Guida alla risoluzione dei problemi e alla manutenzione dell'ASM AD830 Plus

IL ASM AD830 Plus Si tratta di una piattaforma automatica per il die bonding che combina la gestione dei wafer, il riconoscimento dei chip, la separazione dei chip assistita da espulsore, il prelievo a vuoto, l'applicazione di resina epossidica argentata, il trasporto dei lead frame, il posizionamento programmato dei chip e l'ispezione ottica.

Quando un AD830 Plus si arresta ripetutamente, segnala un'anomalia relativa al chip mancante, non riesce a riconoscere il pattern o produce depositi di resina epossidica instabili, la sostituzione del primo componente sospetto raramente rappresenta il metodo diagnostico migliore. L'allarme di solito identifica la fase in cui il processo si è interrotto, ma la causa principale potrebbe risiedere nell'utensile, nel materiale, nel circuito del vuoto, nella posizione meccanica, nel riferimento visivo o nelle impostazioni del package.

Questa guida pratica spiega come indagare sui problemi comuni ASM AD830 Plus Risoluzione dei problemi problemi, tra cui:

  • Allarmi di dadi mancanti

  • prelievo di matrice instabile

  • La matrice si crepa o si scheggia

  • Guasti al PR del wafer e al PR del lead frame

  • Erogazione o stampaggio incoerenti della resina epossidica

  • Offset e rotazione del posizionamento dello stampo

  • Inceppamenti nel trasferimento del leadframe

  • Allarmi di movimento e di rilevamento della presenza di oggetti

  • Pianificazione della manutenzione preventiva

  • Preparazione dei pezzi di ricambio AD830

Avviso di sicurezza: Questa guida è destinata alla revisione del processo e all'individuazione preliminare dei guasti. I quadri elettrici, i sistemi servoassistiti, i circuiti di sicurezza, i componenti pneumatici e i meccanismi mobili devono essere ispezionati esclusivamente da personale qualificato. Attenersi al manuale della macchina e alle procedure di blocco in fabbrica. Non bypassare mai una porta di sicurezza, un interblocco, un circuito di arresto di emergenza o una copertura protettiva per continuare la produzione.

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Tabella rapida per la risoluzione dei problemi di ASM AD830 Plus

Utilizzare la tabella seguente per identificare l'area di ispezione più probabile prima di modificare i parametri della macchina o sostituire i componenti.

Sintomo della macchinaSistema probabilePrimi elementi da controllarePossibili parti o strumenti
Allarme di dado mancanteAspirazione o rilascio dello stampoPulizia della pinza, lettura del vuoto, altezza di prelievo, azione dell'espulsore e nastro di waferPinza, tubo a vuoto, raccordo pneumatico, sensore, perno di espulsione
Il chip rimane sul nastro di waferEspulsore e supporto per waferAltezza del perno di espulsione, condizioni della punta, espansione del wafer, adesione del nastro e tempistica di prelievoPerno di espulsione, cappuccio di espulsione, componenti di espansione del wafer
Il dado cade dopo il prelievocircuito a vuoto o pinzaPerdita di vuoto, apertura della pinza, ritardo del vuoto, tubi e accoppiamento matrice-pinza.Pinza, tubo flessibile, connettore, valvola o sensore di vuoto
La matrice si crepa durante il prelievoEspulsore, pinza o impostazione della forzaGeometria dell'espulsore, posizione del perno, altezza di prelievo, contatto della pinza e condizioni del nastro di waferPerno di espulsione, cappuccio di espulsione e pinza
Guasto del wafer PRSistema di visione o condizione del waferMessa a fuoco, illuminazione, pulizia dell'obiettivo, immagine di riferimento, area di ricerca e posizione del waferFotocamera, obiettivo, sorgente luminosa, cavo o controller di visione
Guasto del PR del leadframeVisione, posizionamento del materiale o bloccaggioPosizione del fotogramma, condizione di fissaggio, contrasto, illuminazione e elemento di riferimentoTelecamera, unità di illuminazione, morsetto, incudine o sensore di posizione
Resina epossidica mancante o instabileSistema di erogazione o di stampaggioCondizioni della resina epossidica, pressione, ago o stampo, altezza del processo, ritardo e contaminazioneAgo, siringa, strumento di stampaggio, vassoio, sigillo, motore o sensore
Offset di posizionamento dello stampoPR, attrezzatura o riferimento meccanicoRipetibilità della visione, correzione theta, usura del mandrino, altezza del legame e supporto del lead framePinza, telecamera, encoder, incudine, morsetto o componente della testa di incollaggio
Inceppamento del trasferimento del leadframeIngresso, traccia, supporto di lavoro o uscitaLarghezza della pista, planarità del telaio, allineamento del caricatore, spingitore e sensoriSensore, spintore, cinghia, guida, motore o componente del caricatore
Allarme ripetuto della testa di collegamentoMovimento, cavo, motore o sistema meccanicoOstruzione, collisione con l'utensile, condizioni del cavo, feedback dell'encoder e resistenza anomalaMotore, encoder, driver, cavo, cuscinetto o collegamento meccanico

Prima di risolvere i problemi di un AD830 Plus

Non iniziare modificando più parametri contemporaneamente. Se si regolano diverse impostazioni allo stesso tempo, diventa difficile identificare quale modifica ha corretto o peggiorato il problema.

Prima di aprire il coperchio di una macchina o di modificare il file di configurazione, eseguire i seguenti controlli:

  1. Registrare il messaggio di allarme completo e l'orario in cui si è verificato l'allarme.

  2. Scatta una schermata dell'interfaccia della macchina.

  3. Annotare quale stazione del processo si è fermata.

  4. Verificare se il difetto interessa tutti i prodotti o solo una confezione.

  5. Verificare se il problema è iniziato dopo la manutenzione, la sostituzione di un utensile o un cambio di materiale.

  6. Salva o esegui un backup dei parametri del pacchetto corrente prima di apportare modifiche.

  7. Verifica se lo stesso allarme si verifica nella stessa posizione fisica.

  8. Utilizza un breve video per registrare la procedura immediatamente prima che scatti l'allarme.

  9. Verificare la presenza di contaminazioni, attrezzi allentati e evidenti interferenze meccaniche.

  10. Modificare una sola variabile controllata alla volta.

Problema alla macchina o problema di processo?

Un primo passo utile è determinare se il problema dipende dalla macchina, dalla confezione, dal materiale o dall'utensile.

Test diagnosticoPossibile conclusione
Lo stesso pacchetto funziona normalmente su un altro AD830 PlusIl problema è più probabilmente legato alla configurazione della macchina, alla calibrazione, agli utensili o all'hardware.
Più pacchetti mostrano lo stesso errore su una macchinaEsaminare un sistema di macchine condivise come ad esempio un sistema di aspirazione, visione artificiale, movimentazione o trasporto di materiali.
Il problema si manifesta solo su un singolo wafer o lotto di materiale.Esaminare il nastro wafer, le condizioni del die, le dimensioni del lead frame, la resina epossidica o la movimentazione del materiale.
Il problema si è manifestato subito dopo la sostituzione dell'utensile.Verificare le dimensioni dell'utensile, l'altezza di installazione, l'allineamento e la calibrazione.
Il problema è iniziato dopo la modifica del file di pacchetto.Confronta il pacchetto corrente con l'ultimo backup stabile noto.
Il guasto si verifica solo dopo una produzione prolungataVerificare la presenza di contaminanti, la temperatura, il tempo di lavorazione della resina epossidica, il degrado dovuto al vuoto o il riscaldamento meccanico.

1. Allarme di chip mancante ASM AD830 Plus

Un allarme di chip mancante generalmente indica che la macchina non ha rilevato il chip previsto dopo la sequenza di prelievo. Ciò non significa automaticamente che il sensore di chip mancante sia difettoso.

Il dado può avere:

  • Rimase sul nastro di wafer

  • Non è riuscito a sigillare contro il mandrino

  • È stato raccolto e poi lasciato cadere

  • Spostato all'interno della pinza

  • Danneggiato durante l'espulsione

  • Presente ma non rilevabile a causa del vuoto instabile

Controllare prima la pinza

Rimuovere la pinza secondo la procedura di manutenzione approvata e ispezionarla:

  • La superficie di contatto del chip

  • L'apertura del vuoto

  • Contaminazione epossidica

  • Particelle o frammenti di dado rotto

  • Usura intorno alla tasca della matrice

  • Crepe o deformazioni

  • Montaggio e orientamento corretti

Un'apertura di aspirazione parzialmente ostruita può comunque generare una lettura di vuoto senza fornire un flusso d'aria sufficiente o una forza di tenuta adeguata per un prelievo affidabile. Anche una sede usurata può consentire alla matrice di ruotare o perdere la tenuta durante il movimento.

Ispezionare il circuito del vuoto

Verifica l'intero percorso del vuoto, non solo il sensore:

  1. Verificare la fonte di aspirazione.

  2. Ispezionare i tubi flessibili per verificare la presenza di crepe, schiacciamenti e contaminazioni.

  3. Verificare i connettori e i raccordi pneumatici.

  4. Verificare che le valvole si attivino e disattivino in modo coerente.

  5. Confronta le letture del vuoto con e senza matrice.

  6. Osservare se la lettura cambia durante il movimento della testina di aggancio.

  7. Verificare le soglie di rilevamento solo dopo che il sistema di aspirazione fisico si è stabilizzato.

Se il valore del vuoto cambia quando il braccio di collegamento si muove, controllare il percorso dei tubi, il movimento della catena portacavi e la presenza di connessioni allentate.

Verifica altezza e tempistica di prelievo

Un'altezza di sollevamento errata può causare diversi sintomi:

  • La pinza non entra in contatto con la matrice in modo sufficiente.

  • La pinza esercita una pressione eccessiva sullo stampo.

  • Il chip si solleva e poi ricade sul nastro del wafer.

  • L'espulsore e la testina di incollaggio funzionano in modo non sincronizzato.

  • La matrice si inclina all'interno del mandrino.

Prima di regolare l'impostazione del packaging, verificare il riferimento meccanico, la lunghezza della pinza, lo spessore della matrice e la posizione di prelievo.

Controllare il sistema di espulsione

L'estrattore deve consentire il distacco dello stampo senza romperlo, inclinarlo o spostarlo. Ispezionare:

  • Condizione della punta del perno di espulsione

  • rettilineità del perno di espulsione

  • Altezza del perno e corsa

  • Posizione del perno sotto la matrice

  • Apertura e supporto del cappuccio di espulsione

  • Tensione del nastro di wafer

  • Espansione dei wafer

  • Tempistica tra espulsione e recupero

Un allarme di chip mancante che si manifesta principalmente sul bordo del wafer potrebbe indicare un problema di espansione del wafer, planarità del telaio o posizione dell'espulsore, piuttosto che un guasto del sensore di vuoto.

Hai bisogno di aiuto per diagnosticare un allarme di chip mancante nell'AD830?

Invia lo screenshot dell'allarme, la fotografia della pinza, il video dell'espulsore, la lettura del vuoto, le dimensioni del die e le informazioni sul nastro wafer. Questi dettagli facilitano la distinzione tra un problema di utensileria e un problema di vuoto, di espulsione o di parametri.

2. Prelievo o caduta instabile del dado

Un AD830 Plus può prelevare correttamente un chip, ma perderlo durante la rotazione, il trasferimento o lo spostamento verso la posizione di incollaggio. Questo problema spesso differisce da un completo fallimento del prelievo.

Sintomi tipici

  • Lo stampo è visibile all'interno della pinza subito dopo il prelievo, ma scompare prima della saldatura.

  • La macchina supera il controllo iniziale di prelievo, ma in seguito segnala la mancanza di una matrice.

  • La matrice ruota all'interno del mandrino.

  • Lo stampo è posizionato con un'angolazione non uniforme.

  • All'interno della macchina sono stati ritrovati i dadi caduti.

  • Il problema si aggrava con l'aumentare della velocità di produzione.

Possibili cause

  • L'alloggiamento del mandrino è troppo grande per la matrice.

  • L'apertura per l'aspirazione non è posizionata correttamente.

  • La superficie dello stampo non forma una tenuta stabile.

  • Il tubo a vuoto perde durante il movimento del braccio.

  • Il dado si inclina durante l'espulsione.

  • L'altezza di prelievo non è corretta.

  • L'accelerazione del braccio di legame è troppo aggressiva per le condizioni del processo.

  • La contaminazione riduce l'area di contatto tra la matrice e il collettore.

Ordine diagnostico consigliato

  1. Pulire e ispezionare la pinza.

  2. Verificare le dimensioni del mandrino confrontandole con il disegno dello stampo.

  3. Verificare la stabilità del vuoto durante l'intero ciclo di movimento.

  4. Osservare immediatamente l'orientamento dello stampo dopo averlo prelevato.

  5. Verificare la posizione e il funzionamento del perno di espulsione.

  6. Verificare l'altezza di prelievo e lo spessore dello stampo.

  7. Eseguire ripetutamente test di prelievo a velocità ridotta.

  8. Aumentare la velocità solo dopo che l'acceleratore si è stabilizzato.

Non compensare un mandrino danneggiato o errato aumentando continuamente la forza di presa o le soglie di aspirazione. Ciò potrebbe nascondere il problema originale e aumentare i danni allo stampo.

3. Crepe, scheggiature o danni superficiali dello stampo

La rottura dello stampo può verificarsi durante l'espulsione, il prelievo, il trasferimento o l'incollaggio. La posizione e la forma del danno possono aiutare a identificare la fase responsabile.

Osservazione del dannoPossibile areaAssegni
Crepa vicino al centro dello stampoForza del perno di espulsione o area dello stampo non supportataAltezza del perno, geometria della punta, cappuccio di espulsione e supporto per nastro wafer
Bordo dello stampo scheggiatoMovimento della tasca della pinza o della matrice lateraleDimensioni della pinza, usura della tasca, rotazione della matrice e allineamento del prelievo
Graffi sulla superficie dello stampoPinza contaminata o danneggiataSuperficie di contatto, particelle incorporate e metodo di pulizia
Il danno si manifesta dopo l'incollaggioaltezza di adesione, forza o supporto del substratoLivello di adesione, impostazione della forza, incudine, morsetto e planarità del substrato
I danni si verificano principalmente sui chip sottiliFinestra di attrezzaggio e processoDesign del perno, forza di prelievo, condizioni del nastro e geometria del supporto

Non ignorare le condizioni del nastro wafer

La stessa impostazione della macchina può comportarsi in modo diverso quando si cambia il nastro del wafer. Revisione:

  • Tipo di nastro

  • Livello di adesione

  • Condizioni di trattamento UV ove applicabili

  • Qualità di montaggio dei wafer

  • Importo dell'espansione

  • tempo di conservazione

  • Temperatura e condizioni ambientali

Prima di modificare la calibrazione meccanica, confrontare, ove possibile, un wafer problematico con un wafer stabile di cui si ha la certezza.

4. Guasto del wafer PR

Un'immagine nitida ripresa dalla telecamera non garantisce la stabilità del riconoscimento del pattern. L'AD830 Plus deve identificare ripetutamente il riferimento corretto alla velocità richiesta e in condizioni di normale variabilità produttiva.

Controlli iniziali della vista

  • Pulisci la finestra della fotocamera e l'obiettivo.

  • Verifica che l'immagine sia a fuoco.

  • Verificare l'intensità e l'uniformità dell'illuminazione.

  • Verificare che il file del pacchetto sia corretto.

  • Confermare il riferimento corretto al wafer e al die.

  • Verifica se l'area di ricerca contiene elementi superflui.

  • Ispezionare il wafer per verificare la presenza di contaminazioni, riflessi o chip danneggiati.

  • Verificare che l'angolo theta del wafer e i riferimenti alle coordinate siano corretti.

Problemi con le immagini di riferimento

Un'immagine di riferimento può funzionare durante la configurazione iniziale ma diventare instabile durante la produzione se:

  • La caratteristica selezionata non è unica.

  • L'area di ricerca comprende le matrici vicine o i modelli stradali.

  • L'illuminazione varia lungo il wafer.

  • La superficie dello stampo è altamente riflettente.

  • Il wafer contiene diverse varianti di processo.

  • Il riferimento è stato creato a partire da uno stampo anomalo.

Invece di aumentare semplicemente la tolleranza PR, scegli una caratteristica stabile e ripetibile.

Guasto intermittente della PR

Quando il guasto è intermittente, indagare:

  • Cavi allentati della fotocamera o dell'illuminazione

  • Instabilità della sorgente luminosa

  • Vibrazione meccanica

  • Movimento di focalizzazione

  • Ripetibilità del piano di lavoro per wafer

  • Comportamento legato alla temperatura

  • Errori di comunicazione o del controller

Annotare se il difetto si manifesta in una determinata posizione del wafer, dopo un certo tempo di funzionamento o durante uno specifico movimento della testina di incollaggio.

5. Fallimento del PR del Lead-Frame

I problemi di riconoscimento del telaio di riferimento non sono sempre causati dalla telecamera. Il telaio potrebbe essere posizionato in modo errato, non essere supportato o muoversi durante l'acquisizione dell'immagine.

Verificare prima la morte materiale

  • Il telaio principale è completamente indicizzato in posizione?

  • Il telaio è ben aderente al supporto?

  • Il morsetto per finestre trattiene il materiale in modo uniforme?

  • L'incudine magnetica è installata correttamente?

  • Il telaio di piombo è deformato o contaminato?

  • La larghezza del binario è compatibile con il materiale?

  • È presente contaminazione da resina epossidica intorno all'area di supporto?

Controlla il contrasto dell'immagine

Le superfici dei telai di piombo possono creare forti riflessi. Recensione:

  • Direzione dell'illuminazione

  • Intensità luminosa

  • Impostazione dell'esposizione

  • Selezione delle caratteristiche di riferimento

  • Contrasto tra sfondo e cornice

  • Variazioni nella finitura superficiale e nella placcatura

Evitate di utilizzare un bordo o una caratteristica che varia a seconda del fornitore del materiale o del lotto di produzione.

6. Problemi di erogazione e stampaggio della resina epossidica

Il comportamento della resina epossidica argentata varia in base alle condizioni del materiale, alla temperatura, alla pressione, al tempo, agli utensili e all'altezza del processo. Un movimento meccanico stabile non può compensare un materiale di processo inadatto o scaduto.

Sintomi comuni della resina epossidica

  • Deposito di resina epossidica mancante

  • Deposito troppo basso

  • Deposito troppo elevato

  • Volume di deposito instabile

  • Coda o cordoncino in resina epossidica

  • Collegamento tra posizioni di legame

  • Compensazione della posizione di deposito

  • Contaminazione da resina epossidica su utensili o superfici di lead frame

  • Bolle d'aria all'interno del deposito

  • Indurimento o ispessimento del materiale durante la produzione

Verifiche dei materiali epossidici

Confermare:

  • Tipo di resina epossidica corretto

  • Lotto di materiale

  • Condizioni di conservazione

  • Procedura di scongelamento

  • Procedura di miscelazione ove necessario

  • Tempo di lavoro dopo la preparazione

  • Temperatura ambiente

  • Contaminazione del materiale

Controlli del sistema di erogazione

  • Installazione della siringa

  • Tipo di ago e diametro interno

  • Ostruzione o danneggiamento dell'ago

  • Pressione atmosferica e stabilità della pressione

  • Ritardo di erogazione

  • altezza industriale

  • Orario di deposito

  • Risposta di valvola, motore e attuatore

  • Condizioni del tubo flessibile e del connettore

Controlli del sistema di timbratura

  • Forma e usura dello strumento di stampaggio

  • Profondità di stampaggio

  • Livello del vassoio in resina epossidica

  • Distribuzione della resina epossidica all'interno del vassoio

  • Pulizia degli utensili

  • Altezza di trasferimento

  • Ripetibilità del braccio di stampaggio

  • Il materiale si asciuga intorno all'utensile

Metodo diagnostico raccomandato per le resine epossidiche

  1. Interrompere il posizionamento dello stampo e ispezionare separatamente i depositi di resina epossidica.

  2. Creare uno schema di deposito ripetuto su telai di riferimento rappresentativi.

  3. Misurare posizione, dimensioni e consistenza.

  4. Verificare il tempo e la temperatura di lavorazione del materiale.

  5. Pulire o sostituire l'utensile di erogazione o di stampaggio.

  6. Modificare una sola variabile alla volta tra pressione, altezza o temporizzazione.

  7. Reintrodurre il posizionamento dello stampo dopo che il deposito si è stabilizzato.

Hai bisogno di ricambi per il sistema epossidico AD830?

Inviate la fotografia della stazione di resina epossidica, le dimensioni dell'ago o dell'utensile di stampaggio, il numero di serie della macchina e un breve video del deposito instabile. Questo ci aiuterà a identificare l'utensile, il sensore, l'attuatore o il componente di movimentazione del materiale necessario.

7. Disallineamento o rotazione del posizionamento dello stampo

Lo scostamento di posizionamento può derivare dal sistema di visione, dalla correzione del wafer, dal movimento del die all'interno del mandrino, dalla meccanica della testina di incollaggio o dal supporto del lead-frame.

Verificare se l'offset è coerente

Uno scostamento costante e uno scostamento casuale hanno solitamente cause diverse.

Modello sfalsatoPossibile causa
Stesso offset XY su ogni chipOffset della ricetta, insegnamento di riferimento o calibrazione meccanica
Variazione casuale XYInstabilità PR, movimento dello stampo nella pinza, movimento del materiale o ripetibilità meccanica
La rotazione varia in modo casualeMontaggio pinza, stabilità del vuoto, correzione theta o rilascio stampo
Variazioni di offset in base alla posizione del leadframeSupporto materiale, riferimento traccia, deformazione del frame o riferimento PR locale
L'offset aumenta dopo una lunga produzioneContaminazione dell'utensile, riscaldamento meccanico, variazione del materiale o cambiamento di messa a fuoco

Ordine di pagamento consigliato

  1. Verificare la ripetibilità della ricerca PR senza vincolo.

  2. Verificare l'orientamento del wafer (theta) e del chip.

  3. Verificare se la matrice si muove all'interno del mandrino.

  4. Controllare la pinza per verificare l'eventuale presenza di usura e contaminazione.

  5. Confermare le altezze di prelievo e di collegamento.

  6. Verificare il fissaggio del telaio principale e il supporto dell'incudine.

  7. Verificare il movimento della testina di incollaggio per individuare eventuali giochi o resistenze anomale.

  8. Esaminare i risultati dell'encoder e della calibrazione.

  9. Confronta il pacchetto corrente con un backup stabile.

Non correggere le variazioni meccaniche casuali aggiungendo un offset fisso alla ricetta. Un offset fisso può migliorare un campione ma aumentare la variabilità altrove.

8. Inceppamento del trasferimento del lead frame

Il trasporto del telaio di supporto comprende il caricatore di ingresso o di pila, lo spintore, il binario, l'area di bloccaggio del pezzo, il morsetto, l'incudine, i sensori e l'elevatore di uscita. Un inceppamento può originarsi prima o dopo il punto fisico in cui il telaio si arresta.

Controlli lato input

  • Dimensioni corrette del caricatore

  • Passo della fessura corretto

  • Allineamento della rivista

  • Orientamento del telaio principale

  • Allineamento del dispositivo di spinta

  • separazione dei fotogrammi

  • condizione del sensore di ingresso

  • Movimento dell'ascensore-rivista

Tracciamento e controlli dei lavoratori

  • larghezza della pista

  • Pulizia della guida

  • planarità del lead frame

  • Posizione dell'incudine magnetica

  • Spazio libero per il morsetto della finestra

  • Contaminazione epossidica

  • Viti allentate o guide dislocate

  • Allineamento del sensore

Controlli lato output

  • Posizione di output del lettore

  • Allineamento dello slot del caricatore

  • Movimento dell'ascensore

  • planarità del telaio finito

  • Movimento di spinta

  • Risposta del sensore di uscita

Variazione del materiale

Se la macchina esegue un lotto di lead frame ma si inceppa con un altro, confrontare:

  • larghezza complessiva

  • Spessore

  • Piattezza

  • Burre

  • Contaminazione superficiale

  • Curvatura della striscia

  • Tolleranza del fornitore

Non aumentare la forza di trasporto prima di aver verificato che il materiale possa muoversi liberamente lungo tutto il percorso.

9. Allarmi Bond-Head e di movimento

Un allarme ripetuto della testina di saldatura può essere causato da interferenze meccaniche, resistenza eccessiva, un utensile danneggiato, problemi al cavo, feedback dell'encoder, condizioni del motore o guasti del driver.

Arrestare immediatamente la macchina quando:

  • Si è verificata una collisione tra utensili.

  • La testina di incollaggio emette un rumore meccanico anomalo.

  • L'asse non riesce a tornare alla posizione iniziale correttamente.

  • La macchina segnala ripetuti errori di posizionamento.

  • Un motore, un driver o un cavo si surriscaldano in modo anomalo.

  • Sono presenti danni visibili al cavo o al connettore.

  • L'asse si muove in modo inaspettato.

  • Il circuito di sicurezza non funziona correttamente.

Ispezione preliminare

  1. Registrare l'allarme e la posizione dell'asse.

  2. Verificare la presenza di ostruzioni fisiche.

  3. Verificare che l'utensile o la pinza di serraggio non siano installati in modo errato.

  4. Verificare la presenza di cavi e connettori visibili nell'area di servizio autorizzata.

  5. Verifica se l'allarme si è attivato dopo un intervento di manutenzione o una collisione.

  6. Non ripristinare e riavviare ripetutamente un asse con resistenza anomala.

  7. Organizzare, se necessario, un'ispezione qualificata degli impianti elettrici o dei sistemi di movimentazione.

La sostituzione di un motore o di un driver senza aver prima verificato la resistenza meccanica, i cavi e il feedback può causare ripetuti guasti ai componenti.

10. Programma di manutenzione preventiva per ASM AD830 Plus

La frequenza effettiva della manutenzione deve essere regolata in base al volume di produzione, alla contaminazione della resina epossidica, alle condizioni dei wafer, all'usura degli utensili, alle procedure di fabbrica e al manuale della macchina approvato.

Frequenza consigliataArea di manutenzioneLavoro consigliato
Ogni turnoProduzione e attrezzatureControllare gli allarmi, ispezionare la pinza, rimuovere le contaminazioni visibili di resina epossidica e verificare l'aspirazione.
QuotidianoWafer, tracciamento e visionePulire le superfici del piano di lavoro per wafer, le guide di trasporto, le finestre della telecamera e le aree accessibili per i supporti di lavoro.
QuotidianoProcesso epossidicoIspezionare aghi o strumenti di stampaggio, vassoi, siringhe, pressione e condizioni del materiale.
SettimanaleSistema di prelievoIspezionare le pinze di serraggio, i perni di espulsione, i cappucci di espulsione, i tubi di aspirazione, i raccordi e la ripetibilità del prelievo.
SettimanaleMovimentazione dei materialiIspezionare caricatori, spintori, sensori, guide di scorrimento, morsetti, incudini e trasferimento di uscita.
MensileMovimento e caviVerificare il percorso visibile dei cavi, i connettori, la presenza di rumori anomali, la ripetibilità degli assi e i segni di collisione.
MensileSistema di visioneVerificare la messa a fuoco, la coerenza dell'illuminazione, la ripetibilità del rapporto segnale/rumore e la stabilità dell'immagine della fotocamera.
Trimestrale o in base all'utilizzoProcesso di elaborazioneEseguire ripetutamente i controlli di prelievo, posizionamento, ispezione e trasferimento del materiale utilizzando campioni rappresentativi.
Dopo la collisioneMeccanica e calibrazionePrima di riavviare la produzione, ispezionare gli utensili, la testina di incollaggio, l'espulsore, il portapezzi, le telecamere e la calibrazione.
Presto la chiusuraDati e conservazioneEseguire il backup dei file del pacchetto, registrare le impostazioni, rimuovere il materiale di processo e proteggere le aree sensibili.

Ricambi consigliati per AD830 Plus

Un piano pratico per i pezzi di ricambio dovrebbe concentrarsi sulle parti soggette a usura, sulle parti sensibili alla contaminazione e sui componenti che possono interrompere la produzione.

Componenti di prelievo ed espulsione

  • Pinze specifiche per il prodotto

  • Perni di espulsione

  • Tappi di espulsione

  • Tubo a vuoto

  • Raccordi pneumatici

  • Filtri a vuoto

  • Sensori o interruttori a vuoto

Componenti del sistema epossidico

  • Distribuzione di aghi

  • Siringhe e supporti

  • Strumenti per timbratura

  • vassoi in resina epossidica

  • Guarnizioni e connettori

  • Componenti correlati alla pressione

  • Sensori di livello o di posizione per resina epossidica

Componenti per la movimentazione dei materiali

  • Sensori di posizione

  • Componenti di spinta

  • Cinture di sicurezza, ove necessario

  • Componenti per la gestione dei caricatori

  • Parti di guida e di tracciamento

  • Componenti di serraggio

  • Incudini magnetiche

Componenti del sistema di visione

  • Telecamere

  • Lenti

  • Unità di illuminazione

  • Cavi per fotocamera

  • Cavi e controller per l'illuminazione

Componenti di movimento ed elettrici

  • Motori

  • Codificatori

  • conducenti di automobili

  • Schede di controllo

  • Alimentatori

  • Moduli I/O

  • Cavi per macchine

Verifica ogni componente utilizzando il numero di serie della macchina, la fotografia del modulo installato, l'etichetta del vecchio componente e i dettagli del connettore. Non acquistare un componente AD830 basandoti solo sul modello della macchina.

Informazioni necessarie per la risoluzione remota dei problemi dell'AD830

Un messaggio che indica "l'AD830 non funziona" non è sufficiente per identificare il sistema guasto. Preparare il seguente pacchetto diagnostico:

  • Modello esatto della macchina

  • Numero di serie della macchina

  • Anno di produzione

  • Versione del software, ove disponibile

  • Testo completo dell'allarme e codice

  • Screenshot dell'allarme

  • Video che mostra la sequenza precedente all'allarme

  • Fotografia della stazione interessata

  • Informazioni su interventi di manutenzione recenti o collisioni

  • Parti sostituite di recente

  • Dimensioni e spessore dello stampo

  • Informazioni sulle dimensioni del wafer e sul nastro per wafer

  • Dimensioni del telaio di collegamento

  • Tipo e processo di resina epossidica

  • Fotografie della pinza e dell'espulsore

  • Lettura del vuoto, ove pertinente

  • Frequenza del guasto

  • Se il guasto interessa un solo pacco o tutti i pacchi

Richiedi assistenza tecnica per ASM AD830 Plus

Forniamo supporto ai clienti nella revisione di guasti della macchina ASM AD830 Plus, ricambi, requisiti degli utensili, configurazioni di macchine usate e compatibilità di produzione.

Invia il numero di serie della macchina, uno screenshot dell'allarme, una fotografia del modulo interessato e un breve video del funzionamento. Per problemi di prelievo o posizionamento, includi anche le informazioni relative al die, al wafer, al lead frame, al mandrino e all'espulsore.

Quando è opportuno far controllare la macchina da un tecnico?

Interrompere le operazioni preliminari e predisporre un'ispezione tecnica qualificata quando:

  • La macchina ha subito una collisione con la testina di incollaggio o con gli utensili.

  • Un asse non riesce a tornare alla posizione iniziale o si muove in modo anomalo.

  • Viene rilevato un surriscaldamento di origine elettrica, un calore insolito o la presenza di fumo.

  • Un dispositivo di interblocco di sicurezza o un circuito di emergenza non sono affidabili.

  • Lo stesso motore o driver si guasta ripetutamente.

  • La macchina presenta significative vibrazioni meccaniche.

  • Impossibile completare la calibrazione.

  • Anche dopo i controlli degli utensili e del processo, permangono delle variazioni di posizionamento.

  • Una scheda di controllo, un sistema servoassistito o un circuito ad alta tensione richiedono un test.

  • La riparazione richiede l'allineamento della macchina o l'utilizzo di apparecchiature di misurazione di precisione.

Risorse correlate ad ASM AD830 Plus

Per informazioni sulla configurazione dell'apparecchiatura, la compatibilità del processo e il trasferimento del package, consultare la guida al processo e alla configurazione della saldatrice die-bonding ASM AD830.

Per informazioni su attrezzature disponibili, ambito di ispezione, condizioni della macchina e requisiti per il preventivo, consultare la documentazione relativa alla saldatrice a chip ASM AD830 Plus usata.

Per ulteriori informazioni sulle apparecchiature per il fissaggio dei chip dei semiconduttori, visita la sezione dedicata alle apparecchiature per il die bonding.

Domande frequenti

Perché un ASM AD830 Plus segnala un allarme di chip mancante?

Il chip potrebbe rimanere attaccato al nastro del wafer, non aderire correttamente alla pinza, cadere durante il movimento o produrre una lettura del vuoto instabile. Prima di sostituire il sensore di chip mancante, verificare la pinza, il circuito del vuoto, l'altezza di prelievo, il funzionamento dell'espulsore, l'espansione del wafer e le condizioni del nastro.

Perché il chip rimane sul nastro del wafer?

Tra le possibili cause si annoverano un'altezza di espulsione insufficiente, un perno di espulsione usurato o errato, un'elevata adesione del nastro, un'espansione instabile del wafer, una fasatura di prelievo errata, una pinza non idonea o un'altezza di prelievo errata.

Quali sono le cause dell'instabilità nella fase di prelievo del chip?

Le cause più comuni includono un mandrino bloccato o usurato, perdite di vuoto, un accoppiamento errato tra matrice e mandrino, un'altezza di prelievo inadeguata, un rilascio della matrice instabile, tubi danneggiati o un movimento eccessivo della matrice durante l'accelerazione del braccio di incollaggio.

Perché l'AD830 Plus non riesce a riconoscere i pattern sui wafer?

Verificare la messa a fuoco della telecamera, la pulizia dell'obiettivo, l'illuminazione, la qualità dell'immagine di riferimento, l'area di ricerca, la posizione del wafer, l'angolo theta del wafer e il file del pacchetto selezionato. Un'immagine nitida della telecamera non garantisce necessariamente un riconoscimento stabile del pattern.

Quali sono le cause dell'instabilità dei depositi di argento-resina epossidica?

Le condizioni della resina epossidica, il tempo di lavorazione, la viscosità, la temperatura, la pressione dell'aria, le condizioni dell'ago o dello stampo, l'altezza del processo, la tempistica, il livello del vassoio e la contaminazione possono tutti influenzare le dimensioni del deposito e la ripetibilità.

Perché lo stampo è posizionato con un disallineamento o una rotazione errata?

Tra le possibili cause si annoverano: PR instabile, insegnamento di riferimento errato, movimento del die all'interno del mandrino, usura del mandrino, errore theta del wafer, altezza di incollaggio inadeguata, movimento del lead frame, scarso supporto dell'incudine o problemi di calibrazione meccanica.

Perché il lead frame si inceppa all'interno dell'AD830 Plus?

Verificare l'allineamento del caricatore, la larghezza della pista, la planarità del telaio di guida, il movimento dello spintore, le guide, i morsetti, le incudini, i sensori e la posizione del caricatore di uscita. Anche la contaminazione da resina epossidica o le bave di materiale possono limitare il trasporto.

Con quale frequenza va pulito il mandrino AD830?

La frequenza di pulizia dipende dal volume di produzione, dalle condizioni dello stampo, dalla contaminazione della resina epossidica e dalle procedure di fabbrica. Il mandrino deve essere ispezionato regolarmente e pulito ogniqualvolta si osservi contaminazione, aggancio instabile o movimento dello stampo.

Quali ricambi per l'AD830 dovrebbero essere tenuti in magazzino?

Tra gli elementi comunemente preparati figurano pinze, perni di espulsione, cappucci di espulsione, tubi per vuoto, raccordi pneumatici, aghi di dosaggio, utensili di stampaggio, sensori e incudini o morsetti specifici per il prodotto. I componenti elettronici critici devono essere selezionati in base alle condizioni della macchina e al rischio di produzione.

È possibile diagnosticare un AD830 Plus basandosi esclusivamente su un codice di allarme?

Un codice di allarme è utile, ma di solito identifica solo la fase in cui il processo si è interrotto. Una diagnosi accurata richiede anche il numero di serie della macchina, un video del guasto, la stazione interessata, le informazioni sul materiale, la cronologia della manutenzione e i parametri o le letture del vuoto pertinenti.

È possibile testare la macchina senza wafer e lead frame?

Un ciclo a secco può confermare il movimento di base, ma non consente di valutare appieno il distacco dello stampo, l'aspirazione sottovuoto, il comportamento della resina epossidica, il trasferimento del materiale, la qualità del posizionamento o la stabilità dell'ispezione. Si raccomanda l'utilizzo di materiale di produzione rappresentativo per la verifica finale.

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