Der ASM AD830 Plus, identifiziert als AD830PLUS Die Maschinendokumentation beschreibt einen vollautomatischen Hochgeschwindigkeits-Silber-Epoxid-Die-Bonder, der für die Wafer-zu-Leadframe-Verbindung von Halbleiter-Dies entwickelt wurde. Der Produktionsprozess umfasst das Einlegen des Leadframes, das Auftragen des Silber-Epoxids, das Abnehmen des Dies vom Wafer, die präzise Die-Platzierung, die Sichtprüfung und das automatische Entladen.
Auch gesucht als ASM AD 830 PLUS, ASMPT AD830Plus oder AD 830 Plus die bonderDiese Maschine eignet sich für Produktionsumgebungen, die eine automatisierte Materialhandhabung, programmierbare Bondparameter, Waferausrichtung und prozessbegleitende Qualitätskontrolle erfordern.
Wir unterstützen Kunden bei der Evaluierung eines ASM AD830 Plus zur Erweiterung ihrer Halbleiterproduktion oder zum Ersatz einer bestehenden Anlage. der Bonder oder die Beschaffung gebrauchter Geräte. Je nach Maschinenverfügbarkeit und Projektanforderungen kann die Unterstützung Konfigurationsprüfung, Zustandsprüfung, Funktionstests, Werkzeugbestätigung, Verpackung, internationalen Versand und technische Unterstützung umfassen.

ASM AD830 Plus Maschinenübersicht
| Hersteller | ASM / ASM Pacific Technology |
|---|---|
| Modell | AD830 Plus / AD830PLUS |
| Gerätetyp | Vollautomatischer Hochgeschwindigkeits-Die-Bonder |
| Primärprozess | Silber-Epoxid-Wafer-zu-Lead-Frame-Die-Befestigung |
| Nominale Zykluszeit | 163 ms unter den angegebenen Maschinen- und Prozessbedingungen |
| Bond-Chef | Einzelner XYZ-Linearbewegungskopf mit Schwingspulen-Verbundarm |
| Werkzeuggrößenbereich | 6 x 6 bis 200 x 200 mil, ungefähr 150 x 150 bis 5.080 x 5.080 µm |
| Maximale Wafergröße | Bis zu 8 Zoll |
| Leadframe-Länge | 110 bis 300 mm; optionale Konfiguration für 80 bis 110 mm |
| Lead-Frame-Breite | 12 bis 102 mm |
| Leadframe-Dicke | 0,12 bis 0,76 mm |
| Pick and Bond Force | 30 bis 300 g; optionale Konfiguration von 300 g bis 3 kg |
| Epoxidverfahren | Optionale Konfiguration für Silber-Epoxid-Dosierung oder -Prägung |
| Vision Resolution | PR-Bildgebung mit 480 x 480 Pixeln und 256 Graustufen |
| Inspektionsfähigkeit | Werkstückhalter-PR, Wafer-PR, Chip-PR, Vor- und Nachbondprüfung |
| Wafer-Theta-Korrektur | ±10° Korrekturbereich mit 0,001875° pro Schritt |
| Stromversorgung | 110–240 V Wechselstrom, einphasig, 50/60 Hz |
| Druckluft | Mindestens 6 bar / 87 PSI |
| Stromverbrauch | 1,250 W |
| Maschinenverfügbarkeit | Vorbehaltlich des aktuellen Lagerbestands, der installierten Konfiguration und des Gerätezustands |
Die Maschinenspezifikationen und die Produktionskapazität müssen anhand des tatsächlichen Typenschilds, der installierten Module, der Software, der Werkzeuge, des Verpackungsdesigns und der Prozessmaterialien bestätigt werden.
Was ist der ASM AD830 Plus Die Bonder?
Die ASM AD830 Plus ist ein automatisches Chipbondsystem, das einzelne Halbleiterchips von einem Wafer entnimmt und an vorbereiteten Positionen auf einem Leadframe befestigt. Vor der Chipplatzierung kann die Maschine Silber-Epoxidharz mittels eines konfigurierten Dosier- oder Stanzverfahrens auftragen.
Ein typischer Produktionsablauf der AD830 Plus beginnt mit der Aufnahme eines Leadframe-Magazins oder einer gestapelten Leadframe-Zufuhr. Ein einzelner Leadframe wird auf die Werkstückaufnahmebahn übertragen, an der Epoxid-Bearbeitungsstation positioniert und anschließend zur Chipbondierungsposition transportiert.
Auf dem Wafertisch trennt der Auswerfermechanismus den ausgewählten Chip von der Klebefolie. Die Spannzange erzeugt ein Vakuum, nimmt den Chip auf und transportiert ihn in die Bondposition. Anschließend wird der Chip entsprechend den programmierten Koordinaten, der Höhe, der Kraft und der Ausrichtung auf das Silber-Epoxidharz platziert.
Der fertige Leadframe durchläuft das Transportsystem und wird in ein Ausgabemagazin geladen. Dieser integrierte Prozess reduziert die manuelle Handhabung zwischen dem Einlegen des Leadframes, dem Auftragen des Epoxidharzes, dem Platzieren des Chips und der Inspektion.
Hauptmerkmale des ASM AD830 Plus
Vollautomatischer Wafer-zu-Leadframe-Die-Bonding-Prozess
Nennzykluszeit von 163 ms unter den angegebenen Betriebsbedingungen
Einzelner XYZ-Linearbewegungs-Bondkopf
Bewegungssteuerung mit Linearmotoren und Linear-Encodern
Schwingspulen-Bindearm für kontrollierte Pick- und Bondbewegung
Programmierbare Greifkraft und Haftkraft
Luftstrombasierte Erkennung fehlender Würfel
Automatische Werkzeugwiederbestückungsfähigkeit nach einem fehlenden Werkzeugzustand
Automatische Theta-Kalibrierung des Wafer-Tisches
Leadframe-Positionserkennung und Prozesspositionskompensation
Optionale Dosier- oder Stanzvorrichtungen für Silber-Epoxidharz
Inspektionsmöglichkeiten vor und nach der Bürgschaftserteilung
480 x 480 Pixel Mustererkennungssystem
Programmierbare LED-Array-Beleuchtung für die optische Inspektion
Ausgabe von mehreren Magazinen
Optionale automatische Waferbeladung und -entladung
Speicherung von Paketdateien für Produkt- und Prozesseinstellungen
Automatische Wafer-zu-Lead-Frame-Die-Befestigung
Der dokumentierte Arbeitsprozess der AD830 Plus basiert auf dem Transfer von Chips von einem Wafer auf einen Leadframe. Die Maschine koordiniert mehrere Module, um den Produktionszyklus automatisch abzuschließen.
Leadframe-Beladung: Die Leadframes werden aus einem Eingabemagazin oder einem optionalen Stapelladesystem zugeführt.
Leadframe-Transfer: Der Werkstückhalter transportiert den Leadframe entlang der Bearbeitungsbahn.
Epoxidharz-Anwendung: Das Silber-Epoxidharz wird je nach Art des eingebauten Moduls durch Dosieren oder Stempeln aufgetragen.
Wafer-Positionierung: Der Wafertisch fährt den ausgewählten Chip in die Aufnahmeposition.
Würfelerkennung: Das Mustererkennungssystem identifiziert den Stempel und berechnet die erforderliche Korrektur.
Die Trennung: Der Auswerferstift hebt die Matrize von der Klebefolie ab.
Der Pickup: Die Spannzange erzeugt ein Vakuum und nimmt die abgetrennte Matrize auf.
Die transfer: Die XYZ-Bondkopfbaugruppe bewegt sich zwischen Wafer und Bondpositionen.
Würfelplatzierung: Die Matrize wird mit programmierter Höhe und Kraft auf die vorbereitete Silber-Epoxid-Position gesetzt.
Inspektion nach der Bürgschaftsübertragung: Das optische System überprüft die abgeschlossene Platzierung gemäß dem Produktionsrezept.
Ausgabeverarbeitung: Die fertigen Leadframes werden in das Ausgabemagazin übertragen.
Die genaue Abfolge kann je nach installiertem Eingabesystem, Waferlader, Epoxidmodul, Inspektionsoptionen und kundenspezifischem Gehäusedesign variieren.
Hochgeschwindigkeits-Die-Bonding-Leistung
Das Handbuch der ASM AD830 Plus gibt eine nominelle Zykluszeit von 163 Millisekunden an. Dieser Wert repräsentiert den Maschinenzyklus unter definierten Betriebs- und Prozessbedingungen und sollte nicht als garantierte Produktionsmenge für jede Verpackung interpretiert werden.
Die tatsächliche Produktionsleistung wird von mehreren Faktoren beeinflusst:
Werkzeugabmessungen und Dicke
Waferzustand und Chipabstand
Abmessungen des Leadframes und Layout der Bondpads
Anzahl der Bondpositionen pro Leadframe
Epoxid-Dosier- oder Stanzparameter
Erforderliche Pick- und Bondkraft
Einstellungen für die visuelle Suche und Inspektion
Wafer-Map-Verarbeitung
Lade- und Entladezeit des Leadframes
Maschinenzustand und Kalibrierungsstatus
Häufigkeit der Paketwechsel
Vor dem Kauf einer Maschine für ein bestimmtes Produktionsziel sollten repräsentative Chips, Wafer, Leadframes und Prozessinformationen geprüft werden. Ein Produktionstest liefert eine zuverlässigere Bewertung als eine reine Trockenlaufdemonstration.
Einzelner XYZ-Linearbewegungs-Bondkopf
Der AD830 Plus verwendet eine einzelne Bondkopf-Baugruppe mit linearer X-, Y- und Z-Bewegung. Linearmotoren und Linear-Encoder steuern die für die Chipaufnahme, den Transfer und die Platzierung erforderliche Drei-Achsen-Bewegung.
Die Bondkopf-Baugruppe umfasst auch einen Schwingspulen-Bondarm. Zusammen ermöglichen diese Komponenten eine kontrollierte Aufnahme- und Bondbewegung bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung der für die automatische Produktion erforderlichen Geschwindigkeit.
Die Maschine ermöglicht die Programmierung der Aufnahme- und Bindungskraft. Der dokumentierte Standardkraftbereich liegt zwischen 30 und 300 Gramm, während eine optionale Konfiguration einen Bereich von 300 Gramm bis 3 Kilogramm unterstützt.
Bei der Bewertung eines gebrauchten ASM AD830 Plus sollte die Bondkopf-Baugruppe auf Folgendes überprüft werden:
Gleichmäßige und wiederholbare XYZ-Bewegung
Ungewöhnliche Geräusche oder Vibrationen
Alarme für Linearmotoren und Encoder
Zustand der Kabel und Vakuumschläuche
Bewegung des Bond-Arms und Wiederholgenauigkeit der Höhe
Anzeichen für eine vorherige Werkzeug- oder Phasenkollision
Stabilität der Aufnahme- und Bindungskräfte
Leistung bei der Erkennung fehlender Würfel
Spannzangen- und Auswerfersystem
Das Spannzangen- und Auswerfersystem arbeitet zusammen, um einzelne Chips vom Wafer zu trennen und aufzunehmen. Der Auswerferstift fährt unter den ausgewählten Chip, während die Spannzange von oben ein Vakuum erzeugt.
Die korrekte Einrichtung ist wichtig, da der Chip ohne Risse, Absplitterungen oder Verschiebungen von der Klebefolie getrennt werden muss. Der Aufnahmevorgang hängt von den Chipabmessungen, der Dicke, dem Zustand der Klebefolie, der Auswerferstiftkonstruktion, der Spannzangenkonstruktion, dem Vakuumniveau und der programmierten Aufnahmehöhe ab.
Zu den Werkzeugen, die möglicherweise überprüft oder ersetzt werden müssen, gehören:
Spannzangenkörper und Adapter
Die Spannzange
Auswerferstift
Auswerferstifthalter
Auswerferkappe
Wafer-Unterstützungs- und Erweiterungskomponenten
Vakuumschläuche und -armaturen
Eine verschlissene oder falsch passende Spannzange kann zu fehlenden Stempeln, instabiler Materialaufnahme, Stempelbeschädigung oder Positionierungsabweichungen führen. Eine ungeeignete Auswerferstiftkonfiguration kann ebenfalls den Stempel beschädigen oder eine zuverlässige Trennung vom Film verhindern.
Erkennung fehlender Matrizen und automatische Wiederaufnahme
Die Standardkonfiguration des AD830 Plus umfasst eine luftstrombasierte Erkennung fehlender Werkzeuge. Diese Funktion hilft der Maschine festzustellen, ob ein Werkzeug erfolgreich von der Spannzange aufgenommen wurde.
Wird der erwartete Luftstrom oder das Vakuum nicht erkannt, kann die Maschine gemäß den konfigurierten Prozesseinstellungen eine erneute Bestückungssequenz einleiten. Dies trägt dazu bei, Leerplatzierungen aufgrund fehlgeschlagener Werkzeugbestückung zu reduzieren.
Fehlende Matrizenalarme sollten nicht automatisch als Sensorproblem interpretiert werden. Mögliche Ursachen sind:
Abgenutzte oder verunreinigte Spannzange
Falsche Aufnahmehöhe
Unzureichendes oder instabiles Vakuum
Beschädigter Auswerferstift
Falsche Auswerferhöhe
Schlechte Wafer-Expansion
Haftung des Chips an der Folie
Verstopfte Vakuumleitung
Luftleckage
Falsche Einstellungen für die Luftstromerkennung
Automatische Wafer-Tisch- und Theta-Kalibrierung
Die Wafer-Tisch-Baugruppe umfasst ein XY-Bewegungssystem und eine automatische Wafer-Expansions- bzw. Wafer-Ringstruktur. Der XY-Tisch positioniert jeden ausgewählten Chip unterhalb des Aufnahmewerkzeugs.
Ein automatisches Theta-Kalibrierungssystem korrigiert die Waferrotation. Der dokumentierte Theta-Bereich beträgt ±10 Grad mit einer Winkelschrittweite von 0,001875 Grad.
Diese Korrektur hilft der Maschine, die erforderliche Chipausrichtung während der Waferbearbeitung beizubehalten. Das Wafer-PR-System dient der Chippositionsbestimmung und unterstützt die automatische Suche und Ausrichtung.
Je nach installierten Optionen kann der AD830 Plus auch Folgendes umfassen:
Automatisches Be- und Entladen von Wafern
Wafermagazin-Handhabung
Wafer-Mapping
Barcode-Lesefunktionen
Wafer-Expansionsgeräte
Diese Funktionen sind konfigurationsabhängig und sollten auf dem tatsächlichen Rechner überprüft werden.
Optionale Silber-Epoxid-Dosierung oder -Prägung
Der ASM AD830 Plus kann mit Silber-Epoxid-Dosier- oder Stanzvorrichtungen konfiguriert werden. Diese Module tragen vor der Chipplatzierung Klebstoff auf den Leadframe auf.
Die dokumentierte Doppelepoxid-Struktur umfasst eine motorbetriebene X-Achse sowie eine linke und eine rechte Y-Achse. Programmierbare Parameter steuern den Epoxidierungsprozess und die aufgetragene Materialmenge.
Silber-Epoxid-Dosierung
In einer Dosierkonfiguration tragen eine Spritze und eine Dosiernadel kontrolliert Epoxidharzpunkte auf die ausgewählten Positionen des Leadframes auf. Zu den Prozessparametern gehören Dosierhöhe, Druck, Verzögerung, Position und Ablagerungsreihenfolge.
Silber-Epoxid-Prägung
Beim Stanzverfahren wird Silber-Epoxidharz mithilfe eines Werkzeugs aus einer Epoxidharzwanne an die Klebestelle des Leadframes übertragen. Für diesen Prozess sind das richtige Stanzwerkzeug, der korrekte Epoxidharzstand, der passende Amboss und eine programmierte Bewegung erforderlich.
Bei der Besichtigung einer verfügbaren Maschine sollten Kunden prüfen, ob die Lieferung Folgendes umfasst:
Linke und rechte Epoxidmodule
Spritzenausgabe
Nadeln ausgeben
Stempel- oder Tauchwerkzeuge
Epoxidharzschalen
Optiken aus Epoxidharz
Druckregelungskomponenten
Benötigte Kabel, Motoren und Sensoren
Entsprechende Softwarefunktionen
Der Epoxidierungsprozess sollte mit einem Material getestet werden, dessen Eigenschaften dem tatsächlichen Silber-Epoxidharz des Kunden möglichst nahekommen. Viskosität, Verarbeitungszeit, Temperatur und Umgebungsbedingungen können die Konsistenz der Abscheidung beeinflussen.

Mustererkennung und optische Inspektion
Der AD830 Plus nutzt verschiedene optische Funktionen zur Unterstützung der Materialpositionierung, Chip-Erkennung, Epoxidharz-Ausrichtung und Bond-Inspektion. Das dokumentierte Mustererkennungssystem bietet eine Auflösung von 480 x 480 Pixeln und verwendet eine programmierbare LED-Array-Beleuchtung.
Optische Funktionen können Folgendes umfassen:
Werkstückhalter und Leadframe PR
Wafer PR
Die Erkennung
Optiken aus Epoxidharzverfahren
Optiken für das Epoxidverfahren
Optik der Bindungsposition
Vorabprüfung
Inspektion nach Abschluss der Bürgschaft
Lead-Frame-Positionserkennung
Das Werkstückhalter-PR-System erkennt Referenzmerkmale am Leadframe. Positionsinformationen können verwendet werden, um Abweichungen am Leadframe vor dem Auftragen des Epoxidharzes und dem Platzieren des Chips auszugleichen.
Wafer- und Chip-Erkennung
Das Wafer-PR-System identifiziert einzelne Chips und unterstützt die automatische Chipsuche. Das System arbeitet mit dem Wafertisch zusammen, um den ausgewählten Chip unter der Spannzange zu positionieren.
Vorabprüfung vor der Anleihe
Die Vorabprüfung kann so konfiguriert werden, dass die Zielposition vor dem Platzieren des Chips überprüft wird. Je nach Rezeptur kann die Maschine die Position des Leadframes, die Epoxidharz-Ablagerung oder andere sichtbare Prozessbedingungen auswerten.
Inspektion nach der Bürgschaftsübergabe
Die Nachprüfung nach dem Verkleben dient der Kontrolle des Ergebnisses, nachdem die Matrize platziert wurde. Mithilfe der Rezeptureinstellungen können fehlende Matrizen, Platzierungsversatz, fehlerhafte Matrizenrotation, unzureichende Epoxidharzabdeckung oder Epoxidharzbrücken identifiziert werden.
Die genaue Inspektionsfähigkeit hängt von den installierten Kameras, Objektiven, der Beleuchtung, der Softwareversion und der Verpackung ab. Die Bildverarbeitungsleistung sollte daher mit repräsentativen Produktionsmustern getestet werden.
Leadframe-Materialhandhabung
Die ASM AD830 Plus ist für den Transport von Leadframes durch Epoxidharz-Auftrags- und Chipbondierungsstationen konzipiert. Die Werkstückhalterung nutzt parallele Schienen und mehrere Transportkomponenten, um den Leadframe von der Eingangs- zur Ausgangsseite zu bewegen.
Der dokumentierte Bereich der Leadframe-Handhabung umfasst:
Leadframe-Länge von 110 bis 300 mm
Optionale Konfiguration mit kurzem Leadframe von 80 bis 110 mm
Leadframe-Breite von 12 bis 102 mm
Leadframe-Dicke von 0,12 bis 0,76 mm
Spurbreitenbereich von 12 bis 102 mm
Die Maschine kann je nach den ursprünglichen Produktionsanforderungen mit verschiedenen Eingabesystemen ausgestattet werden.
Magazin-Eingabeaufzug
Der Zufuhraufzug nimmt Magazine mit unbearbeiteten Leadframes auf. Ein Schieber transportiert die einzelnen Leadframes aus dem Magazin zur Bearbeitungsstrecke.
Stack Loader
Ein optionaler Stapellader kann einzelne Leadframes aus einem Stapel entnehmen und auf den Werkstückhalter setzen. Für bestimmte Leadframe-Formate wie TO92 können spezielle Stapelladevorrichtungen verwendet werden.
Mehrmagazin-Ausgabeaufzug
Der Ausgabeförderer nimmt die fertigen Leadframes auf und lädt sie in die Ausgabemagazine. Magazinabmessungen und Schlitzpositionen müssen korrekt programmiert sein, um einen reibungslosen Materialtransport zu gewährleisten.
Magazinhandhabungsbereich
| Magazinlänge | 130 bis 320 mm |
|---|---|
| Magazinbreite | 16 bis 120 mm |
| Magazinhöhe | 68 bis 190 mm |
Die Magazinkompatibilität sollte anhand von Originalzeichnungen oder Mustern des Magazins überprüft werden. Schlitzteilung, Höhe des ersten Schlitzes, Beladeposition und Entladeposition müssen in der Maschinensoftware korrekt hinterlegt sein.
Standard ASM AD830 Plus Konfiguration
Laut Maschinendokumentation kann die Standardkonfiguration folgende Funktionen umfassen:
Einzelner XYZ-Linearbewegungs-Bondkopf
Luftstrombasierte Erkennung fehlender Würfel
Automatische Werkzeugwiederaufnahme
Programmierbare Aufnahme- und Bindungskraft
Leadframe-Positionserkennung
Positionsausgleich für Epoxid- und Klebeprozesse
Wafertisch mit automatischer Theta-Kalibrierung
Erkennung von Leadframes mit zwei Eingängen
Mehrmagazin-Ausgabeaufzug
480 x 480 Pixel PR-System
256-stufige Graustufenbildgebung
PR-Vorschau-Suche
Programmierbare LED-Beleuchtung
Optionale Maschinenmerkmale
Die verfügbaren AD830 Plus-Maschinen können mit verschiedenen optionalen Modulen ausgestattet sein. Dazu gehören beispielsweise:
Silber-Epoxid-Dosiervorrichtung
Silber-Epoxid-Stanzbaugruppe
Mehrfachmagazin-Eingabeaufzug
Automatisches Be- und Entladen von Wafern
Stapellader für spezielle Lead-Frame-Formate
Trennpapiererkennung und -trennung
Wafer-Expansionsanlage
Wafer-Mapping
Barcode-Lesefunktionen
Maschinenkommunikationsfunktionen
SEC I/II-Kommunikation
Wasserionisator
Da diese Komponenten optional sind, lässt sich die installierte Konfiguration anhand der Modellbezeichnung allein nicht bestätigen. Zur Überprüfung des Geräts sollten Fotos, Modullisten, Software-Screenshots und eine physische Inspektion herangezogen werden.
Paketdateien und Produktumstellung
Der ASM AD830 Plus speichert Produktions- und Prozesseinstellungen in Package-Dateien. Eine Package-Datei kann Leadframe-Daten, Waferparameter, Materialhandhabungspositionen, Epoxid-Prozesseinstellungen, Bondparameter und Bildverarbeitungsrezepte enthalten.
Ein Produktwechsel kann folgende Schritte erfordern:
Kopieren oder Laden der benötigten Paketdatei
Eingabe der Leadframe-Abmessungen und Layoutdaten
Eingabe von Chip- und Waferparametern
Anpassen der Spurbreite
Einstellen der Magazinpositionen für Ein- und Ausgabe
Wechseln der Spannzange
Auswechseln des Auswerferstifts und der Auswerferkappe
Einbau des richtigen Magnetambosses
Die passende Fensterklemme anbringen
Einstellen des Epoxid-Dosier- oder Stempelprozesses
Kalibrierung von Wafern, Epoxidharz und Optiken
Vermittlung von Abhol- und Bindungshöhen
Einstellung der Pick- und Bondkraft
Schulung zur Vor- und Nachprüfung von Anleihen
Laufende Testanleihen
Abschluss der Überprüfung der Probenqualität
Die Maschine verwendet magnetische Ambosse, die ohne Lösen der vier Eckverriegelungsschrauben entnommen und eingesetzt werden können. Um das Risiko mechanischer Störungen zu minimieren, sollten vor dem Ambosswechsel die korrekten Abmessungen des Leadframes eingegeben werden.
Maschinenabmessungen und Gewicht
Die Gesamtabmessungen und das Gewicht hängen von der installierten Materialförderkonfiguration ab.
| Konfiguration | Ungefähre Abmessungen | Ungefähres Gewicht |
|---|---|---|
| Maschine mit Eingangsaufzug | 1.700 x 1.240 x 2.080 mm | 1.230 kg |
| Maschine mit Stapellader | 1.560 x 1.240 x 2.080 mm | 1.060 kg |
| Maschine mit kombiniertem Aufzug | 1.740 x 1.240 x 2.080 mm | 1.240 kg |
Die Abmessungen sollten an der tatsächlichen Maschine nochmals überprüft werden, bevor mit der Fabrikplanung, dem Aufbau, der Containerbeladung oder der Berechnung der Türöffnungsbreite begonnen wird.
Installationsanforderungen
| Elektrische Versorgung | 110–240 V Wechselstrom, einphasig |
|---|---|
| Frequenz | 50/60 Hz |
| Druckluft | Mindestens 6 bar / 87 PSI |
| Stromverbrauch | 1,250 W |
| Betriebstemperatur | 10 bis 30 °C |
| Betriebsfeuchtigkeit | Typischerweise 70 % bei 32 °C, nicht kondensierend |
Die elektrischen Nennleistungen auf dem Typenschild der Maschine müssen vor der Installation überprüft werden. Die Maschine benötigt außerdem gemäß der installierten Konfiguration einen korrekten Anschluss an die Hauptstrom- und Kühlluftversorgung.
Typische Anwendungen für ASM AD830 Plus
Der dokumentierte Produktionsablauf des AD830 Plus ist primär für die Wafer-zu-Leadframe-Silber-Epoxid-Die-Attach-Beschichtung in der Halbleitergehäusefertigung ausgelegt.
Je nach installierter Werkzeugausstattung, Materialhandhabungsmodulen und Prozesskonfiguration kann die Maschine hinsichtlich folgender Kriterien bewertet werden:
Halbleiter-Die-Attach
Leadframe-Gehäusemontage
Silber-Epoxid-Die-Bonding
Einzelhalbleitergehäuse
Hochvolumige Wafer-zu-Leadframe-Chipplatzierung
Verpackungen, die das Auftragen oder Prägen von Epoxidharz erfordern
Produkte, die eine automatische Waferausrichtung erfordern
Produktion, die eine Vor- und Nachprüfung der Bürgschaft erfordert
Spezielle Leadframe-Formate mit kompatiblen optionalen Handhabungsmodulen
Die Eignung für LED-, optoelektronische oder andere Spezialgehäuse sollte anhand der tatsächlichen Chipabmessungen, des Leadframe-Designs, des Silber-Epoxid-Prozesses, der Werkzeuge, der Genauigkeitsanforderungen und der Produktionsmuster bestätigt werden.
Wie man einen gebrauchten ASM AD830 Plus bewertet
Eine gebrauchte ASM AD830 Plus sollte als komplettes Produktionssystem geprüft werden. Das Einschalten der Maschine oder die Demonstration grundlegender Achsenbewegungen reichen nicht aus, um zu bestätigen, dass sie eine stabile Produktion ermöglicht.
1. Maschinenidentität bestätigen
Prüfen Sie das Typenschild der Maschine.
Bitte bestätigen Sie die genaue Modellbezeichnung.
Notieren Sie die Seriennummer
Bestätigen Sie das Herstellungsjahr.
Vergleichen Sie die Maschine mit der mitgelieferten Konfigurationsliste.
Prüfen Sie die elektrische Nennleistung.
2. Überprüfen Sie das installierte Materialfördersystem.
Zufuhrmagazin-Elevator
Stack-Loader
Ausgabemagazin-Elevator
Automatischer Waferlader
Wafer Magazin
Gleis- und Werkstückhalterkonfiguration
Spezielle Leadframe-Ladekomponenten
3. Überprüfen Sie die Bondkopf-Baugruppe.
Überprüfen Sie die XYZ-Bewegung, Linearmotoren, Linear-Encoder, die Bewegung des Schwingspulen-Verbindungsarms, das Vakuumverhalten, die Aufnahmehöhe, die Verbindungshöhe und die programmierte Kraft.
4. Wafer- und Auswerfermodule prüfen
Überprüfen Sie die Bewegung des Wafertisches, die Theta-Korrektur, die Wafer-Expansion, die Bewegung des Auswerferstifts, die Auswerferhöhe, die Leistung des Vakuumfutters und des Die-Picks.
5. Überprüfen Sie die Epoxidmodule
Prüfen Sie, ob die Maschine Dosier- oder Stanzmodule enthält. Überprüfen Sie die Bewegung des Epoxidharz-Tisches, Spritzen, Nadeln, Tabletts, Werkzeuge, Optiken, Druckregler und zugehörige Sensoren.
6. Testen Sie das Bildverarbeitungssystem
Die Kamerabilder sollten klar und stabil sein. Überprüfen Sie Fokus, Beleuchtung, Mustererkennung, Wafersuche, Leadframe-Ausrichtung, Epoxidharz-Ausrichtung, Vor- und Nachbondprüfung.
7. Überprüfen Sie das Steuerungssystem
Überprüfen Sie den Computer, die Maschinensoftware, das Bewegungssteuerungssystem, die Kommunikationskarten, die gespeicherten Paketdateien, den Alarmverlauf und die verfügbaren Backups.
8. Führen Sie repräsentative Produktionsmaterialien durch
Testen Sie die Maschine nach Möglichkeit mit Chips, Wafern, Leadframes und Epoxidharz, die der vorgesehenen Produktionsanwendung ähneln. Überprüfen Sie die Chipaufnahme, die Konsistenz des Epoxidharzes, die Chipplatzierung, die Inspektionsergebnisse und den Materialtransfer.
9. Werkzeuge und Zubehör prüfen
Prüfen Sie, welche Spannzangen, Auswerferstifte, Auswerferkappen, Ambosse, Fensterklemmen, Magazine, Waferringe und Kalibrierwerkzeuge im Lieferumfang der Maschine enthalten sind.
10. Wartungszustand prüfen
Prüfen Sie auf Verunreinigungen, Epoxidharzreste, veränderte Verkabelung, provisorische Reparaturen, beschädigte Abdeckungen, überbrückte Sensoren, wiederkehrende Alarme und unvollständige vorbeugende Wartung.
Für den Maschinenabgleich benötigte Informationen
Um festzustellen, ob ein verfügbarer ASM AD830 Plus zu Ihrem Produktionsprozess passt, geben Sie bitte Folgendes an:
Matrizenlänge, -breite und -dicke
Wafer-Durchmesser
Waferring- oder Rahmeninformationen
Wafer-Map-Anforderung
Länge, Breite und Dicke des Leadframes
Leadframe-Zeichnung
Anzahl und Anordnung der Anleihepositionen
Silber-Epoxid-Typ
Abgabe- oder Stempelanforderung
Erforderliche Pick- und Bondkraft
Erforderliche Platzierungs- und Inspektionskriterien
Zielproduktionsleistung
Fotos der fertigen Verpackung
Bevorzugtes Baujahr und Zustand der Maschine
Zielland
Installations- und Schulungsanforderungen
Diese Informationen helfen dabei, die Auswahl einer Maschine zu verhindern, die zwar die richtige Modellbezeichnung hat, aber nicht über die erforderlichen Handhabungsmodule, Werkzeuge oder Prozesskonfigurationen verfügt.
ASM AD830 Plus Ausrüstungslieferung und Support
Wir unterstützen Halbleiterhersteller, Verpackungsbetriebe, Auftragsmontageunternehmen, Forschungseinrichtungen und Gerätehändler, die einen ASM AD830 Plus Die-Bonder suchen.
Je nach Verfügbarkeit der Ausrüstung und Projektumfang kann die Unterstützung Folgendes umfassen:
Beschaffung von ASM AD830 Plus-Ausrüstung
Bestätigung des Maschinen-Typenschilds und der Seriennummer
Überprüfung der installierten Module
Überprüfung der Konfigurationsliste
Maschinenzustandsprüfung
Einschaltprüfung
Achsen- und Modultests
Bildverarbeitungssystemtests
Musterproduktionsprüfung
Bestätigung von Werkzeugen und Zubehör
Identifizierung von Ersatzteilen
Professionelle Maschinenreinigung und -vorbereitung
Schutz des beweglichen Moduls
Feuchtigkeitsbeständige Exportverpackung
Koordination internationaler Sendungen
Unterstützung bei Installation und Inbetriebnahme
Bedienungs- und Wartungshinweise
Technische Fernkommunikation
Der endgültige Zustand der Ausrüstung, das enthaltene Zubehör, der Inspektionsumfang und die Serviceverantwortlichkeiten sollten im Angebot und in den Ausrüstungsinspektionsdokumenten bestätigt werden.
Weitere Informationen zu Halbleiterbondgeräten finden Sie auf unserer Website. Die Bonder-Ausrüstung Kategorie.
Warum sollten Sie sich bei einem ASM AD830 Plus-Projekt für uns entscheiden?
Konfigurationsbasierte Geräteanpassung
Wir bewerten die Maschinenkonfiguration zusammen mit dem Chip, dem Wafer, dem Leadframe, dem Silber-Epoxidharz, den Werkzeugen, den Inspektionsanforderungen und dem Produktionsziel.
Maschinenidentitätsprüfung
Vor der Gerätefreigabe können Modell, Typenschild, Seriennummer, installierte Module und elektrische Konfiguration überprüft werden.
Zustands- und Funktionsprüfung
Die verfügbaren Maschinen können je nach Projektanforderungen anhand von Fotos, Videos, Einschalttests, Modultests oder repräsentativen Produktionsmaterialien geprüft werden.
Werkzeug- und Teileabstimmung
Spannzangen, Auswerferkomponenten, Epoxidwerkzeuge, Ambosse, Sensoren, Motoren, Kameras und andere Teile können anhand von Teileetiketten, Fotos der Einbauposition und Maschineninformationen einander zugeordnet werden.
Internationaler Geräteversand
Wir können die Maschinenvorbereitung, den Schutz beweglicher Teile, die Exportverpackung, die Verladung und den internationalen Versand für Halbleiteranlagenprojekte koordinieren.
Klare Lieferdokumentation
Die Maschinenidentität, die enthaltenen Module, das Zubehör, der bekannte Zustand, der Prüfumfang und die Supportverantwortlichkeiten sollten vor dem Versand klar dokumentiert werden.
Fordern Sie ein Angebot für ASM AD830 Plus an
Senden Sie uns bitte Ihre gewünschte Maschinenkonfiguration, Produktionsanwendung, Chipabmessungen, Wafergröße, Leadframe-Informationen, Silber-Epoxid-Prozess und Zielland. Wir prüfen die verfügbaren Anlagen und ob die vorgeschlagene Konfiguration des ASM AD830 Plus Ihren Produktionsanforderungen entspricht.
Zur schnelleren Bearbeitung fügen Sie Ihrer Anfrage bitte Produktzeichnungen, Anforderungen an die Maschinenkonfiguration, Fotos des Leadframes und Informationen zur Musterverpackung bei.
Häufig gestellte Fragen
Was ist der ASM AD830 Plus?
Der ASM AD830 Plus ist ein vollautomatischer Hochgeschwindigkeits-Silber-Epoxid-Die-Bonder. Er entnimmt Halbleiterchips von einem Wafer und platziert sie auf vorbereiteten Bondpositionen eines Leadframes.
Ist ASM AD 830 PLUS dasselbe wie ASM AD830 Plus?
Ja. ASM AD 830 PLUS, ASM AD830 Plus, AD830PLUS und AD 830 Plus sind gängige Varianten desselben Maschinenmodells. Vor dem Kauf von Geräten oder Ersatzteilen sollten Sie dennoch das Typenschild und die Seriennummer überprüfen.
Wie lange ist die Zykluszeit des ASM AD830 Plus?
Die Maschinendokumentation gibt eine nominale Zykluszeit von 163 Millisekunden unter definierten Maschinen- und Prozessbedingungen an. Die tatsächliche Produktionsleistung hängt von der Düse, dem Leadframe, dem Epoxidverfahren, den Inspektionseinstellungen, der Materialhandhabung und dem Maschinenzustand ab.
Welche Matrizengrößen kann der AD830 Plus verarbeiten?
Der dokumentierte Bereich der Chipgrößen liegt ungefähr zwischen 6 x 6 und 200 x 200 mil, was etwa 150 x 150 bis 5.080 x 5.080 µm entspricht. Die tatsächliche Eignung hängt jedoch auch von der Chipdicke, den Werkzeugen, dem Zustand des Wafers und den Prozessanforderungen ab.
Welche Wafergröße unterstützt der AD830 Plus?
Die dokumentierte Wafer-Handling-Kapazität beträgt bis zu 8 Zoll. Die Anforderungen an Waferrahmen, Erweiterungssystem, Laderkonfiguration und Wafer-Map sollten ebenfalls bestätigt werden.
Unterstützt der AD830 Plus das Dosieren von Silber-Epoxidharz?
Die Maschine kann mit Dosier- oder Stanzvorrichtungen für Silber-Epoxidharz ausgestattet werden. Diese Module sind konfigurationsabhängig und möglicherweise nicht in jeder verfügbaren Maschine installiert.
Unterstützt der AD830 Plus das automatische Waferladen?
Automatisches Be- und Entladen von Wafern sind optionale Funktionen. Es ist zu prüfen, ob die Waferladeeinheit, das Wafermagazin und die zugehörige Software an der jeweiligen Maschine installiert sind.
Beinhaltet das AD830 Plus eine Vor- und Nachprüfung vor und nach der Bürgschaftsübergabe?
Die Maschine unterstützt konfigurierbare Vor- und Nachbearbeitungsinspektionsfunktionen. Die tatsächliche Inspektionsfähigkeit hängt von den installierten Kameras, der Optik, der Beleuchtung, der Software und dem Produktionsprozess ab.
Kann der ASM AD830 Plus Leadframes verarbeiten?
Ja. Der dokumentierte Prozess basiert auf dem Transfer von Chips von einem Wafer auf einen Leadframe. Die unterstützte Leadframe-Breite beträgt 12 bis 102 mm, die Standardlänge 110 bis 300 mm.
Kann der AD830 Plus für LED-Die-Bonding verwendet werden?
Der dokumentierte Maschinenprozess ist primär die Wafer-zu-Leadframe-Halbleiter-Die-Attach-Beschichtung. Die Eignung für ein LED-Gehäuse sollte anhand der Chipgröße, des Leadframe- oder Substratdesigns, des Silber-Epoxid-Prozesses, der Werkzeuge und der geforderten Produktionsergebnisse bestätigt werden.
Was sollte vor dem Kauf eines gebrauchten AD830 Plus überprüft werden?
Wichtige Prüfpunkte sind das Typenschild, der Bondkopf, der Schwingspulen-Bondarm, der Wafertisch, die Auswerferbaugruppe, die Spannzange, die Epoxidmodule, das Bildverarbeitungssystem, die Leadframe-Handhabung, die Magazine, die Software, die Alarme und die Ergebnisse der Produktionsprüfung.
Was kostet ein ASM AD830 Plus?
Der Preis richtet sich nach Baujahr, Konfiguration, Zustand, installierten Optionen, mitgelieferten Werkzeugen, Umfang der Überholung, Prüfanforderungen, Verpackung, Installationsunterstützung und Bestimmungsort. Ein Angebot basiert auf einer klar definierten Maschine und einem dokumentierten Lieferumfang.
Welche Informationen werden für ein Angebot benötigt?
Bitte geben Sie die Chipabmessungen, die Wafergröße, die Leadframe-Zeichnung, das Silber-Epoxid-Verfahren, die gewünschte Ausbringungsmenge, das Zielland und die bevorzugten Maschinenbedingungen an. Produktfotos und Gehäusezeichnungen verbessern die Abstimmung auf die jeweilige Anlage.


