅加工プロセスは、複数のサブシステムが相互に連携して成り立っています。販売リストに「ProCu」という単語が含まれているという理由だけで機械を選定すべきではありません。
EFOとボールフォーメーション
EFO電流、タイミング、電極の状態、ワイヤの位置、およびプロセス雰囲気は、銅の自由空気球の形状と一貫性に影響を与える。
防護ガス供給
ガスの種類、純度、流量、ノズル位置、レギュレーターの安定性、バルブ、および配管の状態は、ボール形成時の酸化制御に影響を与える。
毛細管とパッドの相互作用
毛細管の形状、ワイヤ径、パッドの材質、パッドの厚さ、および下地構造は、使用可能なボンディング範囲に影響を与える。
力と超音波応答
再現性のある相互接続を実現するには、接着力、超音波エネルギー、タイミング、および機械の機械的状態が一体となって機能する必要があります。
世代比較
K&S ICONN ProCu vs. ICONN ProCu PLUS
ProCuとProCu PLUSは、関連性はあるものの世代の異なる機器として扱うべきです。後者の名称は、単にラベルを変更しただけの同一機種を指すものではありません。
意思決定ポイント
比較
初期の銅プラットフォーム
ICONN ProCu
後の銅世代
アイコン プロキュプラス
プライマリーポジショニング
ICONN銅線ボンディング構成。
銅ボンディングサブシステムをアップグレードした、後継プラットフォーム。
プロセス生成
実際のマシンにインストールされているプロセスパッケージとソフトウェアを確認してください。
ProCu5プロセス世代で導入されました。
接着可能エリア
機種固有の情報です。モデル、インデクサ、および構成を確認してください。
公式発表では、80mm標準型と87mmLA型の構成が明らかにされた。
中古機器の点検
オリジナルの銅製ハードウェア、ソフトウェア、ガスシステムを確認してください。
PLUS世代、ProCu5構成、LA/ELAステータスおよびオプションを確認してください。
公開されているProCu PLUS 80 mmまたはLA 87 mmの情報は、それ以前のICONN ProCuマシンには適用しないでください。以前のマシンには、独自の銘板、オプションリスト、および物理的な構成チェックが必要です。
プロセス制御ポイント
銅の接合安定性を決定する6つの領域
機械の性能評価、レシピの移転、または接着結果のばらつきの調査を行う際には、これらの工程領域を見直す必要があります。
配線仕様
銅の組成、直径、スプールの状態、保管状況、および対象プロセスとの適合性を確認してください。
毛細管の形状
穴のサイズ、面取り、先端径、面角、材質は、ワイヤとパッケージの形状に適合している必要があります。
ガス環境
ガスの純度、流量の安定性、ノズルの位置、および密閉環境は、自由空気中のボール酸化に影響を与える。
ダイパッド構造
パッドの材質、厚さ、汚染、および下地構造は、安全な接合範囲に影響を与える。
機械の状態
接着ヘッドの力学的特性、トランスデューサー、力制御、EFO、およびワイヤクランプの状態は、プロセスの再現性に影響を与える。
レシピ管理
パラメータ制御、ソフトウェアバージョン、プロセスファイル、および変更管理は、マシン間の移植性に影響を与える。
マシン構成
ICONN ProCuマシンで確認すべき事項
機種名は、写真、オプション一覧、および評価対象となる特定の機械の動作状況を示す証拠によって裏付けられるべきである。
01 モデルとプロセスの生成 初期のProCuマシンと、ProCu PLUS以降の構成のマシンを分けて保管してください。
正確なモデル名、シリアル番号、製造年、マシンサフィックス、ソフトウェアバージョン、およびインストールされているプロセスパッケージ情報を記録してください。
02 EFOハードウェア 安定した銅球の形成は、EFOシステムの状態と制御に依存する。
EFOの動作、電極の状態、配線の位置、ケーブル接続、アラーム、校正、および利用可能なデモンストレーション証拠を確認してください。
03 ガス配送 機械に必要な銅製のガス供給部品が付属していることを確認してください。
ガスノズル、レギュレーター、バルブ、流量制御部品、配管、接続部、および圧力安定性を点検する。
04 ボンドヘッドとトランスデューサー 機械的条件と超音波条件は、使用可能なプロセス範囲に影響を与える。
ボンドヘッドの動き、力制御、トランスデューサの状態、ワイヤクランプ、キャピラリーインターフェース、およびメンテナンス履歴を確認してください。
05 インデクサおよびパッケージツール 銅箔貼りの工程は、対象となるパッケージを輸送して固定できる場合にのみ有効である。
トラック幅、搬送範囲、クランプ、ヒーターブロック、パッケージの向き、接着可能領域、および付属の交換部品を確認してください。
06 ソフトウェアおよびプロセスファイル 既存の認定プログラムおよび生産要件との互換性を確認してください。
ソフトウェアの改訂履歴、ライセンス、プロセスファイル、コンピュータの状態、ストレージのバックアップ、および通信インターフェースを記録する。
プロセス転送
銅製レシピを別のICONNマシンに移動
プロセスファイルだけでは、同等の接着性能を保証することはできません。受入機、工具、材料、および環境条件を、認定された供給機と比較する必要があります。
最終的な承認は、顧客独自の検証方法、パッケージ、配線、および信頼性に関する要件に基づいて行われるべきである。
プロセス移管について話し合うマシンを比較する
モデル生成、ボンドヘッド、トランスデューサー、EFO、ガスシステム、ソフトウェア、インデクサー、およびツーリングを比較してください。
材料を確認する
ワイヤ、キャピラリーチューブ、ダイパッド、リードフレームまたは基板、ガス、およびパッケージ表面の状態を一致させる。
基本レシピを確立する
ソフトウェアの互換性とマシン固有のオフセットを確認した後でのみ、適切なパラメータを転送してください。
プロセスを検証する
ボールの形成、最初の結合、ループ、2番目の結合、視覚的な結果、引張またはせん断データ、および必要な信頼性試験を確認します。
中古機器の評価
中古ICONN ProCuの点検ポイント
銅箔加工機は、通常の機械的およびソフトウェアのチェックに加え、EFOおよびガス供給ハードウェアの追加検証が必要です。
同じ機種ファミリーの別の機械を使ったデモンストレーションではなく、実際のシリアル番号に基づいた証拠を要求してください。
ネームプレートとオプション
モデル、シリアル番号、製造年、サフィックス、プロセス世代、およびインストールされているオプション情報を記録してください。
ボンドヘッド作戦
Z軸の動き、力制御、トランスデューサー、ワイヤクランプ、キャピラリーホルダー、および異常なノイズを確認してください。
EFOと銅球のテスト
EFOの動作を確認し、可能な場合は、安定した自由空気球形成の証拠を要求する。
ガスシステム点検
レギュレーター、バルブ、ノズル、配管、流量制御、警報装置、および漏れを点検する。
ビジョンとマテリアルハンドリング
カメラ、照明、パターン認識、インデクサ、クランプ、ヒーターブロック、およびパッケージ搬送装置をテストします。
ソフトウェアとデモンストレーション
ソフトウェア、ライセンス、コンピュータ、プロセスファイル、バックアップ、および利用可能なドライランまたは保証の証拠を記録する。
銅ボンディングに関するよくある質問
K&S ICONN ProCuに関するよくある質問
ProCuプラットフォーム、銅加工プロセス要件、モデル世代、中古機器の評価に関するよくある質問。
K&S ICONN ProCuとは何ですか？
これは、銅線半導体パッケージングの要件に基づいて開発された、自動熱超音波ボールワイヤボンダーの構成です。
銅線ボンディングにProCu構成が必要なのはなぜですか？
銅接合には、制御されたボール形成、適切なEFO条件、保護ガスの供給、適合する毛細管、および慎重に開発された接合パラメータが必要です。
ProCuとProCu PLUSの違いは何ですか？
ProCu PLUSは、サブシステムとProCu5プロセスをアップグレードした、より新しい世代の製品です。以前のProCu装置が、ProCu PLUSと全く同じ性能を持つとは限りません。
ICONN ProCuはすべて同じ接着面積を持っていますか？
いいえ。実際の適用範囲は、機種の世代、インデクサ、クランプ、ヒーターブロック、ソフトウェア、およびその後のアップグレードによって異なります。
ICONN ProCuは金線を接着できますか？
ワイヤーの適合性は、設置されているハードウェア、ソフトウェア、EFO、ガスシステム、キャピラリー、およびプロセス履歴から確認する必要があります。銅線構成の装置がすべて金線に対応しているとは限りません。
銅加工工程を移管する前に確認すべき事項は何ですか？
ワイヤー、キャピラリー、パッドの冶金特性、ボールの寸法、ガス、EFO、力、超音波設定、ループプロファイル、セカンドボンド、ツーリング、ソフトウェア、および機械の状態を比較してください。
中古のICONN ProCuでは、どのような点を点検すべきでしょうか？
銘板、ボンドヘッド、トランスデューサー、ワイヤクランプ、EFO、ガス供給装置、ビジョン、インデクサ、クランプ、ヒーターブロック、ソフトウェア、コンピュータ、および工具を点検します。
ICONN ProCuへの問い合わせにはどのような情報が必要ですか？
必要な世代、電線材質と直径、パッケージ図面、リードフレームまたは基板の寸法、必要な工具、希望する状態、および配送先を指定してください。
ICONN ProCuマシンと銅加工プロセスをまとめてレビューする
構成ベースのレビューのために、配線仕様書、パッケージ図面、対象モデル生成、接合可能面積要件、必要な工具、希望条件、および宛先を送付してください。