ASM AD830 Plus トラブルシューティングおよびメンテナンスガイド

の ASM AD830 Plus これは、ウェハハンドリング、ダイ認識、エジェクタアシストによるダイ分離、真空ピックアップ、銀エポキシ塗布、リードフレーム搬送、プログラムによるダイ配置、および光学検査を組み合わせた自動ダイボンディングプラットフォームです。

AD830 Plusが繰り返し停止したり、ダイ欠落状態を報告したり、パターン認識に失敗したり、不安定なエポキシ樹脂堆積物を生成したりする場合、疑わしい最初の部品を交換することが最善の診断方法となることはほとんどありません。アラームは通常、プロセスが停止した段階を特定しますが、根本原因は、ツール、材料、真空回路、機械的位置、ビジョン基準、またはパッケージ設定にある可能性があります。

この実用的なガイドでは、一般的な調査方法を説明します。 ASM AD830 Plus トラブルシューティング 問題点（以下を含む）：

• ダイ欠落アラーム

• 不安定なダイピックアップ

• 金型のひび割れまたは欠け

• ウェハPRおよびリードフレームPRの不具合

• エポキシ樹脂の塗布または刻印のばらつき

• 金型配置のオフセットと回転

• リードフレーム転送詰まり

• ボンドヘッドおよびモーションアラーム

• 予防保全計画

• AD830のスペアパーツの準備

安全に関するお知らせ： このガイドは、工程レビューおよび初期的な故障箇所特定を目的としています。電気キャビネット、サーボシステム、安全回路、空圧部品、および可動機構の点検は、資格を有する担当者のみが行ってください。機械のマニュアルおよび工場出荷時のロックアウト手順に従ってください。生産を継続するために、安全ドア、インターロック、緊急停止回路、または保護カバーを迂回しないでください。

ASM AD830 Plus のトラブルシューティングに関するクイック表

機械のパラメータを変更したり部品を交換したりする前に、以下の表を使用して、最も可能性の高い点検箇所を特定してください。

AD830 Plusのトラブルシューティングを行う前に

複数のパラメータを同時に変更することから始めないでください。複数の設定を同時に調整すると、どの変更が不具合を修正したのか、あるいは悪化させたのかを特定するのが難しくなります。

機械のカバーを開けたり、パッケージファイルを編集したりする前に、以下の点を確認してください。

1. アラームメッセージ全文とアラーム時刻を記録してください。

2. マシンのインターフェース画面のスクリーンショットを撮ってください。

3. どの処理ステーションが停止したかを記録してください。

4. その不具合が全ての製品に影響しているのか、それとも特定のパッケージのみに影響しているのかを特定してください。

5. 問題がメンテナンス、工具交換、または材料変更後に発生したかどうかを確認してください。

6. 変更を加える前に、現在のパッケージパラメータを保存またはバックアップしてください。

7. 同じアラームが同じ物理的な位置で発生するかどうかを確認してください。

8. アラームが鳴る直前の状況を、短い動画で記録してください。

9. 汚染、工具の緩み、明らかな機械的干渉がないか点検してください。

10. 一度に1つの制御変数のみを変更してください。

機械の問題か、それとも工程の問題か？

まず最初に行うべき有効なステップは、問題が機械、パッケージ、材料、または工具のいずれに起因するものかを判断することです。

1. ASM AD830 Plus ダイ欠落アラーム

金型欠落アラームは、一般的に、ピックアップシーケンス後に機械が期待される金型を検出できなかったことを意味します。これは必ずしも金型欠落センサーの故障を意味するものではありません。

サイコロには以下が備わっている可能性があります。

• ウェハテープ上に残った

• コレットとの密着に失敗した

• 選ばれた後、落とされた

• コレット内部に移動

• 射出時に損傷を受けた

• 存在していたが、不安定な真空のため検出されなかった

まずコレットを確認してください

承認されたメンテナンス手順に従ってコレットを取り外し、以下の項目を点検してください。

• ダイ接触面

• 真空開口部

• エポキシ樹脂汚染

• 粒子または破損した金型の破片

• ダイポケットの周りを着用

• ひび割れや変形

• 正しい取り付けと向き

真空開口部が部分的に塞がれている場合でも、十分な空気の流れや保持力が確保されず、真空度は測定できる可能性があります。また、ポケットが摩耗していると、ダイが回転したり、動作中にシールが剥がれたりする原因となります。

真空回路を点検する

センサーだけでなく、真空経路全体を点検してください。

1. 真空源を確認してください。

2. フレキシブルチューブに亀裂、挟み込み、汚染がないか点検してください。

3. 空気圧コネクタと継手を点検してください。

4. バルブが確実に切り替わることを確認してください。

5. ダイを使用した場合と使用しない場合の真空測定値を比較してください。

6. ボンドヘッドの移動中に読み取り値が変化するかどうかを観察してください。

7. 物理的な真空システムが安定してから、検出閾値を確認してください。

ボンディングアームが動いたときに真空値が変化する場合は、チューブの配線、ケーブルチェーンの動き、および接続部の緩みを点検してください。

ピックアップの高さとタイミングを確認してください

ピックアップの高さが適切でないと、以下のような様々な症状が現れる可能性があります。

• コレットが金型に十分に接触していない。

• コレットがダイに強く押し付けられすぎている。

• ダイが持ち上がり、その後ウェハテープ上に落下する。

• エジェクターとボンドヘッドの動作が同期していない。

• ダイはコレット内で傾く。

パッケージ設定を調整する前に、機械的な基準、コレットの長さ、ダイの厚さ、ピックアップ位置を確認してください。

イジェクターシステムを確認してください

エジェクターは、金型が割れたり、傾いたり、ずれたりすることなく、金型の排出を支える必要があります。点検項目：

• エジェクターピン先端の状態

• エジェクターピンの真直度

• ピンの高さと移動量

• ダイ下のピン位置

• エジェクターキャップの開口部と支持部

• ウェハーテープの張力

• ウェハー拡張

• 排出から回収までのタイミング

主にウェーハ端部で発生するダイ欠落アラームは、真空センサーの故障ではなく、ウェーハの膨張、フレームの平坦性、またはエジェクタ位置の問題を示している可能性があります。

AD830の欠落ダイアラームの診断でお困りですか？

アラーム画面のスクリーンショット、コレットの写真、エジェクタの動画、真空度測定値、ダイの寸法、およびウェハーテープの情報を送信してください。これらの詳細情報があれば、工具の問題と真空、エジェクタ、またはパラメータの問題を切り分けやすくなります。

2. 金型ピックアップまたは金型ドロップの不安定

AD830 Plusは、ダイのピックアップに成功しても、回転、搬送、または接合位置への移動中にダイを失ってしまうことがあります。この問題は、完全なピックアップ失敗とは異なる場合が多いです。

典型的な症状

• ダイはピックアップ直後はコレット内部に見えるが、接合前に消える。

• 機械は最初のピックアップチェックには合格するが、後になって金型が不足していると報告する。

• ダイはコレット内で回転する。

• サイコロは一定の角度で置かれていない。

• 機械内部に落下した金型が見つかった。

• 生産速度が速くなるほど、問題は悪化する。

考えられる原因

• コレットポケットがダイに対して大きすぎる。

• 真空口の位置が正しくありません。

• 金型表面は安定したシールを形成しない。

• アームを動かすと真空管から漏れが発生する。

• 排出時に金型が傾く。

• ピックアップの高さが間違っています。

• ボンドアーム加速は、プロセス条件に対して過剰です。

• 汚染によって、金型とコレットの接触面積が減少する。

推奨される診断順序

1. コレットを清掃し、点検してください。

2. コレットの寸法を金型図面と照合して確認してください。

3. 動作サイクル全体を通して真空状態の安定性を確認してください。

4. ピックアップ直後に金型の向きを確認してください。

5. エジェクターピンの位置と動作を確認してください。

6. ピックアップの高さとダイの厚さを確認してください。

7. 低速でピックアップテストを繰り返し実施する。

8. ピックアップが安定してから速度を上げてください。

破損または不適切なコレットを補うために、ピックアップ力や真空閾値を継続的に上げないでください。これは根本的な問題を隠蔽し、金型の損傷を悪化させる可能性があります。

3. 金型のひび割れ、欠け、または表面の損傷

金型割れは、排出、ピックアップ、搬送、または接合の過程で発生する可能性があります。損傷の位置と形状は、原因となった工程を特定するのに役立ちます。

ウェハーテープの状態を無視しないでください

同じ機械設定でも、ウェハテープの種類が変わると動作が異なる場合があります。確認事項：

• テープの種類

• 接着レベル

• 該当する場合の紫外線処理条件

• ウェハ実装品質

• 拡張量

• 保存期間

• 気温と環境条件

機械的な校正を変更する前に、可能な限り問題のあるウェーハと既知の安定したウェーハを比較してください。

4. ウェハPRの失敗

鮮明なカメラ画像だけでは、パターン認識の安定性を証明するものではありません。AD830 Plusは、必要な速度で、かつ通常の生産変動下でも、正しい基準を繰り返し識別する必要があります。

初回視力検査

• カメラの窓とレンズ部分を清掃してください。

• 画像にピントが合っていることを確認してください。

• 照明の明るさと均一性を確認してください。

• 正しいパッケージファイルであることを確認してください。

• 正しいウェハーとダイのリファレンスを確認してください。

• 検索範囲に不要な要素が含まれていないか確認してください。

• ウェハーに汚染、反射、または損傷したダイがないか検査します。

• ウェーハの角度と座標参照が正しいことを確認してください。

参照画像の問題

参照画像は初期設定時には機能するかもしれませんが、以下のような場合には本番環境で不安定になる可能性があります。

• 選択された特徴量は一意ではありません。

• 捜索範囲には、近隣の区画や街路のパターンが含まれます。

• ウェハー全体にわたって照明が変化する。

• 金型表面は高い反射率を示す。

• ウェハーには様々な製造工程のばらつきが含まれている。

• その参照データは、異常な金型から作成されたものである。

PR許容値を単純に上げるのではなく、安定性と再現性のある機能を選択してください。

断続的PR不全

故障が断続的に発生する場合は、以下を調査してください。

• カメラケーブルや照明ケーブルが緩んでいる

• 光源の不安定性

• 機械振動

• フォーカスムーブメント

• ウェハーテーブルの再現性

• 温度に関連した挙動

• 通信エラーまたはコントローラーエラー

欠陥が特定のウェーハ位置で発生したのか、一定の実行時間後に発生したのか、あるいは特定のボンディングヘッドの移動中に発生したのかを記録してください。

5. リードフレームPRの失敗

リードフレーム認識の問題は、必ずしもカメラ自体が原因ではありません。フレームが物理的に誤った位置に配置されていたり、支えられていなかったり、画像取得中に動いていたりする可能性もあります。

まず材料の位置を確認してください

• リードフレームは完全に所定の位置にセットされていますか？

• フレームは支柱にぴったりと密着していますか？

• 窓用クランプは材料をしっかりと固定しますか？

• 磁気アンビルは正しく取り付けられていますか？

• 鉛製のフレームは歪んでいるか、汚染されていますか？

• トラックの幅は材質に合っていますか？

• 支持部周辺にエポキシ樹脂の汚染はありますか？

画像コントラストを確認する

鉛フレームの表面は強い反射を生み出す可能性があります。レビュー：

• 照明の方向

• 照明の強度

• 露出設定

• 参照機能の選択

• 背景とフレームのコントラスト

• 表面仕上げとメッキのばらつき

材料供給業者や生産ロットによって変化するエッジや特徴の使用は避けてください。

6．エポキシ樹脂の塗布およびスタンピングに関する問題

銀エポキシ樹脂の挙動は、材料の状態、温度、圧力、時間、工具、および加工高さによって変化します。安定した機械的動作では、不適切な、または使用期限切れの加工材料を補うことはできません。

エポキシ樹脂の一般的な症状

• エポキシ樹脂の付着が欠落している

• 預金額が少なすぎる

• 預金額が大きすぎます

• 不安定な預金量

• エポキシ樹脂の尾引きまたは糸引き

• 結合位置間の橋渡し

• 預金位置オフセット

• 工具やリードフレーム表面のエポキシ汚染

• 堆積物内部の気泡

• 製造過程における材料の硬化または増粘

エポキシ材料の検査

確認する：

• 適切なエポキシ樹脂の種類

• 材料バッチ

• 保管条件

• 解凍手順

• 必要に応じて混合手順

• 準備後の作業時間

• 周囲温度

• 物質汚染

調剤システム点検

• 注射器の設置

• 針の種類と内径

• 針の詰まりまたは損傷

• 気圧と気圧安定性

• 調剤遅延

• 針の高さ

• 入金時間

• バルブ、モーター、アクチュエーターの応答

• ホースとコネクタの状態

刻印システムチェック

• 刻印工具の形状と摩耗

• 刻印深さ

• エポキシトレイレベル

• トレイ内部へのエポキシ樹脂の分布

• 工具の清潔さ

• 移送高さ

• スタンピングアームの再現性

• 工具周辺の材料の乾燥

推奨されるエポキシ診断方法

1. 金型の配置を中止し、エポキシ樹脂の付着部分のみを検査する。

2. 代表的な鉛枠上に、繰り返し堆積パターンを形成する。

3. 位置、サイズ、一貫性を測定します。

4. 材料の加工時間と温度を確認してください。

5. ディスペンシングツールまたはスタンピングツールを清掃または交換してください。

6. 圧力、高さ、またはタイミングの変数は、一度に1つだけ変更してください。

7. 堆積物が安定したら、ダイの配置を再開してください。

AD830エポキシシステム部品が必要ですか？

エポキシステーションの写真、ニードルまたはスタンピングツールの寸法、機械のシリアル番号、および不安定な堆積物の短いビデオをお送りください。これにより、必要なツール、センサー、アクチュエーター、またはマテリアルハンドリングコンポーネントを特定するのに役立ちます。

7. 金型配置のオフセットまたは回転

位置決めのずれは、ビジョンシステム、ウェハ補正、コレット内部のダイの動き、ボンドヘッドのメカニズム、またはリードフレームのサポートに起因する可能性があります。

オフセットが一貫しているかどうかを特定する

一貫したオフセットとランダムなオフセットは、通常、異なる原因で発生します。

推奨チェック順序

1. ボンディングなしでPR検索の再現性を検証する。

2. ウェーハの角度とダイの向きを確認してください。

3. ダイがコレット内で動くかどうかを確認してください。

4. コレットの摩耗や汚染を確認してください。

5. 集荷場所と保税場所の高さを確認してください。

6. リードフレームのクランプとアンビルの支持状態を確認してください。

7. ボンドヘッドの動きに異常なガタつきや抵抗がないか点検してください。

8. エンコーダーとキャリブレーションの結果を確認してください。

9. 現在のパッケージを安定版のバックアップと比較してください。

ランダムな機械的ばらつきを、固定のレシピオフセットを追加することで補正しないでください。固定オフセットは、あるサンプルのばらつきを改善する一方で、他のサンプルのばらつきを増加させる可能性があります。

8. リードフレーム転送詰まり

リードフレーム搬送システムは、入力マガジンまたはスタックローダー、プッシャー、トラック、ワーク保持部、クランプ、アンビル、センサー、および出力エレベーターで構成されます。詰まりは、フレームが停止する物理的な位置の前後どちらでも発生する可能性があります。

入力側チェック

• 正しいマガジン寸法

• 正しいスロットピッチ

• マガジンの位置合わせ

• リードフレームの向き

• プッシャーの位置合わせ

• フレーム分離

• 入力センサーの状態

• 雑誌エレベーターの動き

追跡および作業者チェック

• トラック幅

• 清潔さのガイド

• リードフレームの平面度

• 磁気アンビル位置

• ウィンドウクランプのクリアランス

• エポキシ樹脂汚染

• ネジの緩みまたはガイドのずれ

• センサーの位置合わせ

出力側チェック

• 出力マガジン位置

• マガジンスロットの位置合わせ

• エレベーターの動き

• 完成フレームの平面度

• プッシャーストローク

• 出力センサー応答

素材のバリエーション

機械が1つのリードフレームバッチは正常に動作するが、別のバッチで詰まる場合は、以下を比較してください。

• 全幅

• 厚さ

• 平坦性

• バー

• 表面汚染

• ストリップ曲率

• サプライヤー許容範囲

搬送物が経路全体を自由に移動できることを確認するまでは、搬送力を増やさないでください。

9. ボンドヘッドアラームおよびモーションアラーム

ボンドヘッドアラームが繰り返し発生する原因としては、機械的な干渉、過剰な抵抗、工具の損傷、ケーブルの問題、エンコーダーのフィードバック、モーターの状態、またはドライバーの故障などが考えられます。

以下の場合は直ちに機械を停止してください。

• ツール同士の競合が発生しました。

• ボンドヘッドから異常な機械音がする。

• 軸が正常に原点復帰できない。

• 機械は位置エラーを繰り返し報告する。

• モーター、ドライバー、またはケーブルが異常に熱くなる。

• ケーブルまたはコネクタに目に見える損傷があります。

• 軸が予期せず動く。

• 安全回路が正しく機能していません。

下見

1. アラームと軸位置を記録します。

2. 物理的な障害物がないか確認してください。

3. 工具またはコレットが正しく取り付けられていないか確認してください。

4. 承認されたサービスエリア内で目視できるケーブルとコネクタを確認してください。

5. アラームが作動したのは、メンテナンス後か衝突後かを確認してください。

6. 抵抗値が異常な軸を繰り返しリセットおよび再起動しないでください。

7. 必要に応じて、資格を有する電気設備またはモーションシステムの検査を手配してください。

モーターやドライバーを交換する際に、機械的抵抗、ケーブル、フィードバックなどを確認しないと、部品の故障が繰り返される可能性があります。

10. ASM AD830 Plusの予防保守スケジュール

実際のメンテナンス頻度は、生産量、エポキシ樹脂の汚染、ウェーハの状態、工具の摩耗、工場の手順、および承認された機械マニュアルに基づいて調整する必要があります。

推奨されるAD830 Plus交換部品

実用的な予備部品計画では、摩耗部品、汚染に弱い部品、および生産停止につながる可能性のある部品に重点を置くべきである。

ピックアップおよびエジェクター部品

• 製品固有のコレット

• エジェクターピン

• イジェクターキャップ

• 真空チューブ

• 空気圧継手

• 真空フィルター

• 真空センサーまたはスイッチ

エポキシシステム部品

• 注射針の調剤

• 注射器とホルダー

• スタンピングツール

• エポキシトレイ

• シールとコネクタ

• 圧力関連部品

• エポキシ液面センサーまたは位置センサー

マテリアルハンドリング部品

• 位置センサー

• プッシャーコンポーネント

• ベルト（該当する場合）

• マガジンハンドリングコンポーネント

• ガイドとトラック部品

• クランプ部品

• 磁気アンビル

ビジョンシステム部品

• カメラ

• レンズ

• 照明器具

• カメラケーブル

• 照明ケーブルとコントローラー

モーションおよび電気部品

• モーター

• エンコーダー

• モータードライバー

• コントロールボード

• 電源

• 入出力モジュール

• 機械ケーブル

機械のシリアル番号、取り付け済みモジュールの写真、旧部品のラベル、コネクタの詳細などを参考に、すべての部品を確認してください。機械のモデル名だけでAD830の部品を購入しないでください。

リモートAD830トラブルシューティングに必要な情報

「AD830が動作しません」というメッセージだけでは、障害が発生したシステムを特定できません。以下の診断パッケージを準備してください。

• 正確な機械モデル

• 機械のシリアル番号

• 製造年

• ソフトウェアバージョン（利用可能な場合）

• アラームの全文とコード

• アラームのスクリーンショット

• アラーム発生前のシーケンスを示すビデオ

• 被害を受けた駅の写真

• 最近のメンテナンスや衝突に関する情報

• 最近交換した部品

• 金型の寸法と厚さ

• ウェハーサイズとウェハーテープ情報

• リードフレームの寸法

• エポキシ樹脂の種類と製造工程

• コレットとエジェクターの写真

• 該当する場合は真空度測定

• 故障の頻度

• 障害が1つのパッケージに影響するか、すべてのパッケージに影響するか

ASM AD830 Plusの技術サポートを依頼する

当社は、お客様がASM AD830 Plusマシンの不具合、交換部品、工具要件、中古マシンの構成、および生産互換性を確認する際のサポートを提供します。

機械のシリアル番号、アラーム画面のスクリーンショット、影響を受けたモジュールの写真、および短い動作動画をお送りください。ピックアップまたは配置の問題の場合は、ダイ、ウェーハ、リードフレーム、コレット、およびエジェクタの情報も併せてお送りください。

機械はいつ技術者による点検を受けるべきでしょうか？

以下の場合は予備作業を中止し、資格のある技術者による検査を手配してください。

• 機械にボンドヘッドまたは工具の衝突が発生しました。

• 軸が原点復帰できない、または異常な動きをする。

• 電気系統の燃焼、異常な熱、または煙が検出されました。

• 安全インターロックまたは緊急回路は信頼性が低い。

• 同じモーターまたはドライバーが繰り返し故障する。

• 機械に著しい機械的振動が見られる。

• 校正を完了できません。

• 金型や工程のチェック後も、配置のばらつきが残る。

• 制御基板、サーボシステム、または高電圧回路はテストが必要です。

• 修理には機械の調整または精密測定機器が必要です。

関連するASM AD830 Plusリソース

装置の構成、プロセスの互換性、およびパッケージの移送については、ASM AD830ダイボンダーのプロセスおよびセットアップガイドを参照してください。

利用可能な機器、検査範囲、機械の状態、および見積もり要件については、中古のASM AD830 Plusダイボンダーの情報を確認してください。

半導体ダイボンディング装置の詳細については、ダイボンディング装置のセクションをご覧ください。

よくある質問

ASM AD830 Plusがダイ欠落アラームを報告するのはなぜですか？

ダイがウェハテープ上に残ったり、コレットに密着しなかったり、移動中に落下したり、真空測定値が不安定になったりする可能性があります。ダイ欠落センサーを交換する前に、コレット、真空回路、ピックアップ高さ、エジェクタの動作、ウェハの膨張、テープの状態を確認してください。

なぜダイはウェハーテープ上に残るのか？

考えられる原因としては、エジェクタの高さ不足、摩耗または不適切なエジェクタピン、テープの接着力の高さ、不安定なウェーハ膨張、ピックアップタイミングの誤り、不適切なコレット、または不適切なピックアップ高さなどが挙げられます。

ダイピックアップが不安定になる原因は何ですか？

一般的な原因としては、コレットの詰まりや摩耗、真空漏れ、ダイとコレットの嵌合不良、ピックアップ高さの不適切、ダイの解放の不安定さ、チューブの損傷、ボンディングアーム加速時のダイの過剰な動きなどが挙げられます。

AD830 Plusがウェハーパターン認識に失敗する理由は？

カメラの焦点、レンズの清浄度、照明、参照画像の品質、探索領域、ウェハの位置、ウェハの角度、および選択したパッケージファイルを確認してください。鮮明なカメラ画像が必ずしも安定したパターン認識を保証するわけではありません。

銀エポキシ樹脂の堆積物が不安定になる原因は何ですか？

エポキシ樹脂の状態、作業時間、粘度、温度、空気圧、ニードルまたはスタンプの状態、プロセス高さ、タイミング、トレイレベル、および汚染はすべて、堆積量と再現性に影響を与える可能性があります。

なぜ金型がずれて配置されたり、回転方向が間違っていたりするのですか？

考えられる原因としては、PRの不安定性、基準位置の誤り、コレット内部でのダイの動き、コレットの摩耗、ウェーハのθ誤差、不適切なボンディング高さ、リードフレームの動き、アンビルサポートの不良、または機械的なキャリブレーションの問題などが挙げられます。

AD830 Plus内部でリードフレームが詰まるのはなぜですか？

マガジンの位置合わせ、トラック幅、リードフレームの平面度、プッシャーの動き、ガイド、クランプ、アンビル、センサー、出力マガジンの位置を点検してください。エポキシ樹脂の汚染や材料のバリも搬送を妨げる可能性があります。

AD830コレットはどのくらいの頻度で清掃すべきですか？

洗浄頻度は、生産量、金型の状態、エポキシ樹脂の汚染、および工場の手順によって異なります。コレットは定期的に点検し、汚染、ピックアップの不安定性、または金型の動きが観察された場合は、洗浄する必要があります。

AD830のどのスペアパーツを在庫しておくべきですか？

一般的に用意される部品には、コレット、エジェクタピン、エジェクタキャップ、真空チューブ、空気圧継手、ディスペンシングニードル、スタンピングツール、センサー、製品固有のアンビルまたはクランプなどがあります。重要な電子部品は、機械の状態と生産リスクに応じて選定する必要があります。

AD830 Plusは、アラームコードだけで診断できますか？

アラームコードは役立ちますが、通常はプロセスが停止した段階しか特定できません。正確な診断には、機械のシリアル番号、故障時の映像、影響を受けたステーション、材料情報、メンテナンス履歴、関連するパラメータや真空度測定値なども必要です。

ウェハーやリードフレームなしで、この装置のテストは可能ですか？

ドライサイクルでは基本的な動作は確認できますが、金型離型性、真空ピックアップ、エポキシ樹脂の挙動、材料移送、配置品質、検査安定性などを完全に評価することはできません。最終検証には、代表的な生産材料を使用することをお勧めします。